论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 工业技术期刊 \
- 无线电电子学与电信技术期刊 \
- 微细加工技术期刊 >
微细加工技术2003年第4期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
微细加工技术
分享
投稿
Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
分享
文章浏览
目录
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 分类介绍了国内外加工纳米间隙电极的主要研究进展,并特别介绍了近期发展起来的一般光刻技术结合选择性化学沉积方法制备纳米间隙电极的研究结果,对今后的相关研究问题进行了讨论.采用选择性化学沉积技术...
-
2. 电子束三维光刻技术的研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 在IH(Integrated Harden Polymer Stereo Lithogmphy)技术和电子束光刻技术的基础上提出了电子束微三维光刻技术新概念.对其实现方法的可行性进行了简要的...
-
3. `刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 介绍了离子束刻蚀的二次效应对图形轮廓以及离子束刻蚀入射角对图形侧壁陡度的影响.利用能量为450 eV,束流密度为80 mA/cm2的离子束分别以0°、15°、30°、45°和60°的刻蚀入射...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 利用硅单晶的特殊结构可以设计出不同角度的闪耀光栅,再使用MEMS的紫外光刻、各向异性腐蚀等常规工艺就可以完成硅闪耀光栅的制作.设计了一种利用偏转晶向(111)硅片制作小角度闪耀光栅的方法,避...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 为解决研制深浮雕连续非球面微光学元件所面临的浮雕深度和面型控制这两大难点,选取吸收系数小的AZ9260正性光刻胶进行实验研究.提出了采用低温长时间前烘和连续升温后烘技术实现深浮雕结构和非球面...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 介绍了移相掩模技术的基本原理,对几种主要的移相掩模技术进行了比较,指出了各种移相方式的特点和应用局限性,并针对100nm分辨率的技术节点,阐述了各种移相方式在应用中应该解决的问题.
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 在二元光学激光直写设备中,主轴的速度稳定性是影响光刻精度的主要原因之一.提出采用机电混合滤波器消除电机的轴向振动和径向振动对系统的影响,提高主轴系统瞬时运动的平稳性.利用鉴相器输出的频差与相...
-
8. 氮化镓薄膜的研究进展刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 主要讨论了Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料氮化镓(GaN)薄膜的制备工艺、掺杂、衬底和缓冲层等相关问题,并提出了目前GaN研究中所面临的主要问题以及氮化镓材料的应用前景.
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 超精密磁悬浮工作台的磁悬浮部分的设计,将直接影响到系统的动力学性能、空间结构以及热性能等.针对这些性能上的要求,给出了一种三磁极电磁铁及相应的磁悬浮设计,并结合常规双磁极电磁铁的情况,对性能...
-
10. 新型MEMS微致冷器可行性研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： MEMS的高能量密度驱动和IC高度集成使MEMS器件产生较强的热效应,影响了MEMS器件的稳定性和寿命.传统的致冷器与待致冷器件是相对独立的器件,无法满足MEMS器件局部有效致冷和系统集成的...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 理论与实验研究发现碳纳米管在流体中存在一种电子拖曳现象,据此原理进行了多壁碳纳米管流体速度传感器的实验研究.实验中所用的碳纳米管是用热灯丝化学气相沉积法制备的.实验结果表明流动液体在多壁碳纳...
-
12. 电磁驱动柔性振动膜无阀微泵刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 提出了一种新型微泵设计方案和制作工艺,将电磁驱动器与大振幅振动膜相结合,得到流量大、易于控制的新型微泵.该微泵结构简单,由硅橡胶(聚二甲基硅氧烷PDMS橡胶)振动膜和无阀泵泵体组成,将硅加工...
-
13. 压电式微定位工作台及其控制系统刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 为了提高机床的定位精度,研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位工作台.微定位工作台在滚珠丝杠副驱动的基础上,对工作台进行了二次精定位.给出了工作台的设计简图,并对其动...
-
14. 悬空结构射频微电感的制作研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 利用MEMS工艺中的牺牲层技术制作了一种新型悬空结构微电感,在此悬空结构中,微电感的线圈制作在与衬底平行的平面上,线圈与衬底之间有立柱支撑;此新型微电感的高频性能较好,且其制作工艺流程简单,...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要： 介绍了纳米加工平台的工作原理,并对电磁力进行计算分析.根据力学方程建立了纳米加工平台的X-Y方向模拟内环模型和数字外环模型,并对数模两环反馈控制进行了研究,提出了无加速度感应器的内环控制和模...
-
刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年4期页码:摘要：
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
微细加工技术统计分析
被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
- 期刊分类
- 最新期刊
- 期刊推荐
- 相关期刊
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
安徽电子信息职业技术学院学报
半导体光电
半导体光子学与技术(英文版)
半导体技术
半导体学报(英文版)
北京电子
电信建设
北京通信之窗
吉林大学学报(信息科学版)
重庆邮电大学学报(自然科学版)
湖南邮电职业技术学院学报
磁性材料及器件
电波科学学报
电声技术
电讯技术
电子学报
电子学报(英文)
电力电子
电力系统通信
电路与系统学报
电气电子教学学报
电视技术
影视制作
电信工程技术与标准化
电信交换
