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微纳电子技术2005年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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22
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31. 平行平板微型槽间气体的滑移流动刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 对平行平板微型槽中气体滑移流动的压强分布特性进行了研究.将压强和气体平均分子自由程的关系引入到一阶速度滑移边界条件中,求解Navier-Stokes方程,得到了显式的压强分布表达式.模拟计算...
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32. 经典分子动力学模拟的主要技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 综述了分子动力学模拟的基本原理、发展过程及主要应用,介绍了原子间势函数的发展及势参数的确定,给出了分子动力学模拟中相关的有限差分算法、初始条件及边界条件的选取、平衡态系综及其调控、感兴趣量的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 介绍了原子力显微镜(AFM)的工作原理、组成、特点及其应用领域.利用AFM对光盘和软盘表面结构进行了三维检测,使用CSPM2000 Imager软件对扫描得到的图像进行了计算和分析,由所得数...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年3期页码:摘要： 发射尖是液态金属离子源的关键部件之一,其性能的优劣直接影响到整个离子源的工作稳定性.本文通过对源尖腐蚀的多次实验,开发了一套发射尖腐蚀装置,该装置可以对发射尖插入腐蚀液的深度加以控制,并能在...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年4期页码:摘要： 介绍了半导体气敏传感器的发展历史和掺杂纳米SnO2气敏传感器的特性与应用;详细分析了掺杂金属单质、金属氧化物和稀土元素对SnO2气敏性的影响,通过掺杂可以显著改善其对特定气体的灵敏度、稳定性...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年4期页码:摘要： 基于MEMS的微针技术研究是当前药物传输领域中的热点.随着微细加工技术的发展,微针技术及其应用得到了快速发展,除了向生物体内传输药物和向细胞内传输DNA外,还可以用来监测和反馈药物对生物体的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年4期页码:摘要： 微细电火花加工作为一种低成本、高材料选择度的柔性非接触式加工技术,在微加工中具有独特的工艺优势.本文研究分析了利用微细电火花加工技术制造MEMS微结构、微器件的技术关键及其解决思路.
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38. 微混合器研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年4期页码:摘要： 微混合器作为微全分析系统重要的组成部分,是目前微机电系统(MEMS)领域内的研究热点.文章介绍了微混合器的设计要求与目标、加工方法与材料的选择、微混合的特点与混合机理.微混合器一般可分为主动...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年4期页码:摘要： 分别建立了串联悬臂梁、并联电容MEMS开关的结构模型和等效电路模型,利用其模型研究了开关的微波传输性能,在结构、工艺及驱动机制上作了比较.
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年4期页码:摘要： 介绍了基于热膨胀效应的V型梁MEMS微执行器并联阵列结构,并对其进行结构设计、仿真和制作;为确定微执行器的结构参数同其位移和驱动力的关系,对V型悬臂梁进行了理论分析;为提高位移和驱动力,运用...
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41. 阵列式脉象采集探头的设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年4期页码:摘要： 提出了一种用微机电系统技术(MEMS)应变传感器阵列探头客观细腻地采集人体脉象的新思路.探头采用直接腐蚀出电阻条的技术,具有工艺简单、成本低廉、电阻变化率高、工作可靠等优点.对设计进行了理论...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年4期页码:摘要： 为了能实时监控MEMS器件的一些重要指标,人们对器件包括热导率,断裂强度等材料的属性进行了深入研究.由于MEMS磁学特性的复杂性,对MEMS磁学特性在线测量研究得很少.本文分析了具有代表性的...
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43. MEMS动态测试技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年4期页码:摘要： 阐述了基于频闪成像、计算机视觉和干涉测量的MEMS动态测试技术、基于激光多普勒测振的MEMS动态测试技术以及基于其他原理和方法的MEMS动态测试技术等的测试原理、测试方法与研究现状,指出了M...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年4期页码:摘要：
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45. 光开关研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年4期页码:摘要： 概述了光开关的各种性能指标;综述了目前业已实用或正在研究的光开关阵列的各种制作技术,分析了其发展趋势;最后介绍了MOEMS光开关的结构和工作原理.
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46. EVG6200Infinity掩模对准曝光机;罗门哈斯公司中国研发中心定址上海;罗门哈斯电子材料公司在东莞市开设制造厂;罗门哈斯公司电子材料公司研发出SSA阻障层研磨液;留美中国学者发明"纳米阱"刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年4期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年5期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年5期页码:摘要：
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49. 单电子器件制备技术的新进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年5期页码:摘要： 介绍了近年内,以不同材料类型和结构形式为器件有源区的单电子晶体管在制备技术方面所取得的一些新进展.
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50. 自组装--自底而上的纳米制造方法刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年5期页码:摘要： 介绍了"自底而上"的自组装纳米制造方法中的一些关键技术.利用自组装技术将成形的或未成形的材料淀积在大面积基底上,制造出纳米结构和分子局域自组装装置,并通过由自组装技术发展而来的原子操作和蘸水...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年5期页码:摘要： 采用Morse型势函数对体心立方(BCC)晶体表面层及近表面层原子的行为进行了分子动力学模拟.模拟结果表明:在体心(次表层)原子操纵前后,BCC晶体的顶角原子位置只有微小变化,其晶格结构基本...
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52. 高k绝缘层研究动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年5期页码:摘要： 介绍了ITRS2003对高k绝缘层材料的要求、高k绝缘层材料必须满足的要求、高k绝缘材料(尤其是HfSiON材料)研究成果以及研究中存在的问题.
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53. GaN薄膜发光特性的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年5期页码:摘要： 通过扫描电子显微镜和室温光荧光谱仪研究了生长气氛、缓冲层厚度、掺杂浓度不同对GaN薄膜发光特性的影响.实验证明,缓冲层可以较好地改善外延膜的结构和表面形貌.n型GaN薄膜的光荧光谱图显示,主...
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54. 一种微通道换热器的设计与分新刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年5期页码:摘要： 设计了一种用来测试微通道换热性能的实验装置.该系统由微通道换热器、模拟热源、微型水泵、连通管、测试三通及其它测试元件构成.通过检测温度、压力和流量等参数能够得到微通道的传热和摩阻参数.针对该...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年5期页码:摘要： 利用大型通用有限元仿真软件ANSYS7.0,对之字型微谐振器的简化力学模型进行静态和模态分析,得到水平方向的最大位移和谐振频率等重要性能参数.将仿真结果与理论分析计算的结果进行对比,两者有较...
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56. 扫描探针制备技术的研究现状及发展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年5期页码:摘要： 探讨了近几年来探针制备技术的发展和趋势,分别就探针检测性能的改进、探针结构、探针检测功能拓展及多通道信息采集组合探针等几方面,对相关制备技术的方法、特点以及相应检测条件、适用环境展开讨论,这...
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57. 纳米级高压扫描电子束曝光技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年5期页码:摘要： 通过简单添加一些附件,将一台带有扫描附件的商用透射电子显微镜改造为一台高压扫描电子束曝光机,以研究高压下高分辨率、高深宽比抗蚀剂图形曝光及邻近效应的影响.重点介绍了如何获得一个高分辨率的电子...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年6期页码:摘要： 应用AFM及力曲线的统计方法(force curve method)和Tapping/Phase功能,比较系统地研究了Glass/ITO基底上旋涂厚度为5μm的非线性光学功能高分子薄膜.结果...
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59. 业界快讯刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年6期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2005年6期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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