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微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术
微电子机械系统
微电子
光测力学
微电子机械系统的几个力学问题
微电子机械系统
界面(相)力学
薄膜基底结构
弹塑性一粘着接触力学
微电子机械系统中微尺度热物性研究进展
微尺度
薄膜
热物性参数
微电子机械系统
微电子机械系统的力学特性与尺度效应
微电子机械系统
硅材料
尺度效应
微执行器
微机器人
微机械
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 微电子机械系统(MEMS)研究现状与展望
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 微电子机械系统 机械系统 微电子技术
年,卷(期) 1995,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 250-259
页数 10页 分类号 TH12-39
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1995(0)
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研究主题发展历程
节点文献
微电子机械系统
机械系统
微电子技术
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
总下载数(次)
1
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