薄膜科学与技术期刊
出版文献量(篇)
327
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薄膜科学与技术

主办单位:
南京电子器件研究所
ISSN:
CN:
出版周期:
双月刊
邮编:
210016
地址:
南京1601信箱43分箱
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  • 作者: 杨根庆 柳襄怀
    发表期刊: 1995年3期
    页码:  232-239
    摘要: 本文简略地回顾了离子束材料表面优化研究领域的发展及现状,着重介绍上海冶金研究所离子束开放研究实验室近年来在离子束薄膜合成及材料表面改性方面的研究工作。同时对离子束技术在工业中的应用进行了探讨...
  • 作者: 遇衍澄
    发表期刊: 1995年3期
    页码:  240-249
    摘要: 本文分析研究了国内外离子镀技术的动态,阐述了离子镀的特点,介绍了离子镀设备及工艺的发展和现状以及实用的离子镀膜检测方法。
  • 作者: 张寿柏 蔡炳初
    发表期刊: 1995年3期
    页码:  250-259
    摘要:
  • 作者: 梁吉 魏秉庆
    发表期刊: 1995年3期
    页码:  260-267
    摘要:
  • 作者: 陆祖宏
    发表期刊: 1995年3期
    页码:  268
    摘要: 近十年来超薄有序分子膜的研究发展非常迅速,在许多领域中的有着极为重要的应用前景。本报告将对有序分子膜的制备技术以及相应的表征方法等方面的国内外最新进展进行综述,并对超薄有序分子膜的液晶分子无...
  • 作者: 刘湘娜 鲍希茂
    发表期刊: 1995年3期
    页码:  270
    摘要: 硅是微电子技术的基础材料,硅集成技术已高度发展,但硅却是非发光材料。为了发展硅基光电子技术,人们对硅基发光材料作了多方面的探索,其中有“缺陷工程”-在硅中引入作为辐射复合中心的杂技或缺陷,使...
  • 作者: 闻立时
    发表期刊: 1995年3期
    页码:  271
    摘要: 八十年代以来硬质膜的发展是通过膜层选材、制备工艺改进和材料设计三条途径进行的。在硬膜新材料方面,金刚石、立方氮化硼和β-Si3N4等超硬膜近年来最受重视。然而,以TiN为代表的硬度在Hv15...
  • 作者: 姜燮昌
    发表期刊: 1995年3期
    页码:  272
    摘要: 用溅射的方法来制备ITO膜已应用于平板显示技术,特别是高速磁控溅射技术的出现,又使ITO膜实现大量生产成为可能。本文详细论述了ITO膜生产线的设计要点,总体方案及其技术性能,并分析了各种工艺...
  • 作者: 孟广耀
    发表期刊: 1995年3期
    页码:  273
    摘要: 化学气相淀积(CVD)由于其固有特点,做为一类操作简单,可以大批量低成本地提供大面积、高质量无机薄膜材料的实用化技术,近几年来出现若干新的发展,以适应现代科学技术领域发展的需要。本文拟就此状...
  • 作者: 益小苏 邹湘坪
    发表期刊: 1995年4期
    页码:  343-348
    摘要: 利用C2H2/H2/SiH4混合单体等离子体聚合沉积在HDPE板表面制备薄膜,发现薄膜与HDPE粘接良好,H2使薄膜与基体附着性能提高但其沉积速率下降,而引入SiH4则使薄膜的耐磨性能有较大...
  • 作者: 俞跃辉 吴招促
    发表期刊: 1995年4期
    页码:  349-355
    摘要: β-C3N4晶体是一种新型假想材料,其结构和β-Si3N4晶体相似。β-C3N4材料从理论上预言可能具有比金刚石还大的体积模量,并有较为特殊的电学和光学性能。高含氮量的CN膜和多晶β-C3N...
  • 作者: 刘维民 周坤磷
    发表期刊: 1995年4期
    页码:  356-361
    摘要: 射频辉光放电等离子体聚合四丁基锡制备了非晶含锡有机膜,研究了该膜在大气中的热处理行为。表明在不同热处理温度下,发生了锡的氧化、有机物脱除、晶化和相变等过程。
  • 作者: 侯根良 徐可为
    发表期刊: 1995年4期
    页码:  387-390
    摘要: 通过在单晶Al、Mo表面进行压入实验考察了循环卸载对弹性模量和硬度测量值的影响,发现硬度基本无变化,弹性模量虽有变化但并不显著,认为可采用一次加载卸载进行测定和计算。

薄膜科学与技术基本信息

刊名 薄膜科学与技术 主编
曾用名
主办单位 南京电子器件研究所  主管单位
出版周期 双月刊 语种
ISSN CN
邮编 210016 电子邮箱
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地址 南京1601信箱43分箱

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