论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 工业技术期刊 \
- 一般工业技术期刊 \
- 真空科学与技术学报期刊 >
真空科学与技术学报2002年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
分享
投稿
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
分享
文章浏览
目录
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 外延生长异质薄膜通常要求材料之间晶格匹配,然而利用范德瓦尔斯作用外延生长时,晶格匹配要求显著降低.实验上已经得出了在MoS2基板上外延生长C60薄膜的结果,本文用分子动力学计算机模拟方法对M...
-
92. 系统级模拟的MEMS器件宏模型刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年5期页码:摘要： MEMS器件的系统级模拟是实现器件优化的重要环节,常用的MEMS器件系统级模拟方法是基于宏模型,该宏模型要能与电路模拟软件相连接,再用电路模拟软件进行系统级模拟.因此,关键是如何建立能满足此...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 在电子回旋共振(ECR)等离子体装置中,使用Ar气,N2气,H2气和普通空气放电,对聚四氟乙烯(PTFE)材料进行表面处理以提高其表面粘结性能.详细研究了在不同的放电气压,微波功率,处理时间...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 本文介绍脉冲调制电子探束测量电子诱导脱附阈值能量方法的原理,同时给出该法进行电子诱导脱附阈值能量测量的实验及结果.与传统的直流电子探束测量电子诱导脱附阈值能量的方法相比,使得测量设备简化的同...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 用自行设计的RF-PCVD(射频辉光放电等离子体化学气相沉积)设备沉积类金刚石膜,并对膜的力学、光学、化学性能进行了分析.表明用该设备制备的类金刚石膜具有显微硬度高、磨擦系数小、膜基结合力高...
-
96. 表面电晕预电离与火花预电离之比较刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 本文报道了表面电晕预电离与火花预电离的比较结果.针式火花预电离源利用热电弧发出强烈的紫外光,其发射光谱范围从可见光连续延伸到紫外.表面电晕预电离源,通过介质极化发射电子,在预电离电路中产生电...
-
97. 微波ECR等离子体刻蚀系统刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 研制成功了一台微波电子回旋共振等离子体刻蚀系统.该系统采用微波通过同轴开口电介质空腔产生表面波,由Nd-Fe-B永磁磁钢形成高强磁场,通过共振磁场区域内的电子回旋共振效应产生大面积、均匀、高...
-
98. 微光像增强器信噪比测试技术研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 对一台进口的微光像增强器信噪比(SNR)测试仪进行了改造,重新研制和设计了测试仪的信号处理模块、计算机系统和测试软件,采用硬件滤波、软件数字滤波和快速傅立叶变换(FFT)相结合的方法实现了像...
-
99. 钼酸铅晶体表面红外增透膜的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 本文讨论了用于钼酸铅晶体表面的宽带红外增透膜的设计以及其在真空环境中的制备.膜系设计中,运用反射率图解法以获得满意的光学性能;与传统的热蒸发镀膜工艺相比,在真空沉积过程中采用了离子辅助沉积技...
-
100. NbN沉积膜的抗腐蚀特性研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年5期页码:摘要： 利用磁过滤等离子体沉积技术在单晶Si和碳钢衬底上生长一层NbN沉积膜,用XPS,XRD和SEM对膜层进行测量和分析,结果表明,沉积膜为δ-NbN,沉积膜的质量与样品的衬底温度有关,衬底温度越...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 用变角X射线光电子能谱(XPS)技术分析了GaAs光电阴极的激活工艺,定量计算了阴极表面激活层和界面氧化层的厚度和组成.界面氧化物是由于O原子穿过激活层,扩散到GaAs与(Cs,O)激活层的...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 描述了ZnSxSe1-x光盲紫外液晶光阀的结构和工作原理,并从器件的电学模型出发,着重讨论了整体器件对ZnSxSe1-x光敏层的特殊要求.采用分子束外延技术在ITO导电玻璃上制备了具有(11...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 利用自行研制的传感器和测量装置,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定,算出放电管的总阻抗,结合放电管的等效电路,对容性耦合射频(CCRF)激励激光器放电特性进行研究,得出容性耦合射频激励...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 用热蒸发沉积和自然氧化及加热法制备纳米量级的Al/Al2/O3薄膜和多层膜.本文用X射线光电子能谱(XPS)和紫外光电子能谱(UPS)对样品进行价带能谱的检测与分析.获得的Al/Al2/O3...
-
105. SU-8的紫外深度光刻模拟刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 在微电子机械系统(MEMS)中,大高宽比微结构被广泛应用.由于紫外光衍射效应比较大,通过紫外光刻获得高精度的大高度微结构并不容易.本文主要研究了衍射效应对深紫外光刻精度的影响,并与实验结果进...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 在室温下采用溶胶法制备锐钛矿型纳米TiO2薄膜,研究不同温度处理后薄膜的超亲水性、光催化能力.结果表明:在室温下制备、固化的薄膜具有良好的超亲水性、光催化能力和较高的可见光透射率,且薄膜厚度...
-
107. 有机纳米整流器的STM研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 金属有机络合物Ag-TCNQ的薄膜在STM针尖电场的作用下,当电压达到某一阈值后可以从高阻态跃迁至低阻态.在一定的条件下,在低阻态的保持时间很短,且高低阻态间的转换可以重复.由于它们都是有机...
-
108. 《真空科学与技术》杂志社通知刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要：
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 软磁材料中存在巨磁阻抗(giant magneto-impedance,GMI)效应以及与之相同来源的应力阻抗(stress-impedance,SI)效应,利用这两种效应可以制成具有高灵敏...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 常用的优化设计方法,如单纯形法、Powell法等,易陷入局部最优解.而遗传算法是一种新兴的直接搜索最优化算法,它模拟达尔文遗传选择与自然进化的理论,根据"适者生存"和"优胜劣汰"的原则,借助...
-
111. 气相沉积制备硬质薄膜技术与应用述评刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 本文对气相沉积技术的发展与最新趋势给出了述评,重点强调了等离子体辅助化学气相沉积(PCVD)的优势、进展及其在工模具领域的应用.
-
112. 信号调制法测量中性粒子ESD脱附截面刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： ESD截面是电子诱导脱附研究中的用以描述脱附产物的一个重要物理量,中性粒子ESD脱附截而的测量一直是ESD截面测量中比较难以解决的问题.本文介绍了利用信号调制法测量了中性粒子ESD脱附截面的...
-
113. 场发射显示器件中真空获得和维持工艺的改进刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 真空的获得和维持是目前FED研究工作中存在的主要困难之一.本文研究了在现有的传统封接排气以及消气工艺的实验条件下,进行了多种工艺改进:设计了一种新型的三层FED器件结构,在这种结构中,实现了...
-
114. 循环压力法冻干兔角膜的实验研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 通过不同压力下兔角膜真空冷冻干燥的实验研究,认为采用变幅值、变周期的循环压方法可以提高冻干兔角膜的活性.得出冻干循环压力法参数:压力幅值,压力周期的优化是提高角膜活性的关键.
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 光电子谱中的背景信号包含样品的信息,但过去往往被忽略.实际上通过分析背景信号,可以获得成分随深度分布等信息.本文介绍Tougaard背景拟合法及其在光电子谱深度剖析中的应用.
-
116. 金属Be真空出气性能的测试刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 利用四极质谱计测试了国产金属铍材在100℃～600℃不同温度下的真空出气成分及相对含量,实验得出铍的大量出气主要在温度400℃～500℃之间,其放出气体的主要成分按放气量大小依次为H2O,C...
-
117. 双束投影管测试台中动态聚焦电路的研制刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 动态聚焦技术是为了改善显象管或投影管的边缘聚焦质量,动态的对屏幕中央及四周的聚焦差异进行补偿,从而达到提高整体分辨率的目的.作者针对双束投影管测试台的要求,设计了其中的动态聚焦电路.通过实验...
-
刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要：
-
119. 反应磁控溅射ZnO薄膜的高温退火研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： ZnO薄膜足一种新型的Ⅱ-Ⅵ族直接能带化合物半导体材料,有可能实现短波长的探测器,LED和D等光电子器件.用磁控溅射法在硅衬底上生长ZnO薄膜,由于薄膜与衬底之间较大的应力失配,以及由于较快...
-
120. 反应沉积法制备c轴取向ZnO薄膜及表征刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2002年6期页码:摘要： 以二水合醋酸Zn为原料,采用反应沉积方法在非晶玻璃衬底上制备出了高度c轴取向、结晶良好的ZnO薄膜.研究了不同衬底温度和Zn源温度对ZnO薄膜性质的影响,探讨了不同衬底温度和Zn源温度下生长...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
真空科学与技术学报统计分析
被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
- 期刊分类
- 最新期刊
- 期刊推荐
- 相关期刊
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
北京勘察设计
爆破
巴蜀质量跟踪
包装工程
包装世界
包装与设计
材料保护
材料导报
材料工程
材料开发与应用
材料科学技术(英文版)
材料科学与工程学报
材料科学与工艺
材料研究学报
CT理论与应用研究
磁性材料及器件
影视制作
低温工程
低温与超导
低温与特气
大众标准化
复合材料学报
福建分析测试
福建质量管理
福建质量技术监督
