微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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16974

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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16974
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  • 作者: 赵正平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年1期
    页码:  1-6
    摘要: 进入21世纪,2004年集成电路的特征尺寸已进入90 nm节点,标志着微电子进入一个新的纪元,即进入了纳电子时代.介绍和总结了纳电子的新进展,包括纳电子的两条发展技术路线:其一是继续按自上而...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年1期
    页码:  6,55,68,前插1
    摘要:
  • 作者: 余卫平 唐平 廖雷 蒋坤朋 覃爱苗
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年1期
    页码:  7-11,26
    摘要: 不加入任何表面活性剂、利用溶解-重结晶原理合成了一维结构的Se纳米带,并用XRD,SEM及TEM等方法对产品进行了表征.以单根的硒纳米带为光电响应材料、以银浆为接触电极组装成纳米器件,并对光...
  • 作者: 孟彦龙 李昊峰 林阳 贾锐 陈宝钦 高云
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年1期
    页码:  12-21
    摘要: 主要介绍了两种高效前结背接触太阳电池即金属电极绕通(metal wrap through,MWT)太阳电池和发射极电极绕通(emitter wrap through,EWT)太阳电池的基本结...
  • 作者: 安萍 徐刚 徐雪青 蒋国辉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年1期
    页码:  22-26
    摘要: 以巯基乙酸(TGA)为配位剂合成了水溶性CdSe量子点,研究了反应时间、溶液pH值及前驱体溶液中镉元素与硒元素的摩尔比对量子点光学性能的影响.以L-半胱氨酸(L-cys)、巯基乙酸和巯基乙胺...
  • 作者: 后顺保 吕志军 栗力 梁继然 胡明 陈涛
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年1期
    页码:  27-32,55
    摘要: 采用直流对靶磁控溅射结合快速热处理工艺制备了具有金属-半导体相变特性的氧化钒(VOx)薄膜.利用XRD,XPS和SEM对薄膜结晶结构、薄膜中V的价态与组分及表面微观形貌进行分析,利用四探针测...
  • 作者: 张在玉 陈秀华 韩永强
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年1期
    页码:  33-38
    摘要: CoSiN薄膜可以作为超大规模集成电路Cu布线互连材料使用.利用磁控溅射技术制备了CoSiN/Cu/CoSiN/SiO2/Si薄膜,利用四探针测试仪、薄膜测厚仪、原子力显微镜、X射线光电子能...
  • 作者: 凌源 杜亦佳 赵兴海 邓成 郑英彬 鲍景富
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年1期
    页码:  39-44
    摘要: 针对RF MEMS开关释放时间过长的问题,提出了一种电压控制方法有效地缩短了开关的释放时间,提高了开关的速度.这种方法无需修改器件设计,仅需要调整偏置电压变化形式,用线性压降替代传统的阶跃压...
  • 作者: 张亚非 徐东 戴振清 杨志 陈海燕 陈长鑫 魏良明
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年1期
    页码:  45-49
    摘要: 基于单壁碳纳米管(SWCNT)的场效应气体传感器由于具有传感性能好、体积小、室温操作和加偏压自我解吸附等优良性能,有着广泛的应用前景.利用单壁碳纳米管自组装技术在SiO2/Si基底上制备均匀...
  • 作者: 李长森 肖龙 谷岩 郭海雷
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年1期
    页码:  50-55
    摘要: 安装误差和温度是MEMS微惯性组合的主要误差源,这两种因素所引起的误差通常占系统总误差的90%以上.通过对微惯性组合的安装误差及温度因素的影响进行深入分析,构建了一种适用于低成本导航微惯性组...
  • 作者: 伍择希 刘武 吴校生 姜川 崔峰 张卫平 李金凤 陈俊杰 陈文元
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年1期
    页码:  56-61
    摘要: 微流控芯片在分析化学和生物检测方面有着广阔的应用前景.对集成电极的PDMS -玻璃微流控芯片的制备工艺进行了研究与分析.最终使用SU -8快速制备阳模,使用PDMS转移图形得到具有微流控通道...
  • 作者: 刘胜 吕植成 徐明海 徐春林 汪学方 王宇哲 王志勇 胡畅
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年1期
    页码:  62-67
    摘要: 开展了应用于微机电系统(MEMS)封装的硅通孔(TSV)工艺研究,分析了典型TSV的工艺,使用Bosch工艺干法刻蚀形成通孔,气体SF6和气体C4F8的流量分别为450和190 cm3/mi...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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