反应沉积法制备c轴取向ZnO薄膜及表征

• 作者: 刘坤 叶志镇 季振国 杨成兴 王龙成 芮祥新
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 化学
• 关键词: ZnO薄膜 反应沉积 X射线衍射 紫外辐射光吸收
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 470-473
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+1|O484|O614.241
• 字数: 3240字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.06.018

摘要

以二水合醋酸Zn为原料,采用反应沉积方法在非晶玻璃衬底上制备出了高度c轴取向、结晶良好的ZnO薄膜.研究了不同衬底温度和Zn源温度对ZnO薄膜性质的影响,探讨了不同衬底温度和Zn源温度下生长ZnO薄膜的最佳参数.本文还讨论了该方法制备ZnO薄膜的沉积机制及优化条件下样品的透光特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季振国	浙江大学硅材料国家重点实验室	48	467	12.0	19.0
2	刘坤	浙江大学硅材料国家重点实验室	12	201	6.0	12.0
3	王龙成	浙江大学硅材料国家重点实验室	9	29	3.0	5.0
4	芮祥新	浙江大学硅材料国家重点实验室	8	21	3.0	4.0
5	叶志镇	浙江大学硅材料国家重点实验室	155	1638	21.0	35.0
6	杨成兴	浙江大学硅材料国家重点实验室	4	91	3.0	4.0