集成电路工艺课程的教学实践

• 作者: 李严 殷树娟 倪晓明 李涵 吴秋新 邓伟
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路制造 单晶硅制备 光刻工艺 扩散工艺
• 年，卷（期）: 2022,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造|Process and Fabrication
• 页码范围: 20-22
• 页数: 3页
• 分类号: G642|TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2022.03.009

摘要

阐述集成电路工艺课程的教学内容,集成电路工艺课程教学对于其他集成电路类课程的作用,包括单晶硅制备流程、光刻工艺的步骤、扩散工艺流程.