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微纳电子技术2017年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
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16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 为解决化学机械平坦化(CMP)后Cu表面存在表面粗糙度大、侵蚀等问题,以表面活性剂为基础研制新型碱性清洗剂.采用对比实验研究了脂肪醇聚氧乙烯醚(JFC)、聚乙二醇(PEG)、高碳脂肪醇聚氧乙...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 针对抛光垫的使用寿命对铜膜平均去除速率一致性的影响进行研究,同时采用实时表面形貌控制(RTPC)技术,对抛光过程中,铜膜表面形貌进行实时监控.实验结果表明:抛光垫的使用寿命对铜膜化学机械抛光...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 为了满足微电子机械系统(MEMS)器件制作要求,各向异性腐蚀加工后的硅衬底需具有良好的表面质量.针对MEMS用硅单晶在各向异性腐蚀加工过程中出现的腐蚀表面粗糙、不平整问题,采用常规直拉(Cz...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年11期页码:摘要： 提出了一种基于硅透镜集成的高灵敏度GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的太赫兹模组探测器.在太赫兹波辐照下,超半球硅透镜可以有效提高太赫兹波收集效率和消除被测器件的衬底干涉效应,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年11期页码:摘要： 通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)法,在氢化物气相外延(HVPE)自支撑GaN衬底和蓝宝石(0001)衬底上外延生长AlGaN/AlN/GaN结构的高电子迁移率晶体管(HEMT)材料,采...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年11期页码:摘要： 为了得到ZnSe∶O/ZnO核壳结构纳米线中间带太阳电池的最优吸收效率,通过时域有限差分法对纳米线的直径进行了优化,使纳米线的吸收光谱与太阳光谱相重合的波段有较高的吸收效率,并且使ZnSe∶...
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97. 石墨烯/金属接触研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年11期页码:摘要： 石墨烯/金属接触是石墨烯应用在集成电路领域的一个重要问题,按照其接触方式的不同,介绍了近年来关于石墨烯/金属接触的研究,主要分析了面接触与边缘接触的接触机理以及不同接触方式的器件结构,比较了...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年11期页码:摘要： 设计并制作了多种声表面波(SAW)器件,并研究了设计参数与工艺参数对器件特性的影响.首先在同一块掩膜板内设计了多组不同尺寸与间距参数的SAW器件,然后用微电子机械系统(MEMS)微加工工艺在...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年11期页码:摘要： 设计了一款小型超宽带(UWB)共面波导(CPW)馈电的八边形缝隙柔性天线,可应用于超宽带无线通信系统.该天线采用了新兴柔性材料聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为介质基板,并在PDMS介质基板的一...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年11期页码:摘要： 介绍了一种基于摩擦和压电复合机制的接触-分离式纳米发电机的制备方法,利用倒模工艺形成带有铜网微结构的硅胶膜,与铝电极形成顶端摩擦层结构;利用聚偏氟乙烯(PVDF)膜和铝电极形成底端压电层结构...
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101. 微半球谐振陀螺技术研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年11期页码:摘要： 首先介绍了微半球谐振陀螺(μHRG)基于驻波进动效应进行角度或角速度检测的工作原理.依据谐振子制作工艺的区别,将微半球谐振陀螺分为微玻璃吹制型、牺牲层型、精加工型三种,并对上述三种类型微半球...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年11期页码:摘要： 铜布线化学机械抛光(CMP)后清洗的主要对象是CMP工艺后在铜表面的残留物,包括硅溶胶颗粒、金属离子与有机物残留.采用PVA刷洗的清洗方式对CMP后表面残留的硅溶胶颗粒与表面吸附的苯并三氮唑...
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103. 柔性基底导电银墨水喷墨打印工艺分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年11期页码:摘要： 以银导电墨水为打印墨水材料,以热塑性聚氨酯弹性体橡胶(TPU)薄膜为柔性基底材料,通过压电式材料喷墨打印机在柔性基底上打印导电膜图形.通过光学显微镜对基底材料表面打印银墨水状态观察发现:基底...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年11期页码:摘要： 以螯合剂与活性剂为材料,利用难溶物质微弱电离平衡、螯合剂络合机理以及活性剂的铺展、润湿以及渗透作用,结合有机物结构相似相溶原理,研制新型碱性清洗液,用于有效去除Cu-CMP后的苯并三氮唑(B...
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105. GaSb单晶片CMP工艺的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年11期页码:摘要： 主要研究了GaSb单晶片的化学机械抛光(CMP).使用硅溶胶作为抛光液对切割、机械抛光后的GaSb单晶片进行了CMP实验.在实验中,通过调节抛光液配比、pH值等工艺参数,研究不同氧化剂的掺入...
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106. 椭圆柱纳磁体全自旋逻辑器件开关特性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年12期页码:摘要： 基于自旋传输和磁动力学耦合模型,研究了纳磁体形状对全自旋逻辑(ASL)器件临界开关电流以及开关延迟时间和功耗的影响.仿真结果显示,由于椭圆柱纳磁体构成的ASL器件易磁化轴方向退磁因子相比长方...
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107. p型PERC双面太阳电池背面铝栅线的设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年12期页码:摘要： 钝化发射极背面接触(PERC)双面太阳电池(PERC+)背面采用丝网印刷铝栅线的设计,代替常规PERC电池背面全铝背场层,达到背面发电的效果.对不同背面铝栅线宽度的PERC+电池和常规PER...
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108. MoSe2薄膜的制备与光电特性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年12期页码:摘要： 主要研究了硒化钼(MoSe2)薄膜的制备及其光电特性.以硒化钼粉末作为原料、采用化学气相沉积(CVD)法在Si衬底上沉积硒化钼薄膜.利用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、霍尔效...
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109. 液滴在亲水表面快速铺展过程中的溅射现象刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年12期页码:摘要： 采用格子Boltzmann方法,建立了液滴在亲水固体表面上快速铺展过程的三维非稳态理论模型.研究了液滴铺展的动态过程,分析了液滴的形貌变化,比较了固体表面润湿性和液滴的运动黏度对液滴铺展过程...
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110. 平面环形谐振腔的腔长对品质因数的增强效应刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年12期页码:摘要： 品质因数(Q)是光学谐振腔的重要参数,大尺寸的平面环形谐振腔有着更大的单圈损耗,却具有更高的Q值.针对这个问题,从光子寿命的角度对环形谐振腔耦合结构进行了建模分析与仿真,提出了用等效单位传输...
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111. 微型植入式磁力供药系统的制备与测试刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年12期页码:摘要： 设计了一个直径为1 mm的新型植入式磁力驱动供药腔,该供药腔包括磁性薄膜、聚二甲基硅氧烷(PDMS)空腔、PDMS薄膜以及内径为0.4 mm的聚四氟乙烯(PTFE)导管构成,通过O2等离子处...
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112. 微波在半导体退火工艺中的应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年12期页码:摘要： 针对传统快速热处理工艺(RTP)在退火过程中引起杂质再扩散导致难以制作浅结器件的问题,采用了微波退火的方式进行退火,有效降低了热预算,能够解决杂质再扩散的问题.相比传统RTP退火,微波的退火...
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113. 可循迹纳米台阶标准样版的制备与表征刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年12期页码:摘要： 介绍了纳米几何量量值传递中纳米标准样版的计量与溯源特性.分析了微纳米测量仪器在纳米标准样版几何参量校准中对标准样版循迹结构的具体需求.设计了标准值为60 nm,具有可循迹结构的纳米台阶标准样...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年12期页码:摘要： Ru作为14 nm及以下技术节点的铜互连极大规模集成电路(GLSI)的新型阻挡层材料,在化学机械平坦化(CMP)工艺中易与Cu发生电偶腐蚀,影响器件的稳定性.采用动电位扫描的电化学方法表征铜...
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115. 磁控溅射法低温制备Al膜工艺参数的优化刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年12期页码:摘要： 以高纯度铝作为溅射靶材,高纯度氩气作为溅射气体,在低温环境下利用直流磁控溅射设备在硅衬底上成功制备了铝膜.通过单一因素控制法研究了溅射功率、腔室压强和基片转速三个关键因素对铝膜的均匀性、致密...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年12期页码:摘要： 通过电化学工作站对2英寸(1英寸=2.54 cm)n型GaN晶圆进行了研究,结合X62型单面抛光机研究GaN电化学腐蚀与化学机械抛光(CMP)的一致性,并利用原子力显微镜(AFM)检测抛光后...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年12期页码:摘要： 回顾了用于制造可穿戴电子设备及软机器人的材料及制造工艺.总结了应用于可穿戴电子设备及软机器人制造的各种制造工艺,它们都是将用于实现各功能的元器件通过制造工艺集成在柔性基体或基板中,这些工艺包...
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118. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年12期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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