论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 工业技术期刊 \
- 无线电电子学与电信技术期刊 \
- 微细加工技术期刊 >
微细加工技术2003年第1期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
微细加工技术
分享
投稿
Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
分享
文章浏览
目录
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 简述了利用缺陷促进硅光吸收特性的发展历史,概括了用离子注入引入局域缺陷,改进硅光吸收的技术,介绍了多国学者针对局域缺陷改进硅光吸收技术的研究结果及发展趋势.
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 生物去除法是利用微生物代谢过程中一些复杂的生化反应来达到去除多余材料,加工出其它微细加工方法不能加工出的微小结构.阐述了用氧化亚铁硫杆菌作为生物氧化剂,刻蚀以铜及铜合金为材料的基片表面,得到...
-
3. 碳纳米管的分子动力学模拟刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 碳纳米管的纳米级尺寸在很大程度上限制了人们对它的了解、测试与观察,严重地影响了它的发展和应用.因此,必须有简单可行的方法来合理计算、测量碳纳米管的各种特性,计算机模拟无疑是研究这种特殊材料的...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 设计了"H"型六维x-y工件台,利用磁悬浮技术将工件台悬浮在x、y导轨上,消除了导轨的摩擦和磨损;直线电机无接触驱动实现了工件台的粗定位;控制不同磁悬浮电磁铁的电流大小,可以实现工件台的微定...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 为消除用X射线光刻机加工芯片时,光栅变形对图形特征尺寸的影响,提出了用外力控制掩模光栅微小变形方法.用理论分析和有限元计算相结合的方法分析掩模光栅在外力作用下的微小变形及其误差,并对实际结构...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 系统地研究了热丝CVD法中反应气体压力对沉积产物金刚石薄膜的形貌和拉曼谱图的影响,提出了热丝CVD生长纳米金刚石薄膜的新工艺,并在φ50mm硅片上沉积得到高质量的多晶纳米金刚石薄膜.高分辨透...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 采用射频磁控反应溅射方法,通过精确地控制氧分压、基底温度等关键工艺参数,沉积出满足非致冷红外焦平面阵列使用的VO2薄膜.解决了以往其它方法制备过程中薄膜相成份较为复杂、薄膜不均匀和电阻温度系...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 金刚石薄膜的表面平整是金刚石薄膜应用于光学、电学等领域的关键.采用氧气作气源,研究了微波等离子体工艺参数如微波功率、基台位置、氧气流量对平整金刚石薄膜效果的影响.处理后的样品用SEM、AFM...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 在分析了几种微小异形孔加工方法的前提下,介绍了采用微细超声电火花加工方法进行微小异形孔的加工.重点研究了微细超声电火花加工系统的关键技术,通过理论分析与大量实验证明了超声振动对于提高微小异形...
-
10. MEMS中几何量的测试方法刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： MEMS测试技术及方法是MEMS设计、制造、仿真及质量控制和评价的关键环节之一,讨论了应用于MEMS几何量测量的微视觉、扫描探针、光切、干涉、共焦、光栅投影等方法及基于材料和微结构特性的特殊...
-
11. RF平面螺旋微电感的物理模型刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 为了在RF频率域内准确模拟RF平面螺旋微电感的性能,讨论了一种计算RF平面螺旋微电感的物理模型,此模型采用Greenhouse法计算微电感的电感量,在计算微电感Q值时,考虑了诸如涡流、衬底电...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 为了满足RF电路、电源电路、微执行器和微传感器等领域对高性能和工艺简单的电感器的广泛需求,用正、负胶结合的微加工工艺,在硅基片上制作了有坡莫合金铁芯的和在玻璃基片上没有铁芯的、其它结构和参数...
-
13. 大驱动力高刚度纳米致动新原理研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 提出了一种将高位移分辨率的压电陶瓷致动器与大驱动力的电磁致动器进行有机结合,实行优势互补的新方法.基于新原理研制的实验样机获得了较好的技术性能指标,即驱动力300N,刚度95N/μm;分辨率...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 为了研制可调谐光纤光栅滤波器而采用拉伸装置和光纤光栅一体化的微小器件结构.实现方法是由微细加工技术加工制造一种新的波长可变光纤光栅滤波器用驱动器,该微型驱动器采用电磁式驱动,由上下两层线圈构...
-
15. 双转子平面微电机定子制作工艺研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 为减小平面微电机轴向尺寸,解决轴向单边拉力问题,制作了双转子平面微电机.定子采用平面结构,双面各呈辐射状均布平面线圈,正、反面相对应的线圈由穿过基底的引线相连.采用以准LIGA技术为基础的制...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年1期页码:摘要： 多孔硅具有选择性生长以及可以迅速释放的特性,是MEMS工艺中很好的牺牲层材料.探讨了多孔硅牺牲层工艺的特点,并通过实验证明了其在电容式微传声器制备中的应用可能.提出可以采用氧化多孔硅材料作牺...
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
微细加工技术统计分析
被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
- 期刊分类
- 最新期刊
- 期刊推荐
- 相关期刊
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
安徽电子信息职业技术学院学报
半导体光电
半导体光子学与技术(英文版)
半导体技术
半导体学报(英文版)
北京电子
电信建设
北京通信之窗
吉林大学学报(信息科学版)
重庆邮电大学学报(自然科学版)
湖南邮电职业技术学院学报
磁性材料及器件
电波科学学报
电声技术
电讯技术
电子学报
电子学报(英文)
电力电子
电力系统通信
电路与系统学报
电气电子教学学报
电视技术
影视制作
电信工程技术与标准化
电信交换
