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微细加工技术期刊
出版文献量（篇）
672
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微细加工技术

Microfabrication Technology

CSTPCD

《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊  美国工程信息公司Ei数据库收录 
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
湖南省长沙市
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
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  • 1. 电子束液态曝光技术的甩胶原理研究
    作者： 卢文娟 孔祥东 张玉林
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  1-6
    摘要： 在研究液体抗蚀剂受力分析的基础上,对液体抗蚀剂的甩胶原理,甩胶后抗蚀剂的液面形状、抗蚀剂涂层厚度与抗蚀剂黏度和马达转速之间的关系等进行了研究.结果表明,涂层表面形状为平面;随着马达转速的增加...
  • 2. 电子束能量、剂量对固化厚度影响的研究
    作者： 卢文娟 孔祥东 张玉林
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  7-11,64
    摘要： 在电子束液态曝光技术的可行性已被证实的基础上,采用理论和实验相结合的方法,就电子束能量和剂量对固化深度的影响进行了研究,以TMPTA和环氧618两种液体低聚物为抗蚀剂,得出了不同能量、不同剂...
  • 3. 基于光刻胶回流特性的平面化工艺
    作者： 叶枝灿 吴茂松 徐东 王芸 王莉
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  12-15,30
    摘要： 研究了一种利用光刻胶的回流特性去除表面的磨痕,使其表面平整化的方法,结合牺牲层结构可以非常简便地制备出微机电器件中各种悬臂梁结构.着重研究了光刻胶的前烘胶温度、回流温度、回流时间对回流效果的...
  • 4. 莫尔条纹快速细分在光电轴角编码器中的应用
    作者： 刘琳 李大一 王君立
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  16-20
    摘要： 详细介绍了莫尔条纹高插补系数快速细分的原理、硬件设计和软件设计,并将此细分装置应用于光电轴角编码器处理电路中.采用乘法倍频电路可以完成莫尔条纹信号的四倍频,提高了信号的正交性,达到了实验的要...
  • 5. 基于旋涂的纳米压印技术研究
    作者： 刘景全 孙洪文 陈迪 顾盼
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  21-24,36
    摘要： 尝试使用一种新的工艺--旋涂法来达到图案复制的目的,介绍了旋涂法完成图案复制的实验过程,就印章及其复制品的尺寸作了对比,并分析了实验中观察到的缺陷.得出在精确控制实验条件的前提下,可以通过旋...
  • 6. 用衍射场叠加法分析四种误差下的X光波带片
    作者： 付绍军 刘颖 肖凯
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  25-30
    摘要： 利用叠加所有圆环的解析近似衍射场的方法来计算和分析随机环带位置误差、宽度误差、扩散和粗糙度对X射线波带片的效率和分辨率的影响.用Strehl比来量化和衡量与理想波带片有偏差的波带片的性能,对...
  • 7. 飞秒激光双光子成型点弹性模量测量与分析
    作者： 肖诗洲 苏亚辉 董磊 郑志军 郭锐 陈宇航 黄文浩
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  31-36
    摘要： 借助原子力显微镜,选用无针尖探针测量了材料为SCR500的成型点的力学性能,由于成型点的形状为椭球,根据测量方法建立了球-平面探针接触的Johnson-Kendall-Roberts弹性接触...
  • 8. 一种用于硅基MEMS加工的深刻蚀技术
    作者： M.van der Zwan P.M.Sarro 吴俊徐 王连卫 郭平生 陈瑜
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  37-41
    摘要： 研究了光辅助电化学刻蚀技术,并特别研究了阵列和硅衬底之间的边缘效应.在阵列边缘由于电流分布不均匀以及空穴从孔的侧壁注入,因此可以在边缘区域观察到结构的坍塌,采用一个周期性变化的信号来调制光照...
  • 9. 继电器簧片气隙的激光校正试验研究
    作者： 宋文荣 郭凡林 郭满金
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  42-47
    摘要： 叙述了激光校正的基本原理,制作了相应的激光校正测试试验台.在该试验台上对继电器金属簧片进行了大量的校正测试,结果表明,激光测量点到激光校正点的间距x2与校正量h之间近似成正比例线性关系;激光...
  • 10. PZT厚膜拾振器微图形化工艺研究
    作者： 刘悦 刘景全 徐峥谊 方华斌 王莉 蔡炳初 陈迪
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  48-51
    摘要： 采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构.基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜...
  • 11. 一种PMMA表面改性的热压键合方法研究
    作者： 刘刚 朱学林 田扬超
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  52-55
    摘要： 介绍了一种基于表面改性技术的PMMA热压键合新方法.PMMA表面首先用其单体MMA进行改性,然后在真空热压设备中热压键合.主要的键合参数如下:键合压力0.5 MPa ～2.5 MPa,温度8...
  • 12. 微流控芯片金属模具制备工艺研究
    作者： 刘景全 朱军 李建华 陈迪
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  56-58,75
    摘要： 为了解决SU-8光刻胶电铸金属模具中遇到的光刻胶脱落和电铸后去胶难等问题,提出了采用硅橡胶(PDMS)微复制与电铸毛细管电泳芯片金属模具相结合的新工艺.该方法首先用SU-8光刻胶制备微通道阳...
  • 13. 一种新型微小等离子体发生器
    作者： 文莉 王海 褚家如
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  59-64
    摘要： 提出了一种基于并行探针技术的扫描等离子体加工新方法,即通过在并行探针针尖上集成微小等离子体发生器,从而实现无掩膜的扫描加工.采用二维流体模型对其中的微小等离子体发生器进行了数值仿真研究.该微...
  • 14. 蓝宝石衬底片化学机械抛光的研究
    作者： 刘玉岭 周建伟 李薇薇 檀柏梅 牛新环 王娟
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  65-68
    摘要： 为了提高蓝宝石化学机械抛光(CMP)效果,对其抛光工艺进行了研究.采用SiO2磨料对蓝宝石衬底片进行抛光,分析了抛光时的温度、pH条件、磨料粒径及浓度,结果表明,采用80 nm大粒径、高浓度...
  • 15. UV-LIGA双层微齿轮加工工艺研究
    作者： 刘景全 张晔 方华斌 朱军 潘欣欣 陈迪
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  69-75
    摘要： 利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450 μm.制备中分别采用了三种工艺路线:两次电铸、溅射种子层一次电铸和直接一次电铸,均成功地制备出了双层微齿轮,并...
  • 16. 发光二极管阵列中上隔离沟槽的设计与制备
    作者： 李佳 梁静秋 王维彪 赵莉娜 金霞
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2005年4期
    页码:  76-80
    摘要： 分析了发光二极管阵列上隔离沟槽的理想尺寸.采用湿法腐蚀方法对金属层、p-GaP层及多层AlGaInP进行了逐层腐蚀,完成了宽2 μm深6 μm的上隔离沟槽的制作.腐蚀后的上隔离沟槽边缘平整,...

微细加工技术基本信息

刊名 微细加工技术 主编
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第48研究所  主管单位
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1003-8213 CN 43-1140/TN
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