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微纳电子技术2010年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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22
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年3期页码:摘要： 以Ti35Nb合金为基材,通过阳极氧化和中温热处理制备了Nb掺杂TiO2纳米管阵列.通过掩模版和磁控溅射技术在纳米管阵列表面形成了Pt电极,随后在低浓度H2气氛中测试了Nb掺杂TiO2纳米管...
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32. "纳米材料与结构"专辑出版预告刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年3期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年3期页码:摘要： 综述了近年来新型锂离子电池正极材料LiFePO4的研究进展.从掺杂网状结构碳、碳纳米管、碳纳米纤维以及球形、棒状和空心LiFePO4的制备几个方面,对不同形貌与结构的LiFePO4的研究现状...
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34. 4H-SiC肖特基微型同位素电池刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年3期页码:摘要： 半导体同位素电池由于其寿命长、集成性优良、环境适应性强等特点成为解决MEMS能源问题的理想手段.利用4H-SiC材料的宽禁带特性,制造了4H-SiC肖特基同位素电池.对电池的耗尽层厚度以及掺...
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35. 黏性耗散对微喷管性能的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年3期页码:摘要： 以FLUENT6.1为工具,利用数值计算求解二维稳态可压缩N-S方程和欧拉方程,模拟了扩张比为5.4的收缩-扩张微喷管内超音速流体流动,分析了黏性耗散对微喷管内部流体流速分布和静压力分布的影...
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36. MEMS毫米波滤波器的设计与制作刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年3期页码:摘要： 开展了一种基于MEMS工艺的毫米波带通滤波器结构设计和工艺实现,该滤波器结构采用高阻硅作为衬底材料的薄膜支撑结构,选用平行耦合滤波器形式,使用HFSS分析软件对该结构进行了模拟仿真.设计了中...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年3期页码:摘要： 针对我国对高线密度X射线镂空透射光栅在空间环境探测和激光等离子体诊断方面的需求,将电子束光刻和X射线光刻技术相结合,制备出3 333 l/mm X射线全镂空透射光栅,栅线宽度接近150 nm...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年3期页码:摘要： 为了减少紫外纳米压印技术脱模过程中的接触粘附力,开发了一种新型高流动、抗粘的紫外纳米压印光刻胶.光刻胶以BMA为聚合单体,添加特定配比的交联荆和光引发剂配置而成.紫外纳米压印实验在本课题组自...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年3期页码:摘要： 为改善高深宽比金属微结构的电铸成型质量,采用有限元方法分析微细电铸的电场和流场的分布特点,及搅拌方式、电场和流场分布对微细电铸质量的影响.研究表明:搅拌对电铸区域的影响只集中在微区的入口部分...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年3期页码:摘要： 软模板的制作是紫外纳米压印中关键的技术,模版的分辨率直接决定了压印图形的最小分辨率.使用具有高度均匀、100 nm级孔洞阵列结构的多孔氧化铝作为母版,使用基于液态浇铸的硅油稀释聚二甲基硅氧烷...
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41. 可调谐微机电电感(续)刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年4期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 选择性发射极太阳电池具有独特的器件结构及优异的光电特性.基于M.Tucci等人实际制作的一款选择性发射极太阳电池,利用TCAD软件MEDICI建立了其器件结构模型,在比实验更大的参数范围内分...
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43. 大功率半导体激光器腔面抗烧毁技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 首先介绍了连续激光器单管老化试验,试验通过测试不同老化时间激光器腔面的烧毁功率,对腔面烧毁发生的过程进行了分析.分析认为,大功率半导体激光器腔面烧毁失效的根本原因是腔面烧毁功率在老化过程中持...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 采用离子束沉积方法制备了PdCx纳米结构,并对材料的电子输运性能进行了研究.利用扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱仪(EDX)分析了材料的微观结构和组成,利用原子力显微镜(AFM)分析了纳...
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45. 有机分子纳米线的合成及其导体性质刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 分子导线是分子电子学研究的重要内容,是分子电子器件的基础.结合分子导线的电子传导性对获取有机线性分子的方法进行了论述.指出共价合成法具有形貌和电子传递的可控性,但合成及纯化的困难限制了其进一...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 利用椭圆偏振测试仪,对n+ AlGaN/n- AlGaN/超晶格(SL)/AlN/蓝宝石多层复杂结构的椭偏测试方法进行了研究,其中SL层为AlGaN/GaN多层量子阱结构,将其简化为单层处理...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 针对微型流量传感器的应用问题,提出了一种可以准确测量各种气体微型流量、基于MEMS工艺的新型MEMS热膜式传感器.基于热量传递原理的热膜式流量传感器由一个加热器和一对微型温度传感器组成,只要...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 利用MEMS技术小批量加工了薄膜金电极.采用电化学沉积法在金电极表面修饰纳米铂黑颗粒,以有机功能性材料二茂铁作为电子媒介体,通过戊二醛-牛血清白蛋白共价交联固定葡萄糖氧化酶制得葡萄糖生物传感...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 针对传统ARROW压力传感器耦合长度长以及耦合效率低,提出了BCB/SiO2双导芯层叠ARROW结构压力传感器.在外力作用下,弹性薄膜上的BCB/SiO2双导芯层叠ARROW结构,会因光弹效...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 讨论了面向毫米波缝隙天线集成制造应用的三维非硅微加工技术方案,重点解决多种材料兼容、多层复杂微结构集成和大悬空高度等独特难题.针对天线器件中金属和介质材料的结合,提出了加法工艺、减法工艺以及...
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51. SiC ICP背面通孔刻蚀研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 介绍了利用ICP设备,使用SF6基气体对4H-SiC衬底进行背面通孔刻蚀的技术.研究了金属刻蚀掩模、刻蚀气体中O2含量的变化、反应室压力、RF功率和ICP功率等各种条件对刻蚀结果产生的影响,...
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52. 会议信息刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年4期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年4期页码:摘要： 讨论了表面等离子体透射增强现象在提高分辨率上的应用,数值模拟结果显示采用这种方法光刻的分辨率可以达到32 nm.首先用FDTD法模拟了一维周期光栅结构的电场场强的分布,光栅模版具有三角形的脊...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 根据制备过程中反应所处的体系不同,将纳米La2O3及其复合氧化物制备方法分为固相法、液相法和气相法.综述了近年来国内外纳米La2O3及其复合氧化物制备方法的原理和研究进展,并详细分析和比较了...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),在单晶硅衬底(100)上成功制备了不同生长工艺条件下的氮化硅薄膜.分别采用XP-2台阶仪、椭圆偏振仪等手段测试了薄膜的厚度、折射率、生长速率等参...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 实验研究了多根或单根单壁碳纳米管与非对称金属电极接触结构的制作方法.先用介电泳方法(DEP)将碳纳米管定向排列在Au电极对之间,再用电子束光刻(EBL)在碳纳米管的一端加工Al电极,获得多根...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 采用磁控溅射技术在Si(111)衬底上溅射Au薄膜,900℃退火生成Au点阵模板,在AU点阵模板上溅射ZnO薄膜,O2气氛下1 000℃退火制备了ZnO堆垒单晶棒.研究了不同直径Au点阵模板...
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58. La基高k栅介质的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年5期页码:摘要： SiO2作为栅介质已无法满足MOSFET器件高集成度的需求,高k栅介质材料成为当前研究的热点.综述了高k栅介质材料应当满足的各项性能指标和研究意义,总结了La基高k栅介质材料的最新研究进展,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 绒面掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜由于电阻率低、在可见光区域透过率高、绒面结构能有效散射入射光,提高太阳电池光电转换效率,被广泛应用于太阳电池前电极.概述了绒面AZO薄膜的制备方法,重点介...
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60. 纳米CuO制备与应用技术进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年5期页码:摘要： 纳米CuO由于具有独特的电、磁和催化等特性,受到了广泛关注.表面的高活性与电子的不饱和性,使得它极易团聚,限制了其应用.综述了近年来纳米CuO的制备方法及应用技术进展,具体介绍了纳米CuO的...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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