微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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3266
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  • 作者: 崔焕卿 汪志春 王森 蔡理 陈祥叶
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  73-77
    摘要: 基于半径为2的贝叶斯模型,量化分析了量子元胞自动机(QCA)扇出结构的转换特性.分析表明,采用半径为1的贝叶斯模型进行QCA转换特性分析将导致传输线正确概率的误差增大到40%,而半径为2的贝...
  • 作者: 余小刚 申惠娟 翁占坤 贾秀丽 骆明辉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  78-82,119
    摘要: 综述了纳米技术在太阳电池中的应用及研究进展,包括染料敏化太阳电池(DSSC)、硅纳米太阳电池以及近年来成为研究热点的碳纳米管太阳电池等.分别针对二维硅纳米薄膜和一维硅纳米线在太阳电池中的应用...
  • 作者: 张培硕 张炳强 潘国峰 郭倩
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  83-88,104
    摘要: 采用溶胶凝胶法制备了纯TiO2和掺杂质量分数为5%,7%和9% CuO的TiO2纳米粉体,并对样品进行了不同温度(500,700和900℃)的退火处理.通过涂敷法制备成气敏元件,利用XRD和...
  • 作者: 杨业汕 许高斌 陈兴 马渊明
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  89-93
    摘要: 采用双槽(自制)电化学腐蚀法在p型单晶硅表面制备多孔硅(PS)层,利用AFM技术分析多孔硅的表面形貌.研究分析了电流密度为20~60 mA/cm2时,多孔硅的孔径、孔深和孔隙率,并分析测试了...
  • 作者: 李彦波 李文明 郑树凯 闫小兵
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  94-98
    摘要: 利用基于密度泛函理论的第一性原理计算了Mo单掺杂和Mo/S共掺杂锐钛矿相TiO2的能带结构、电子分态密度、电子密度和吸收光谱.结果表明,Mo单掺杂在锐钛矿相TiO2导带底下方引入了两条主要由...
  • 作者: 刘建秀 张段芹 褚金奎
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  99-104
    摘要: 针对静电吸附在微电子机械系统(MEMS)器件装配线中的潜在应用,试图研制一种单位面积上吸附力大和自身面积小的低工作电压静电吸片.通过介绍静电吸附现象的应用与传统静电吸盘,提出一种采用表面微加...
  • 作者: 姜利英 岳保磊 王芬芬 胡杰 闫艳霞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  105-109,114
    摘要: 将一端标记具有可逆电化学行为的电活性基团二茂铁、另一端标记巯基的三磷酸腺苷(ATP)适体ss-DNA组装到薄膜金电极上,构筑了一种可灵敏检测ATP浓度的交流阻抗型适体传感器.首先研究了适体传...
  • 作者: 丑修建 关新锋 杨杰 郭涛 陈婷婷
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  110-114
    摘要: 设计了一种硅基压电功能材料的四悬臂梁-中心质量块结构MEMS振动式微能源器件,可将环境振动能量有效转化为电能.采用溶胶-凝胶法制备硅基锆钛酸铅(PbZr0.53 Ti0.47 O3,PZT)...
  • 作者: 王心语 童筱钧
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  115-119
    摘要: 为解决目前常用电容式湿度传感器存在的误差较大和一致性较差的问题,提出了采用常压化学气相淀积(APCVD)法制备的多孔SiO2膜作为吸湿材料的乐甫波声表面波(SAW)传感器感知湿度.基片采用4...
  • 作者: 檀柏梅 牛新环 甄加丽 赵云鹤 郭倩
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  120-125
    摘要: 在化学机械抛光(CMP)系统中,磨料是决定去除速率和表面状态的重要因素.在单一磨料下进行了单因素实验,在不同的压力、转速、流量和温度下对比了SiO2磨料和A12O3磨料对蓝宝石去除速率及表面...
  • 作者: 张洋 曹雅彬 朱浩
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  126-130,135
    摘要: 介绍了纳米陶瓷颗粒增强金属基复合材料的常用制备技术.对固相烧结法和液态铸造法等工艺方法的机理、特点和现阶段开发程度,以及由这些制备工艺所开发的新材料的优异的微观组织和力学性能进行了全面分析,...
  • 作者: 徐永青 杨志 杨拥军 胥超
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  131-135
    摘要: 研究了Au/Sn共晶圆片键合技术在MEMS气密性封装中的应用.设计了共晶键合多层材料的结构和密封环图形,盖帽层采用Ti/Ni/Au/Sn/Au结构,器件层采用Ti/Ni/Au结构,盖帽层腔体...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2014年2期
    页码:  136-138
    摘要:

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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