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微纳电子技术2012年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年8期页码:摘要： 利用MEMS技术制作了平板电润湿芯片,建立了可视化实验研究平台,运用高速CCD对分裂式电极施加交流电压后的液滴传输和合并过程以及相邻电极接地式芯片上液滴的交流振荡过程进行了可视化实验研究.除...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年8期页码:摘要： 介绍了电磁感应型振动能量收集器的基本工作原理,根据法拉第电磁感应定律导出了感生电动势和电磁阻尼与能量收集器结构及运动速度的关系.回顾了电磁能量收集器的发展历程和现状,从原始的直线共振型到最新...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年8期页码:摘要： 介绍了MEMS器件在航天领域的应用及发展,通过航天应用的一些要求和特点,分析了MEMS器件在航天应用中重点关注的一些可靠性问题,如辐射、真空、热冲击和机械振动.根据MEMS器件在当今航天领域...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年8期页码:摘要： 以加工件中碳原子为基本模型,构成与电极间相互作用系统.通过理论计算和模拟研究了碳元素在外加电极情况下,整个系统的电子传输过程与电子态密度的分布,结果显示费密能级附近态密度不为零,有能带存在,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年8期页码:摘要： 化学机械平坦化(CMP)过程中,抛光液的化学作用对平坦化效果起着不可替代的作用.介绍了碱性抛光液中氧化剂(H2O2)对铜布线CMP的作用:H2O2对铜的强氧化性可以将铜氧化为离子状态,然后在...
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96. 重掺磷衬底上外延层生长工艺研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年8期页码:摘要： 重掺磷衬底上硅外延片是制作集成电路开关电源的肖特基二极管和场控高频电力电子器件的首选产品.重掺磷衬底外延片可以大幅降低压降中半导体部分引起的压降所占的比例.介绍了重掺磷外延片的一种实用生产技...
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97. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年8期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 介绍了一种新型的基于免疫磁珠分选法的外周血循环肿瘤细胞(circulate tumor cell,CTC)捕捉芯片的制作方法,使得芯片的磁性微柱和流道可以同步成型,简化了制作流程,弥补了传统...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 量子元胞自动机(quantum-dot cellular automata,QCA)可编程逻辑阵列(programmable logic array,PLA)结构可用于实现大规模可编程逻辑电...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 报道了一种不同尺寸多孔六边形α-Fe2O3纳米颗粒的简单、高产合成方法.对所合成的多孔纳米材料进行了X射线衍射、X射线光电子谱、激光喇曼光谱、场发射扫描电镜和透射电子显微镜的表征.所得结果都...
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101. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年9期页码:摘要：
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102. Cu2O不同形貌的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 近年来,Cu2O形貌控制合成的研究受到了广泛关注.首先,介绍了Cu2O一维、二维、三维结构中不同形貌的最新研究成果,分析了不同形貌的合成机理,并对各形貌的进一步研究趋势进行了探讨.然后,着重...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 设计了一种新型电阻悬浮结构的热膜式气体流量传感器,具有测量精度高、灵敏度好、抗压能力强、微加工工艺简单等特点.采用ANSYS软件对传感器芯片在不同流速下的温度场进行了有限元仿真,得出了上下游...
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104. MEMS红外光源研究及其应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 首先介绍了红外光源的类型,从波长范围、调制频率、输出功率以及制作成本等方面比较了三种不同类型红外光源的优缺点.分析了基于微机电系统(MEMS)加工技术的红外光源工作原理和类型.系统综述了ME...
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105. 光刻与微纳制造技术的研究现状及展望刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 首先介绍了微纳制造的关键工艺技术——光刻技术.回顾了光刻技术的发展历程,介绍了各阶段主流光刻技术的基本原理和特点.阐述了国内外对光刻技术的研究现状,并讨论了光刻与微纳制造技术面临的挑战及其需...
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106. 纳米磁性液体零泄漏密封保护器的实验研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 在某些特殊密封场合下,阀的密封优良与否具有重要意义,零泄漏就显得尤为重要.利用电磁式磁性液体零泄漏保护器搭建实验平台,记录了不同性状磁性液体在不同励磁电流下的耐压值,对比这些曲线之间的差异....
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 为了研究新型技术对微连接可靠性的影响,阐述了微连接技术在倒装焊、热压力焊、硅通孔技术中的应用情况.对微连接技术在晶圆级封装(3D-WLP)中影响其可靠性的常见问题及主要因素进行了综述.分析表...
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108. 新型含硅丙烯酸酯型纳米压印胶的研究与应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 纳米压印技术因其成本低、产量高的优点广受关注,而开发可适用于纳米压印的压印胶成为该工艺的关键.合成了一种硅含量高的单体三(三甲基硅氧基)甲基丙烯酰氧丙基硅烷(TRIS),制备了一种新型紫外纳...
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109. 纳米结构在太阳电池中的应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 太阳电池是新能源领域一个不可忽视的领域.随着纳米技术的不断发展,纳米技术和太阳电池有了越来越多的结合点.综述了纳米结构阵列在太阳电池中的应用,其中包括光子晶体、纳米棒阵列、纳米孔阵列、纳米光...
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110. 金刚石电子器件的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 简述了金刚石半导体电气性质,即高击穿电场、宽带隙、高载流子饱和速度、高载流子迁移率和高热导率.回顾了金刚石器件的研究进程.讨论了器件的工作机理,包括掺杂和空穴积累层.详细描述了几种具有潜力的...
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111. 化合物半导体器件与电路的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 介绍了GaAs,InP和GaN等几种重要化合物半导体电子器件的特点、应用和发展前景.回顾了GaAs,InP和GaN材料的材料特性及其器件发展历程与现状.分别讨论了GaAs基HEMT由PHEM...
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112. 超细Co/Cu纳米多层膜磁性研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 利用磁控溅射方法制备了纳米Co/Cu多层膜.利用扫描探针显微镜(SPM)观测了其表面形貌和磁畴结构,并通过振动样品磁强计(VSM)测量了磁性.结果表明,薄膜的微结构和磁性随非磁性层厚度的变化...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 利用超高真空磁控溅射方法制备了一系列不同C层厚度的C/FePt/Fe纳米薄膜,然后进行原位高温退火.应用X射线衍射仪(XRD)分析了样品的晶体结构,利用扫描探针显微镜(SPM)观测了表面形貌...
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114. 金刚石SAW滤波器的设计和制作刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战.利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋...
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115. Si-PI低温键合黏合剂的研制与性能测试刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 根据微机电系统(MEMS)在承压能力与化学稳定性方面的要求,在国外文献的基础上配制得到一种作为Si-聚酰亚胺(PI)低温键合黏合剂的芳香类热固性共聚酯(ATSP).使用ATSP在不同条件下对...
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116. 手持式微机械陀螺扫频测试仪的实现刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 传统微机械陀螺的扫频测试一般采用价格昂贵的通用测试仪,其存在测试成本高、效率低等缺点.设计了一种基于现场可编程门阵列(FPGA)的手持扫频测试仪,能够自动进行扫频测试并求取被测微机械陀螺的谐...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 简要论述了互连工艺中铜布线取代铝布线的必然趋势,以及铜布线片化学机械抛光(CMP)后进行清洗的必要性.在集成电路制造的过程中,漏电流的危害已经引起了广泛关注.在CMP过程中产生的三种主要表面...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 研究了一种有效刻蚀聚酰亚胺(PI)的干法刻蚀方法,以金属铬为掩膜,刻蚀经涂胶并亚胺化而得到具有一定厚度的PI薄膜.利用反应离子刻蚀设备(RIE)将O2和CHF3按一定比例混合,适当调节刻蚀压...
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119. 复合型微通道热沉设计与制作技术研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 从大功率半导体激光器可靠性封装和应用考虑,利用商用有限元软件Abaqus与CFdesign对微通道热沉材料、结构进行优化设计,结合相应的制造工艺流程制备实用化复合型微通道热沉.微通道热沉尺寸...
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120. 磷化铟单晶片三步抛光技术研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 在磷化铟单晶片的抛光工艺中,将整个抛光过程分为粗抛、中抛以及精抛三个阶段,分别实现对磷化铟抛光片的总厚度变化、局部厚度变化以及表面粗糙度的控制.在粗抛阶段,采取压纹结构的抛光布、硅胶直径大的...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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