微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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  • 作者: 刘洋洋 安振峰 徐会武 房玉锁 杜旭涛 袁春生
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2015年4期
    页码:  205-210,260
    摘要: 基于单管半导体激光器光束传输特性,用光线追迹法对光纤耦合光路进行仿真分析,结果表明在激光器与光纤间放置圆柱透镜的间接耦合方法具有成本低廉、准直光束质量好等特性.根据光束传输几何关系,优化得到...
  • 作者: 刘英坤 吴佳霖
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2015年4期
    页码:  211-215,250
    摘要: 高功率半导体开关器件是一类基于等离子体波理论的全固态、高压、快速打开或者切断电流的开关器件,具有体积小、可靠性高、寿命长、脉冲重复频率高和输出波形稳定等优点,在脉冲开关电路应用中有着独特的优...
  • 作者: 王启汶 王锡苗 苏润梅 郑文浩 龙拥兵
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2015年4期
    页码:  216-220
    摘要: 构建了结构为石墨烯/光学隔离层/银基底的光学微腔来提高石墨烯的光吸收效率.理论研究表明,通过合理设置光学微腔中光学隔离层的厚度,在正入射条件下,石墨烯的吸收光谱出现吸收峰而且最大光吸收效率可...
  • 作者: 张华 赵卿飞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2015年4期
    页码:  221-225
    摘要: 利用简单有效的热注射法、调节制备反应条件合成不同形貌的硫化铜(CuxS)纳米复合物.通过透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射仪(XRD)和紫外可见(UV-Vis)吸收光谱表征手段对产物的结构...
  • 作者: 丁桂甫 张彧 王文 赵小林
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2015年4期
    页码:  226-232
    摘要: 对静电驱动柔性振膜的吸合特性进行了理论分析和实验观测.通过理论计算得到了静电驱动下柔性振膜与具有连续曲面的腔体实现完全吸合的吸合电压.完全吸合电压随振膜电极与腔体直径的偏差以及振膜初始应力的...
  • 作者: 何洪涛 杜少博 杨志 王伟忠 胡立业
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2015年4期
    页码:  233-239,255
    摘要: 提出采用SiC材料来构造特殊环境下使用的MEMS压阻式高温压力传感器.分析了国际上特种高温压力传感器发展的主流趋势和技术途径,根据该领域应用需求、SiC材料特点和成本的多方权衡,开发了压阻式...
  • 作者: 刘连庆 李龙海 董再励
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2015年4期
    页码:  240-245
    摘要: “核心”DNA纳米结构的精确定位是实现指定位置的DNA纳米结构可控自组装构建纳米器件或系统的关键难题之一.研究了一种可编程控制的原子力显微镜(AFM)操作方法,通过运用操作过程中参数调控,实...
  • 作者: 况龙钰 刘慎业 施百龄 曹磊峰 朱效立 董连和 谢常青
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2015年4期
    页码:  246-250
    摘要: 为了满足单级衍射光栅的应用需求,在器件研制中对X射线光刻的关键技术进行优化,克服了曝光中图形畸变的问题,并利用同步辐射光源对单级衍射光栅进行了高效率的批量复制.通过对X射线光谱成分进行模拟,...
  • 作者: 刘嘉夫 周航 宋永欣 潘新祥
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2015年4期
    页码:  251-255
    摘要: 报道了一种可检测大气中微米级颗粒物尺寸并计数颗粒个数的方法和检测系统.微通道检测区域处布设一对微电极,微流道两侧施加一定幅值的直流电,使得检测区域的空气发生电晕放电,形成电流回路.当注射泵驱...
  • 作者: 崔建利 张斌珍 段俊萍 王伟 贾志浩 赵龙
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2015年4期
    页码:  256-260
    摘要: 研究了一种基于紫外厚胶SU-8的亚毫米探针的加工工艺,通过溶液间的界面张力形成微球,再由深紫外光刻形成微柱.这种新技术利用紫外LIGA技术替代较为复杂昂贵的深反应离子刻蚀(DRIE)技术,使...
  • 作者: 李明月 霍彩红 韩东
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2015年4期
    页码:  261-265
    摘要: 采用射频(RF)反应磁控溅射法,以氩气和氮气为反应气体,在不同的RF偏置功率下,在Si (100)和Si (111)衬底上制备了具有六方纤锌矿结构的AlN薄膜.使用扫描电子显微镜(SEM)表...
  • 作者: 单光宝 张巍 杜欣荣
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2015年4期
    页码:  266-270
    摘要: 为实现硅通孔(TSV)立体集成多层芯片可靠堆叠,对一种具备低温键合且不可逆特点的Cu/Sn等温凝固键合技术进行了研究.基于Cu/Sn系二元合金平衡相图,分析了金属层间低温扩散反应机理,设计了...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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