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微纳电子技术2016年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年8期页码:摘要： 主要研究了低磨料质量分数阻挡层抛光液的抛光性能,并将其与商用抛光液进行了对比.由实验结果可以看出,当固定抛光液中的磨料质量分数时,铜的去除速率随着磨料粒径的减小而升高.当固定磨料粒径不变时,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年9期页码:摘要： 全耗尽绝缘体上硅(FDSOI)器件具有出色的短沟道效应(SCE)控制能力等优势,是22 nm及以下的CMOS技术节点中的有力竞争者.为了研究减薄埋氧层(BOX)厚度对FDSOI器件性能和短沟...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年9期页码:摘要： 简要介绍了半导体金刚石材料优异的电学和光学性质、主要制备方法以及采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术在制备高质量半导体金刚石材料方面的优势.重点就MPCVD技术在半导体金刚石材料的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年9期页码:摘要： 利用聚苯乙烯胶体微球组装的单层胶体晶体阵列作为掩模板,分别采用反应离子刻蚀和等离子体刻蚀工艺在晶体硅表面构造出不同形态的微纳米结构,并研究不同刻蚀方法和不同刻蚀时间对微结构形态的影响作用.利...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年9期页码:摘要： 应用基于密度泛函理论(DFT)的第一性原理,并借助Materials Studio软件中Castep模块建立了CO与SnO2薄膜(110)面的吸附模型,最终确定了Pd掺杂的与纯净的SnO2(...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年9期页码:摘要： 综合微流控技术与激光技术,对流体环境中细胞在激光作用下的运动情况进行了受力分析,并对其作用机理进行了研究.首先针对不同物理尺寸的细胞在侧向激光作用下的运动轨迹进行仿真,并根据仿真结果来优化设...
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97. 硅基微光学平台的设计和制作刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年9期页码:摘要： 微型的、可重复装配的、硅基的微光学实验平台和操作平台对于实现光学分析仪器的微型化具有重要的研究意义.设计制作了一种硅基的微光学平台,它包含有微光学基板和微光学夹持片.首先采用有限元分析软件C...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年9期页码:摘要： 采用热型原子层沉积(T-ALD)和等离子体增强型原子层沉积(PEALD)技术在蓝宝石衬底上制备ZnO,不采用任何掺杂手段,通过调节生长温度、氧等离子体作用时间等参数,制备了电阻率在6个数量级...
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99. 碳辅助法制备Mn3O4纳米颗粒刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年9期页码:摘要： 以脱脂棉为碳源,氯化锰为前驱物,采用碳辅助法制备了粒径约为65 nm的Mn3O4纳米颗粒.通过透射电镜(TEM)和高倍透射电镜(HRTEM)对制备样品的形貌、粒径及晶面的结构特性进行了分析;...
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100. 硅基超疏水跨尺度微纳结构的制备刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年9期页码:摘要： 提出了一种可行的制备超疏水跨尺度微纳结构的方法,该方法基于衍射干涉光刻技术,制备出拥有跨尺度的光刻胶结构阵列.建立衍射干涉光刻模型,采用严格耦合波分析(RCWA)方法对衍射干涉形成的光强分布...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年9期页码:摘要： 对锗和锗化硅材料应用及发展前景进行了简单介绍.主要论述了在14 nm技术节点以下应用于pMOS晶体管沟道材料的锗的化学机械抛光(CMP)技术的发展现状,如抛光液组分的优化以及工艺参数的革新,...
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102. 旋转工艺对高阻区熔硅单晶研制的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年9期页码:摘要： 采用区熔工艺对多次真空提纯后的多晶硅进行了n型高阻硅单晶生长.真空提纯时,通过对工艺参数的精确控制,稳步提升了晶体的纯度和电阻率.单晶生长时,对比分析了常规旋转工艺和正反转旋转工艺两种生长方...
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103. 热应力对碳纳米管增强纳米开关的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 以两端固支型Euler-Bernoulli梁与基板组成的纳米开关系统作为研究对象,分析了纳米开关结构吸合的稳定性.在考虑电场力与因量子波动效应产生的卡西米尔力的情况下,主要研究了热应力对碳纳...
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104. 叶片状Co3O4的制备及其电化学性能刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 通过水热法在泡沫镍基板上制备了一种新颖的三维叶片状Co3O4,通过X射线衍射(XRD)表征对该叶片状Co3O4进行物相分析,通过扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对其形貌和晶...
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105. 量子点对活体细胞毒性作用的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 综述了近年来国内外对镉系量子点细胞毒性的研究进展,对于大部分活体细胞镉系量子点普遍存在毒性,总结了细胞毒性产生的原因主要表现在三个方面:量子点表面物化特性、量子点尺寸和细胞微环境,由于细胞毒...
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106. 基于离心微流技术的阵列化检测芯片刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 针对医疗行业多指标检测的需求,利用微流控技术高通量的优势,设计出一款由离心力驱动的阵列化检测芯片.首先介绍了芯片所涉及的力学理论,并由此计算出阀的突破频率,然后用COMSOL软件仿真流体运动...
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107. 可调节细胞位姿的显微注射芯片设计及其分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 在对细胞进行显微注射时,细胞姿态对注射后细胞的成活率有重要影响.基于PDMS微流控技术设计了一种在注射之前可调节细胞位置和姿态的显微注射芯片,芯片是由含微流道的PDMS和表面有微电极的石英基...
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108. 利用介电电泳提高微流控芯片细胞捕获纯度刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 将介电电泳(DEP)效应与生物分子亲和性捕获结合,利用负向介电电泳力克服细胞捕获过程中没有识别能力的非特异性吸附力的方法,减小非靶细胞吸附,提高捕获纯度.根据介电电泳原理,设计并制备了插齿电...
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109. 超精密表面形貌光学测量系统刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 为了解决实际测量中单一测量方法存在的局限性,结合白光干涉测量技术与共聚焦测量技术,通过紧凑型部分共光路结构原则,设计并搭建了一套超精密表面形貌光学测量系统,实现微纳米几何形貌的三维重构与测量...
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110. 大高宽比微纳结构制备关键技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 利用HSQ具有的高分辨率、高反差和低边缘粗糙度等突出的优点并通过大量的工艺实验,摸索出电子束曝光剂量、显影液配比、显影时间和显影温度等优化条件,对电子束曝光剂量与线条宽度的关系进行了探索,有...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 为了研究射频磁控溅射温度对Love波器件ZnO波导层的影响机理,在溅射温度分别为25,50,100,150和200℃、本征真空度为4.0×10-4 Pa、溅射气压为5.4 Pa、溅射时间为4...
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112. 新型碱性抛光液化学作用对铜的去除机理刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 研究了新型碱性铜布线抛光液的化学作用.通过改变FA/O螯合剂以及氧化剂H2O2的体积分数,分析了不同体积分数的FA/O螯合剂和氧化剂H2O2条件下对铜抛光速率、腐蚀电流以及静态腐蚀速率的影响...
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113. 新型碱性抛光液对Si晶圆抛光速率的优化刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年10期页码:摘要： 研发了一种新型的碱性抛光液,用于提高Si晶圆的抛光速率以及循环使用时的高速率稳定性.分析了FA/OⅡ型螯合剂与KOH调节剂对Si晶圆抛光速率的影响,单因素实验发现:当FA/OⅡ型螯合剂调节抛...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年11期页码:摘要： 选取了HICUM,VBIC和AgilentHBT (AHBT)三种模型,介绍并分析了不同模型应用在磷化铟(InP)异质结双极型晶体管(HBT)器件模型抽取中的特点.HBT模型中的载流子渡越时...
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115. 氧化铟微球的制备及其对异丙醇的气敏特性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年11期页码:摘要： 采用水热法合成了氧化铟(In2O3)微球结构.利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)表征分析In2O3样品的晶相、元素种类和微观形貌.测试结果表明:合成的In2O3为空心的微球...
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116. 二维硒化钼薄膜的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年11期页码:摘要： 少数层MoSe2材料作为一种新型半导体材料,具有较高的光电转换效率.综述了单层或数层MoSe2二维材料的特性,简述了MoSe2二维纳米材料的主要制备方法,包括机械剥离法、化学气相沉积(CVD...
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117. 氧化锌系列薄膜体声波谐振器研制与表征刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年11期页码:摘要： 研制了一种氧化锌基的固体装配型薄膜体声波谐振器.采用了布拉格反射层为反射基底,以掺镁氧化锌作为压电层,利用MEMS微制造工艺形成了一系列的固体装配型薄膜体声波谐振器.通过优化条件,制备出了具...
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118. 电磁式振动能量采集器性能的改进刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年11期页码:摘要： 电磁式振动能量采集器是一种重要的微能源器件.介绍了近年来国内外研究人员提出的具有代表性的电磁式振动能量采集器,按照改善电磁式振动能量采集器输出性能的措施,把相关电磁式振动能量采集器的研究归纳...
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119. 电流体动力学喷印电压控制模式及其应用现状刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年11期页码:摘要： 电流体动力学喷印技术是一种制备微纳米结构与器件的新型技术,该技术在多种功能器件的制备方面受到广泛关注.阐述了电流体动力学喷印技术的研究背景,通过分析得出电压控制问题是电流体动力学喷印技术中的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年11期页码:摘要： 利用压差液流法在硅微通道板(MCP)孔道内侧壁上沉积钴镍磷(CoNiP)软磁性材料,制备了钴镍磷微米管阵列.比较了液流沉积与直接水热法沉积两种工艺方法,验证了液流法对于宏多孔硅化学沉积的优化...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
微纳电子技术统计分析
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