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电子工业专用设备2000年第3期出版文献
出版文献量（篇）
3731
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总被引数（次）
10002
电子工业专用设备
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Equipment for Electronic Products Manufacturing
影响因子
0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖
获2003~2004年度出版质量部级奖
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
总被引数（次）
10002
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1. 微型光机电系统及其制作刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2000年3期页码:摘要： 微型光机电系统(MOEMS)是将微光学、微电子和微机械系统结合发展出一种新型、宽广的应用领域,从早期的分立光学元件与电子电路向独立完整的光学系统发展.阐述了实现MOEMS的2种技术手段:光波...
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2. 深亚微米光学光刻工艺技术刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2000年3期页码:摘要： 光学光刻的生命力仍然在不断延续,即使在0.13μm及0.13μm以下集成电路制造水平上,光学光刻仍然是一个非常重要的候选者.深亚微米光学光刻工艺技术目前面临着越来越严重的挑战.对深亚微米光学...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2000年3期页码:摘要：
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2000年3期页码:摘要： 提出了对现代光刻设备性能数据和系统预先筹划和配置,并在此基础上讨论了对关键性能方面进一步开发的方法和模式,同时还讨论了关于这些模式性能的支持分析结果.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2000年3期页码:摘要： 简要介绍新研制的BD-601型全自动IC编带机的用途、特点、技术指标、主要结构和关键技术.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2000年3期页码:摘要： 从用途特点、技术性能、工作原理及主要机构和控制系统等几方面出发,介绍了信息产业部电子第四十五研究所研制的编带系列设备中的BD-401型电子元件半自动编带机.
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11. 片式钽电容的结构及制造工艺刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2000年3期页码:摘要： 介绍了片式钽电解电容器的结构、制造工序、特点及使用注意事项.
电子工业专用设备基本信息
| 刊名 | 电子工业专用设备 | 主编 | 赵璋 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 主管单位 | 中国电子科技集团 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1004-4507 | CN | 62-1077/TN |
| 邮编 | 100029 | 电子邮箱 | faith＿epe@sohu.net |
| 电话 | 010-64443110，64655251 | 网址 | www.chinaepe.com.cn |
| 地址 | 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室 |
电子工业专用设备评价信息
期刊荣誉
| 1. | 2001~2002年度标准化规范化部级奖 |
| 2. | 获2003~2004年度出版质量部级奖 |
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