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薄膜科学与技术期刊
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薄膜科学与技术1995年出版文献
出版文献量(篇)
327
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薄膜科学与技术
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主办单位:
南京电子器件研究所
ISSN:
CN:
出版周期:
双月刊
邮编:
210016
地址:
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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目录
31.
离子束薄膜合成及材料表面优化
作者:
杨根庆 柳襄怀
刊名:
薄膜科学与技术
发表期刊:
1995年3期
页码: 
232-239
摘要:
本文简略地回顾了离子束材料表面优化研究领域的发展及现状,着重介绍上海冶金研究所离子束开放研究实验室近年来在离子束薄膜合成及材料表面改性方面的研究工作。同时对离子束技术在工业中的应用进行了探讨...
32.
离子镀技术的发展和现状
作者:
遇衍澄
刊名:
薄膜科学与技术
发表期刊:
1995年3期
页码: 
240-249
摘要:
本文分析研究了国内外离子镀技术的动态,阐述了离子镀的特点,介绍了离子镀设备及工艺的发展和现状以及实用的离子镀膜检测方法。
33.
微电子机械系统(MEMS)研究现状与展望
作者:
张寿柏 蔡炳初
刊名:
薄膜科学与技术
发表期刊:
1995年3期
页码: 
250-259
摘要:
34.
21世纪新材料的明星—巴基球
作者:
梁吉 魏秉庆
刊名:
薄膜科学与技术
发表期刊:
1995年3期
页码: 
260-267
摘要:
35.
超薄有序分子膜的研究进展及应用前景
作者:
陆祖宏
刊名:
薄膜科学与技术
发表期刊:
1995年3期
页码: 
268
摘要:
近十年来超薄有序分子膜的研究发展非常迅速,在许多领域中的有着极为重要的应用前景。本报告将对有序分子膜的制备技术以及相应的表征方法等方面的国内外最新进展进行综述,并对超薄有序分子膜的液晶分子无...
36.
硅基薄膜发光材料
作者:
刘湘娜 鲍希茂
刊名:
薄膜科学与技术
发表期刊:
1995年3期
页码: 
270
摘要:
硅是微电子技术的基础材料,硅集成技术已高度发展,但硅却是非发光材料。为了发展硅基光电子技术,人们对硅基发光材料作了多方面的探索,其中有“缺陷工程”-在硅中引入作为辐射复合中心的杂技或缺陷,使...
37.
硬质膜研究与发展的进展
作者:
闻立时
刊名:
薄膜科学与技术
发表期刊:
1995年3期
页码: 
271
摘要:
八十年代以来硬质膜的发展是通过膜层选材、制备工艺改进和材料设计三条途径进行的。在硬膜新材料方面,金刚石、立方氮化硼和β-Si3N4等超硬膜近年来最受重视。然而,以TiN为代表的硬度在Hv15...
38.
ITO膜生产技术的新进展
作者:
姜燮昌
刊名:
薄膜科学与技术
发表期刊:
1995年3期
页码: 
272
摘要:
用溅射的方法来制备ITO膜已应用于平板显示技术,特别是高速磁控溅射技术的出现,又使ITO膜实现大量生产成为可能。本文详细论述了ITO膜生产线的设计要点,总体方案及其技术性能,并分析了各种工艺...
39.
化学气相淀积(CVD)薄膜技术的新近发展及其应用
作者:
孟广耀
刊名:
薄膜科学与技术
发表期刊:
1995年3期
页码: 
273
摘要:
化学气相淀积(CVD)由于其固有特点,做为一类操作简单,可以大批量低成本地提供大面积、高质量无机薄膜材料的实用化技术,近几年来出现若干新的发展,以适应现代科学技术领域发展的需要。本文拟就此状...
40.
C2H2/H2/SiH4等离子体聚合及其沉积物的结构与性能的研究
作者:
益小苏 邹湘坪
刊名:
薄膜科学与技术
发表期刊:
1995年4期
页码: 
343-348
摘要:
利用C2H2/H2/SiH4混合单体等离子体聚合沉积在HDPE板表面制备薄膜,发现薄膜与HDPE粘接良好,H2使薄膜与基体附着性能提高但其沉积速率下降,而引入SiH4则使薄膜的耐磨性能有较大...
41.
一种比金刚石还硬的新型材料—β—C3N4
作者:
俞跃辉 吴招促
刊名:
薄膜科学与技术
发表期刊:
1995年4期
页码: 
349-355
摘要:
β-C3N4晶体是一种新型假想材料,其结构和β-Si3N4晶体相似。β-C3N4材料从理论上预言可能具有比金刚石还大的体积模量,并有较为特殊的电学和光学性能。高含氮量的CN膜和多晶β-C3N...
42.
非晶含锡有机膜的热处理行为
作者:
刘维民 周坤磷
刊名:
薄膜科学与技术
发表期刊:
1995年4期
页码: 
356-361
摘要:
射频辉光放电等离子体聚合四丁基锡制备了非晶含锡有机膜,研究了该膜在大气中的热处理行为。表明在不同热处理温度下,发生了锡的氧化、有机物脱除、晶化和相变等过程。
43.
循环加载卸载对纳米压入法测量结果的影响
作者:
侯根良 徐可为
刊名:
薄膜科学与技术
发表期刊:
1995年4期
页码: 
387-390
摘要:
通过在单晶Al、Mo表面进行压入实验考察了循环卸载对弹性模量和硬度测量值的影响,发现硬度基本无变化,弹性模量虽有变化但并不显著,认为可采用一次加载卸载进行测定和计算。
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薄膜科学与技术基本信息
刊名
薄膜科学与技术
主编
曾用名
主办单位
南京电子器件研究所
主管单位
出版周期
双月刊
语种
ISSN
CN
邮编
210016
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电话
网址
地址
南京1601信箱43分箱
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