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微纳电子技术2009年第12期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 圆片级芯片测试在IC制造工艺中已经成为不可或缺的一部分,发挥着重要的作用,而测试探卡在圆片级芯片测试过程中起着关键的信号通路的作用.分析指出由于芯片管脚密度的不断增加以及在高频电路中应用的需...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 主要从声表面波(SAW)结构和敏感膜的角度综述了SAW气体传感器的研究现状.重点分析了国外出现的换能器新型结构,对其优点进行了初步分析,并和传统的SAW气体传感器结构做了比较,指出这些新结构...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 微尺度流动的雷诺数(Re)比较低,其混合主要通过扩散来完成,因此需要较长的距离与时间才能混合均匀.为实现微尺度低Re数流体的快速均匀混合,以甲醇及染色甲醇为工质,采用脉冲电压激励微铂膜产生可...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 采用微细加工技术在127.8°YX型LiNbO3压电基底上制造出周期为400μm的铜叉指结构的微型雾化器.该雾化器利用声表面波(SAW)对液滴表面产生的表面张力波作用实现对液滴的雾化.对叉指...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 针对谐振式MEMS陀螺检测带宽与检测灵敏度相矛盾的问题,根据两质量块谐振器具有对机械位移放大的特点,提出了一种新型结构的谐振式MEMS陀螺,采用单自由度驱动、双自由度检测,驱动模态谐振频率落...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 简要分析了MEMS加速度计应用模型中的噪声来源,介绍了FIR数字低通滤波器的设计方法,并用FPGA实现的FIR滤波器对MEMS加速度计的输出信号进行了实时滤波处理.通过对滤波前后时、频域信号...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 为描述声表面波的传播状态,利用ANSYS软件对声表面波(SAW)谐振器进行了仿真.在对声表面波产生机理和SAW谐振器工作原理分析的基础上,建立了SAW谐振器仿真模型,讨论了网格划分不同对仿真...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 为实现制作微针加工工艺简单、加工周期短及成本低的目的,提出了一种制作聚合物微针的新方法,这种聚合物微针的制作过程主要包括三个部分:微针原始模具的制作、聚合物微针模具的制作和浇铸工艺复制微针....
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 为满足体硅MEMS制造工艺进一步发展的需要,对电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺参数进行了深入分析,着重分析了平板功率对Si干法刻蚀的影响.通过对Si于法刻蚀的主要工艺参数进行正交试验,得出...
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10. 多层高深宽比Si深台阶刻蚀方法刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 通过干法刻蚀,在Si衬底上制备出高深宽比的台阶结构是MEMS加工的基础工艺之一.多层台阶的刻蚀,是一种重要的折线断面制备方法,使实现结构更加复杂的器件成为可能.利用LPCVD生长1μm厚Si...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 键合强度是MEMS器件研制中一个重要的工艺质量参数,键合强度检测对器件的可靠性具有十分重要的作用.为了获得MEMS器件制造工艺中的键合强度,提出了一种键合强度在线检测方法,并基于MEMS又指...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要： 对Si基梳齿式MEMS加速度计在冲击下进行了失效分析,验证了其主要失效模式,分析了其失效机理.通过机械冲击实验并采用扫描电镜(SEM)、X射线透视系统、扫描声学显微镜(SAM)观察及电性能测...
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13. 国际视点刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2009年12期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
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| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
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