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微纳电子技术2020年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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61. PDMS多层次蘑菇形微结构的制作刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年5期页码:摘要： 提出了一种基于光刻胶牺牲层技术的用于制作多层次SU-8模具的新方法,并进一步采用浇注成型的方法制作了聚二甲基硅氧烷(PDMS)多层次蘑菇形微结构.在多层次SU-8模具的制作过程中,使用了正性...
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62. PVT法同质籽晶AlN晶体生长刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年5期页码:摘要： 为了获得高质量AlN晶体,通过物理气相传输(PVT)法,采用AlN籽晶进行AlN晶体生长,并通过双温区加热装置对衬底与原料之间的温差进行调节.研究结果表明,籽晶形核阶段,随着AlN籽晶与原料...
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63. 基于微流控的人卵母细胞特性检测刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年5期页码:摘要： 人的卵母细胞特性的研究对于临床医学具有重要意义,可以通过卵母细胞的大小对其活性进行研究.采用微流控平台与MATLAB算法相结合的方法,利用微流控器件的沟道对卵母细胞进行挤压,由于卵母细胞的活...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年5期页码:摘要： 硅片清洗技术已成为制备高技术电子产品的关键技术.采用窄间隙介质阻挡放电方法研制了低温氧等离子体源,把氧离解、电离、离解电离成O、O-、O+和O2 (a1△g)等低温氧等离子体,其中O-和O2...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年5期页码:摘要： 采用燃烧合成法制备碳化硅(SiC)粉料,调整氢气和氩气体积流量比以及高纯氯化氢气体体积流量,使氮、铝和钒浓度低于二次离子质谱仪的检测下限,硼和钛浓度接近检测下限.使用制备的高纯SiC粉料生长...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 采用圆点传输线模型(CDTLM),对基于非磁性材料Cr/Au的垂直腔面发射激光器(VCSEL)n型GaAs欧姆接触系统进行了研究.实验结果表明,在400℃下退火35 s后,基于非磁性材料Cr...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 在不采用表面活性剂的情况下,通过简易的水热法合成了单斜相的BiVO4纳米结构.研究结果表明,pH值和反应时间是决定产物形貌和组成的两个重要因素.通过控制pH值,调控了BiVO4的形貌和制备过...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 采用热还原法、静电吸附法辅以加热固化法三步法制备了不同质量比的TiO2/g-C3N4复合纳米颗粒光催化剂.用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见漫反射光谱仪(UV-v...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 稀土离子被广泛应用于提高微波介质陶瓷的性能.稀土铌酸盐近年来被广泛研究,尤其是关于NdNbO4的单个离子掺杂改性.采用固相烧结法制备NdNb1-x(Ti05W0.5)xO4(x=0.05,0...
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71. 基于纳米森林的电容式湿度传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 提出了一种基于纳米森林的电容式湿度传感器.该湿度传感器利用等离子体技术制备的纳米森林作为湿度敏感层,湿度敏感范围为30％RH～90％RH,且在大于60％RH的湿度范围内灵敏度达到1.87 p...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 随着水下消声技术的发展,水下目标探测难度越来越大,单个水听器难以实现有效探测,需组成水听器阵列,而现有微电子机械系统(MEMS)矢量水听器存在粘接纤毛一致性相对较差、阵列应用相对困难等问题....
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 为了提高硅微谐振式加速度计(SRA)零偏温度稳定度和标度因子的温度系数,提出了一种温度标定补偿方法.首先,根据应力与谐振频率关系建立了考虑温度效应的硅微谐振式加速度计的数学模型.然后,通过安...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 由于某些阳离子的存在,端粒序列可以自发地形成鸟嘌呤-四联体(G-四联体).而G-四联体与人体的一些生理过程相关,因此可以作为一些肿瘤疾病的治疗靶标.提出了一种在限域空间内,利用固态纳米孔单分...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 研究了基于等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法的硅通孔(TSV)中(孔径5μm,深宽比10∶1)二氧化硅(SiO2)薄膜的生长技术.分析了低频功率、腔室压力和分步沉积次数对TSV深孔Si...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 对于晶圆级封装中硅基盖帽的制备工艺,采用NaOH腐蚀体系对Si<100>衬底进行湿法深腐蚀,研究了腐蚀液质量分数、添加剂添加量及腐蚀温度对腐蚀速率和形貌的影响.针对深腐蚀中掩膜易脱落的缺点,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年6期页码:摘要： 以碳化硅(SiC)晶片为加工对象,提出了双面化学机械抛光和单面化学机械抛光相结合的抛光方法.先在双面抛光机上对SiC晶片硅面和碳面同时进行化学机械抛光,然后采用单面抛光机对硅面进行化学机械抛...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 为了明确10 kV碳化硅(SiC) pin二极管的正向导通优势,降低器件的比导通电阻,制备了三种10 kV SiC二极管样品——肖特基结、pn结和电导增强的pn结二极管.通过在多层SiC外延...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 由于宽带隙、不能吸收可见光以及光生载流子易复合等问题限制了二氧化钛(TiO2)在光催化领域的应用.为了提升TiO2光催化活性,首先通过电化学还原法将TiO2自掺杂成为黑色TiO2,将其吸收光...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 以醋酸锰和氯化铁为原料、醋酸钠为沉淀剂,采用共沉淀法制备无黏合剂的铁酸锰(MnFe2O4)电极.通过扫描电子显微镜(SEM)对材料的微观结构和形貌进行表征,MnFe2O4是纳米片和纳米线的复...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 针对航天一次可编程(OTP)存储器高可靠应用需求,基于电容结构和肖特基接触模型,分析得出α-SiGe∶H膜退化前电流传输机制较好地符合热电子发射-扩散模型,并计算得到零偏α-SiGe∶H/T...
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82. 基于热粘性声学的电容式声压水听器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 针对水下设备平台对于声压信号探测的需要,设计了一款微电子机械系统(MEMS)电容式声压水听器,通过理论分析和Comsol仿真分析,确定水听器敏感振动薄膜的半径为600 μm,膜厚为3μm,空...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 采用经典分子动力学方法研究了气体环境下水银液滴在带有梯度凹槽的石墨烯-铜复合基底上的自驱动特性.研究结果表明,氮气的存在会对液滴的自驱动产生明显的阻碍作用.随着氮气密度的增加,液滴驱动的最大...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 采用干法刻蚀和湿法腐蚀工艺刻蚀单晶(002〉晶向AlN薄膜.干法刻蚀中采用电感耦合等离子体(ICP)设备在不同功率和腔压等工艺参数以及不同气体体积流量下刻蚀单晶〈002〉晶向AlN薄膜,通过...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 金纳米簇(AuNC)具有超小的尺寸、良好的光稳定性和荧光性质,被认为是一种新型的重金属离子检测探针.以牛血清白蛋白第五组分(BSA V)为模板合成了AuNC,然后用镉离子(Cd2+)进行简单...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 基于玻璃通孔(TGV)技术的微电子机械系统(MEMS)封装可用于传感器无引线封装,研究了基于纳米玻璃粉末热回流工艺的新型TGV实现方法.采用球磨技术制备玻璃粉末,且通过研究干法和湿法球磨工艺...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 综述了在n/p型4H-SiC上同时形成欧姆接触技术的研究进展,包括欧姆接触理论、欧姆接触工艺及其优缺点以及热稳定性/可靠性等方面.重点介绍了基于Ni基金属的n/p型4H-SiC同时形成欧姆接...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 采用共溶胶-双水解和后退火的方法在SiO2载体上制备出超细AgO纳米颗粒,并通过扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射(XRD)和能量色散谱(EDS)对AgO/SiO...
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89. 6英寸高纯半绝缘SiC生长技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 利用自蔓延法进行SiC粉料合成、物理气相传输法进行6英寸(1英寸=2.54 cm)高纯半绝缘(HPSI) SiC晶体生长.采用高温下通入HC1和H2的方法,对SiC粉料合成及晶体生长所使用的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2020年7期页码:摘要： 基于韦森堡效应设计出一套微笔直写的实验系统,研究了结构参数和工艺参数对供液规律以及直写规律的影响,以提供一种低成本、结构简易和高精度的直写装置.通过对比实验获得相关直写的最优工艺参数.研究发...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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