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微细加工技术2004年第4期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 考虑二次电子的产生和散射,利用Monte Carlo方法模拟了具有高斯分布特征的低能入射电子束斑在抗蚀剂中的散射过程,分别得到了电子束在抗蚀剂中的穿透深度和能量沉积的分布图.发现在能量小于2...
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2. 高能电子束曝光技术研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 介绍了将商用透射电镜JEM-2000EX改造为高能电子束曝光系统的研制工作,在现阶段研制工作的基础上进行了曝光实验.结果表明,利用此高能电子束曝光系统可以制备出纳米线条,并且能够制备出具有高...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 发射尖是液态金属离子源(LMIS)的关键部件之一,其性能的优劣直接影响到整个离子源的工作稳定性.通过对系统软件和硬件的设计,开发了一套发射尖自动腐蚀装置,该装置可以对发射尖腐蚀过程中的速度和...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 在分析了双极型晶体管和场效应晶体管各自的特点和不足后,介绍了一种既具有双极型晶体管较大电流容量和功率输出,又具有场效应晶体管高输入阻抗的电子器件--双极MOS场效应晶体管(BJMOSFET)...
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5. 纳米岛光刻技术及其应用刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 介绍了一种基于微加工技术的新方法--纳米岛光刻技术.利用该技术制造出几十纳米到微米尺度的岛结构,然后利用剥离、刻蚀等微加工技术,将该岛转化成纳米孔、纳米岛、纳米井等结构.该技术的特点是能够制...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 介绍了一套自行研制的深亚微米同步辐射X射线光刻模拟软件--XLSS 1.0.该软件基于面向对象技术,采用束衍生法及快速傅里叶变换相结合的方法来研究X射线掩模中吸收体的光导波效应,对光刻胶表面...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 采用组合靶,利用磁控共溅射技术制备了Co1-xPtx:C复合纳米颗粒薄膜,并从实验和理论上对不同Pt浓度CoPt:C薄膜的组分、微结构、磁性能、组分和微结构与磁性能之间的关系以及薄膜的应用进...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 对离子束增强沉积(IBED)氧化钒薄膜作不同条件的退火,用X射线衍射分析薄膜的晶体结构;用电阻-温度测试分析了薄膜的热电阻温度系数.实验发现,沉积薄膜存在一个形成二氧化钒结构的临界结晶温度,...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 对Pyrex 7740玻璃的湿法刻蚀工艺进行了研究.实验中采用了几种不同的材料(光刻胶、Cr/Au、TiW/Au)作为刻蚀玻璃的掩膜,通过实验发现TiW/Au掩膜相对目前比较常用的Cr/Au...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 利用等离子体对硅衬底上热生长SiO2薄膜进行表面处理,提高了二氧化硅薄膜驻极体电荷的储存稳定性.不同种类的等离子体处理,效果明显不同.同种等离子体处理的时间不同,对电荷储存性能的改善也不同....
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11. 氧化多孔硅上制作Cu电感的研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 给出了一种厚膜氧化多孔硅(OPS)层上制作Cu电感的新型工艺技术.由于OPS是一种低损耗的材料,铜的电阻率很低,采用OPS隔离硅衬底和Cu线圈能够降低电感的寄生损耗,提高电感Q值.实验过程中...
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12. 飞秒激光蚀除金属的分子动力学模拟刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 采用耦合一维双温模型的分子动力学方法,从连续及原子级的角度详尽描述了飞秒激光与金属的相互作用过程.建模时不仅考虑了激光能量的吸收方式、电子热传输及电子-晶格间的能量交换,而且对底部边界进行了...
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13. 用于MEMS器件的真空密封技术刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 介绍MEMS器件中常用的键合技术和适用于真空密封与器件性能要求的特殊结构设计,以及提高和保持器件高真空环境的方法.合适的真空密封技术不仅能够保证和提高MEMS器件的性能,同时可以简化工艺步骤...
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14. 微通道式PCR芯片温度的研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 微通道式PCR芯片是对DNA扩增的新方法,通过样品试剂在三个温区间的流动,实现对试剂中特定DNA片段的几何级数扩增.研究了一种新型微通道式PCR芯片,利用有限元技术,对芯片上热区的温度梯度和...
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15. 双层悬空结构片状微电感研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要： 利用MEMS工艺制作了一种双层悬空结构的圆形片状微电感,并研究了其在S波段的性能.双层微电感的底层线圈制作在玻璃衬底平面上,外径为500μm,匝数为2,导线宽度70 μm,导线间距15 μm...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2004年4期页码:摘要：
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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