微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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总被引数(次)
16974
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  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年5期
    页码:  201
    摘要:
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年5期
    页码:  201
    摘要:
  • 作者: 彭英才 赵新为
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年5期
    页码:  202-208
    摘要: 介绍了近年内,以不同材料类型和结构形式为器件有源区的单电子晶体管在制备技术方面所取得的一些新进展.
  • 作者: 曾安培 赵志龙 阿兰·奥瑞尔登
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年5期
    页码:  209-213
    摘要: 介绍了"自底而上"的自组装纳米制造方法中的一些关键技术.利用自组装技术将成形的或未成形的材料淀积在大面积基底上,制造出纳米结构和分子局域自组装装置,并通过由自组装技术发展而来的原子操作和蘸水...
  • 作者: 朱应敏 樊康旗 贾建援
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年5期
    页码:  214-219
    摘要: 采用Morse型势函数对体心立方(BCC)晶体表面层及近表面层原子的行为进行了分子动力学模拟.模拟结果表明:在体心(次表层)原子操纵前后,BCC晶体的顶角原子位置只有微小变化,其晶格结构基本...
  • 作者: 翁寿松
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年5期
    页码:  220-223,248
    摘要: 介绍了ITRS2003对高k绝缘层材料的要求、高k绝缘层材料必须满足的要求、高k绝缘材料(尤其是HfSiON材料)研究成果以及研究中存在的问题.
  • 作者: 何秀坤 冯倩 周智慧 李静 汝琼娜
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年5期
    页码:  224-226
    摘要: 通过扫描电子显微镜和室温光荧光谱仪研究了生长气氛、缓冲层厚度、掺杂浓度不同对GaN薄膜发光特性的影响.实验证明,缓冲层可以较好地改善外延膜的结构和表面形貌.n型GaN薄膜的光荧光谱图显示,主...
  • 作者: 李萌萌 王卫东 贾建援
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年5期
    页码:  227-232
    摘要: 设计了一种用来测试微通道换热性能的实验装置.该系统由微通道换热器、模拟热源、微型水泵、连通管、测试三通及其它测试元件构成.通过检测温度、压力和流量等参数能够得到微通道的传热和摩阻参数.针对该...
  • 作者: 张鹏程 沈雪瑾 袁磊 陈晓阳
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年5期
    页码:  233-236
    摘要: 利用大型通用有限元仿真软件ANSYS7.0,对之字型微谐振器的简化力学模型进行静态和模态分析,得到水平方向的最大位移和谐振频率等重要性能参数.将仿真结果与理论分析计算的结果进行对比,两者有较...
  • 作者: 傅惠南 区仲荣 王宏霞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年5期
    页码:  237-243
    摘要: 探讨了近几年来探针制备技术的发展和趋势,分别就探针检测性能的改进、探针结构、探针检测功能拓展及多通道信息采集组合探针等几方面,对相关制备技术的方法、特点以及相应检测条件、适用环境展开讨论,这...
  • 作者: 彭开武 田丰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2005年5期
    页码:  244-248
    摘要: 通过简单添加一些附件,将一台带有扫描附件的商用透射电子显微镜改造为一台高压扫描电子束曝光机,以研究高压下高分辨率、高深宽比抗蚀剂图形曝光及邻近效应的影响.重点介绍了如何获得一个高分辨率的电子...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

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