学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
热门 论文降重
免费 免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航

微细加工技术期刊
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940

微细加工技术

Microfabrication Technology

CSTPCD

《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊  美国工程信息公司Ei数据库收录 
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
湖南省长沙市
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
文章浏览
热门刊内文献
年度刊次
目录
  • 1. 大角度离子注入机控制系统软件设计
    作者： 伍三忠 吴学忠
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  1-3
    摘要： 介绍了大角度离子注入机控制系统软件的设计和实现,重点介绍了控制系统的总体设计和系统软件的结构设计、软件的具体实施和系统软件主要模块的功能.
  • 2. X射线光刻和剥离技术制作声表面波叉指换能器
    作者： 李冬梅 李晶晶 柯导明 牛洁斌 贾锐 赵以贵 陈军宁
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  4-6
    摘要： 提供了采用电子束光刻、X射线光刻和金属剥离技术制作亚微米尺寸的声表面波叉指换能器的方法.首先利用电子束光刻和微电镀技术制作x射线光刻的掩模,然后利用X射线光刻和剥离技术高效地制作大面积、纳米...
  • 3. 用于非球面测试的位相型计算全息图制作
    作者： 刘明 叶甜春 朱效立 朱日宏 谢常青 赵珉 陈宝钦 马杰 马骏 高志山
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  7-8,11
    摘要： 本文对计算全息图元件的设计和制作成算法和软件,研究了采用高速电子束直写系统制作大面积、非周期性复杂光刻图形技术,在此工作的基础上,采用湿法腐蚀铬、感应耦合等离子体刻蚀石英玻璃两步图形转移的方...
  • 4. 高高宽比硬X射线聚焦波带片的制作
    作者： 吴璇 朱效立 李亚文 牛洁斌 胡松 谢常青 陈军宁
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  9-11
    摘要： 相对于软X射线显微成像,硬X射线显微成像对菲涅尔波带片的吸收体厚度提出了更高的要求.采用电子束光刻和X射线光刻复制的方法,在聚酰亚胺薄膜上成功制作了高高宽比的菲涅尔波带片.首先利用电子束光刻...
  • 5. 射频磁控共溅射高温NH3退火制备CuO/SiO2复合薄膜的微观结构
    作者： 孙钦军 李玉国 石锋
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  12-13,18
    摘要： 采用射频磁控共溅射法在硅衬底上沉积Cu/SiO2复合薄膜,然后在NH3保护下高温退火,再于空气中自然冷却氧化,形成XuO结构,对其微观结构进行分析.随着退火温度的升高,CuO由单斜晶相逐渐转...
  • 6. Fe-ZnSe纳米复合颗粒膜的制备和磁电阻效应
    作者： 张昌文 张林 王永娟
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  14-15,33
    摘要： 采用射频溅射法制备了"纳米铁磁金属颗粒-半导体基体"Fe-ZnSe复合颗H粒膜,研究了颗粒膜的结构、磁性和磁电阻效应.实验结果表明,在室温下Fe-ZnSe复合颗粒膜中纳米Fe颗粒表现出超顺磁...
  • 7. Cu掺杂浓度对ZnO薄膜的结构、透光性和电学性质的影响
    作者： 吴兆丰 吴雪梅 徐庆岩 诸葛兰剑 陈学梅
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  16-18
    摘要： 采用射频磁控溅射方法在导电玻璃和石英衬底上制备了未掺杂和不同Cu掺杂量的ZnO薄膜.XRD显示,适当的Cu掺杂增强了ZnO的(002)衍射峰的强度;用紫外分光光度计测量了样品的透光性,结果显...
  • 8. 聚合物Parylene C薄膜的反应离子刻蚀研究
    作者： 刘景全 杨春生 沈修成 王亚军 芮岳峰 郭中元
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  19-21
    摘要： 首先简要介绍了聚合物Parylene,并以Parylene C薄膜为原料,进行反应离子刻蚀,着重研究了功率和工作气压对刻蚀速率的影响,并给出了优化的刻蚀工艺参数.结果表明,刻蚀速率随功率增加...
  • 9. 高析氢活性Ni-Mo-Zn合金电极的制备与表征
    作者： 刘伟 刘贵昌 施志聪 朱波 王华
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  22-25
    摘要： 采用两步电沉积方法在碱性柠檬酸盐-氨水络合体系中制备了含有Ni-Mo中间层的Ni-Mo-Zn电极,通过在热碱溶液中浸泡除去部分Zn后得到高析氢活性电极.SEM测试发现,该电极的合金镀层表面有...
  • 10. SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现
    作者： 周新伟 徐春晓 房立清
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  26-27,64
    摘要： 设计了一种基于SOI技术的压阻式抗冲击微加速度计,解决了电阻在高温时产生漏电流问题,有效扩展了其温度应用范围.设计方案合理应用光刻、ICP刻蚀等先进技术使其工艺得到实现.研究为下步耐高温压阻...
  • 11. 陶瓷釉用TiO2光催化剂的制备研究
    作者： 吴建青 王龙现 陈前林
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  28-30,36
    摘要： 制备了SiO2-TiO2和SiO2-ZrO2-TiO2复合光催化剂,并将其加入到陶瓷釉料中,结果表明,SiO2-TiO2,SiO2-ZrO2-TiO2复合粉体经1323 K煅烧后仍具有较好的...
  • 12. 低相位噪声毫米波平面振荡器研究
    作者： 周云芳 张胜 程知群
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  31-33
    摘要： 设计了一种低相位噪声毫米波平面振荡器电路,采用在振荡器谐振端嵌入缺陷接地结构(DGS)方法来改善振荡器的相位噪声;同时在振荡器混合集成中采用了芯片倒扣技术减小寄生效应.分析并比较了嵌入和未嵌...
  • 13. 共缩聚法制备功能化P(St-MPS)/MCM-41核壳复合微球
    作者： 刘成岑 刘永梅 张向英 申迎华 赵彦生 陈凯
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  34-36
    摘要： 以聚(苯乙烯-γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷)(P(St-MPS))微球为核模版,十六烷基三甲基溴化铵为壳模版,以P(St-MPS)微球、正硅酸乙酯与MPS的混合物为硅源,直接在无皂乳液...
  • 14. Zn2+和PO43-复合掺杂α-Ni(OH)2的结构及电化学性能
    作者： 刘爱芳 刘长久 赵卫民 邢春晓 黄良花
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  37-40
    摘要： 采用化学反应共沉淀法制备出Zn2+和PO43-阴阳离子复合掺杂的α-Ni(OH)2粉体材料.通过对其微结构表征和电化学性能的测试分析结果表明,随着阳离子Zn2+含量相对增加,阴离子PO43-...
  • 15. 微气泡在矩形铂膜加热器上的控制性生长及振动
    作者： 刘国华 张伟 徐进良 李倩
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  41-44,57
    摘要： 采用标准MEMS加工工艺,设计出了5个50μm×20μm的串联铂膜微加热器并将其置于并联流动微通道内;在脉冲加热下观察铂膜上气泡的生长行为,实验研究了主流过冷度、流速以及铂膜功率等因素对气泡...
  • 16. 反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究
    作者： 刘凯 刘武 张卫平 戴福彦 李凯 陈文元
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  45-47
    摘要： 介绍的一种反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究.利用现有实验设备,通过多次实验摸索,找到了一条实现反磁悬浮涡流旋转微陀螺下定子合理的工艺路径,并进行了测试,测试显示定子结构完整正常.
  • 17. MOCVD侧向外延生长GaN的研究
    作者： 刘宝林 朱丽虹 李晓莹
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  48-52
    摘要： 在低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)系统中利用侧向外延生长(epitaxial lateral overgrowth,ELO)技术进行了二次外延GaN的研究.SEM观察结果表明,翼...
  • 18. 锂离子电池正极材料LiNi0.4Co0.2Mn0.4O2的合成及电化学性能
    作者： 刘乐通 刘洁群 姜吉琼 李阳 王健 郑少英 钟胜奎
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  53-57
    摘要： 采用碳酸盐共沉淀法合成了Ni0.4Co0.2Mn0.4CO3前驱体,然后以Ni0.4Co0.2MnCO3和LiOH为原料,合成出了层状锂离子电池正极材料LiNi0.4Co0.2Mn0.4O2...
  • 19. 染料敏化太阳能电池改性PEDOT:PSS对电极的制备
    作者： 周红茹 巩翠翠 康姣 李璞 胡志强 苏岩
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  58-60
    摘要： 通过滚涂法制备了一种掺杂二甲基亚砜(DMSO)和炭黑的改性PEDOT:PSS新型对电极.固定炭黑的加入量,调节PEDOT:PSS与DMSO的比例,用滚涂法制备了不同的薄膜对电极.通过四探针测...
  • 20. 碳纳米管场电子发射性能不稳定性的分析
    作者： 党纯 王峰瀛 王必本
    刊名： 微细加工技术
    发表期刊： 2008年6期
    页码:  61-64
    摘要： 利用等离子体增强热丝化学气相沉积制备了多壁碳纳米管,并测试了它的场电子发射性能,发现碳纳米管的场电子发射性能在测量过程中发生了变化.利用X射线能谱仪对碳纳米管进行了表征,结果表明氧吸附在碳纳...

微细加工技术基本信息

刊名 微细加工技术 主编
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第48研究所  主管单位
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1003-8213 CN 43-1140/TN
邮编 电子邮箱
电话 网址
地址 湖南省长沙市

微细加工技术评价信息

该刊被以下数据库收录
期刊荣誉
1. 国家一级检索刊物用刊
2. 美国工程信息公司Ei数据库收录

微细加工技术统计分析

被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
  • 期刊分类
  • 最新期刊
  • 期刊推荐
  • 相关期刊
一般工业技术 交通运输 军事科技 冶金工业 动力工程 化学工业 原子能技术 大学学报 建筑科学 无线电电子学与电信技术 机械与仪表工业 水利工程 环境科学与安全科学 电工技术 石油与天然气工业 矿业工程 自动化技术与计算机技术 航空航天 轻工业与手工业 金属学与金属工艺
安徽电子信息职业技术学院学报 半导体光电 半导体光子学与技术(英文版) 半导体技术 半导体学报(英文版) 北京电子 电信建设 北京通信之窗 吉林大学学报(信息科学版) 重庆邮电大学学报(自然科学版) 湖南邮电职业技术学院学报 磁性材料及器件 电波科学学报 电声技术 电讯技术 电子学报 电子学报(英文) 电力电子 电力系统通信 电路与系统学报 电气电子教学学报 电视技术 影视制作 电信工程技术与标准化 电信交换
电子设计工程 信息技术 计算机与数字工程 中国新通信 电子测量技术 电子世界 电子测量与仪器学报 激光与红外 光电工程 通信技术 电视技术 光学技术 电子制作 机械设计与制造工程 电子测试 激光与光电子学进展 数字技术与应用 半导体学报(英文版) 信息通信 激光杂志 移动通信 现代雷达 信号处理 电子元件与材料 电子科技
微细加工技术
按字母查找期刊：

联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com

京ICP备2021016839号 营业执照 版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号