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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
总被引数（次）
19905
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  • 1. 一种新型的表面传导电子发射阴极
    作者： 吴凯 李德杰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  339-342
    摘要： 本文介绍了表面传导电子发射(SCE)显示技术,提出Bi2O3/C/Cu结构的双薄膜型SCE阴极,并对其制备工艺和发射性能进行讨论.与佳能公司的SCE阴极相比,该结构采用了廉价的方式实现纳米级...
  • 2. 基于放大单元实验的新型荫罩式PDP放电特性研究
    作者： 姜有燕 屠彦 张健 张雄 郑姚生
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  343-347
    摘要： 设计制作了封闭的新型荫罩式等离子显示屏(SM-PDP)放大单元实验屏,对SM-PDP放电特性进行了研究.设计了相应的驱动电路,且驱动波形频率、占空比等参数可调.建立了放大单元的光辐射特性测试...
  • 3. 用当代飞行时间二次离子质谱分析航天器污染
    作者： 周传良 查良镇 王光普 陈旭 黄雁华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  348-352
    摘要： 随着对航天器长寿命和高可靠性的要求日益提高,其污染问题已引起国内外高度重视.在监测污染物总量的基础上,需要有效的分析手段确定污染物的化学成分才能判断污染源.用当代飞行时间二次离子质谱仪器(T...
  • 4. 双底栅双壁碳纳米管场效应晶体管的构建和特性研究
    作者： 张振宇 梁学磊 王胜 陈清
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  353-357
    摘要： 构建了以双壁碳纳米管为导电通道、Al2O3和SiO2为绝缘层、Al和Si为栅极、Pd为源和漏电极的双底栅场效应晶体管,测量了晶体管的特性.观测到了双壁碳纳米管的三种典型的输运特性;观测到了两...
  • 5. 固定流导法真空漏孔校准装置
    作者： 刘波 张周焕 李得天 杨新民 王占忠 葛敏 郭美如
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  358-362
    摘要： 为了精确校准较小漏率真空漏孔,研制了固定流导法真空漏孔校准装置.在漏孔校准过程中,通过调节稳压室中的压力,很容易使标准气体流量与漏孔漏率非常接近或相等,从而避免四极质谱计的非线性影响.通过实...
  • 6. 中频反应溅射TiO2时的Ti靶特性
    作者： 杨勇 查良镇 范垂祯 许生 赵来 陈旭
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  363-367
    摘要： 中频反应溅射沉积二氧化钛膜难于控制的主要原因是钛靶的强金属性,使滞回曲线(hysterrisis curve)过渡区临界.实验结果表明,钛靶电压随氧气流量在非平行的过渡区作非单调的变化.建立...
  • 7. 钛合金表面非平衡磁控溅射制备氮化钛薄膜性能研究
    作者： 冷永祥 张琦 杨文茂 王志浩 黄楠 齐峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  368-371
    摘要： 本文利用非平衡磁控溅射技术,通过改变薄膜沉积时氮气和氩气分压比(PN/PAr)和靶基距,在Si(100)和钛合金(Ti6A14V)基体上制备了氮化钛薄膜.利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显...
  • 8. 低温沉积ITO膜的透光率及电磁屏蔽特性的研究
    作者： 吴玉韬 翁小龙 邓龙江
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  372-376
    摘要： 采用射频磁控溅射技术,在水冷的有机玻璃(PMMA)和聚乙烯对苯二甲酯(PET)柔性膜上,低温沉积ITO薄膜.研究了膜厚对其形貌、光电以及电磁屏蔽特性的影响.结果表明,表面形貌随膜厚的增加有明...
  • 9. 真空碳热还原氯化法从铝土矿炼铝
    作者： 刘谋盛 戴永年 王平艳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  377-380
    摘要： 采用真空碳热还原氯化法从铝土矿炼铝,实验结果表明:用这种方法可以从铝土矿一步得到纯度为93.82%的金属铝,而铝土矿中的其他杂质与碳会发生反应,但因为这些杂质及其反应产物没有挥发性而留在反应...
  • 10. 二氧化硅基质中包埋硅纳米晶薄膜的光学性质研究
    作者： 支壮志 杨华哲 祁阳 魏葳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  381-384
    摘要： 本文采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法,在不同的SiH4和CO2气体流量比率(GFRRSC)下,制备了基质中包埋硅纳米晶的二氧化硅薄膜.微区拉曼光谱计算结果表明,随着GFRRS...
  • 11. ZnO薄膜的缺陷研究进展
    作者： 叶志镇 朱丽萍 林益梅 陈兰兰 黄靖云
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  385-391
    摘要： ZnO是一种新型的Ⅱ-Ⅵ族半导体材料,具有许多优异的性能,可望成为新一代光电材料.但由于ZnO存在许多缺陷从而对它的各种性能产生了不良影响.比如点缺陷会影响ZnO的p型制备,Vo可能导致Zn...
  • 12. 真空技术及设备在动力电池制造中的应用
    作者： 牛慧贤
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  392-396
    摘要： 真空作为低于一个标准大气压力的气体状态,能显示许多常压状态下无法出现的工艺新特点,已被人们在许多工业领域所应用.本文总括了真空技术及设备在全密封铅酸动力电池、MH-Ni动力电池、锂离子动力电...
  • 13. 通过制备Ti/TiC和Si/SixNy过渡层在铜基体上沉积类金刚石膜的研究
    作者： 刘贵昌 徐军 汲大鹏 王静 邓新禄
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  397-403
    摘要： 将磁控溅射物理气相沉积(MS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)技术相结合,在铜基体上通过制备丽种不同的过渡层,成功地沉积了类金刚石膜.拉曼光谱结果分...
  • 14. 基体温度对中频磁控溅射制备的氧化锌镓薄膜性能的影响
    作者： 姬杨玲 庄大明 张弓 赵方红
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  404-407
    摘要： 利用中频磁控溅射方法,溅射Ga2O3含量为5.7wt.%的氧化锌镓陶瓷靶材,在不同的基体温度下制备了ZGO薄膜.研究了基体温度对ZGO薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响.结果表明:基体温度...
  • 15. 银离子注入表面改性涤纶材料的抗菌性能研究
    作者： 李建新 李鹏 沈丽如 王进 许泽金 陈燕 黄楠
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  408-411
    摘要： 采用银视线离子注入(beam ion implantation,BⅡ)对医用涤纶(polyethylene terephthalate,PET)材料进行表面改性,X射线衍射(X-Ray di...
  • 16. RF等离子体聚合类聚氧化乙烯(PEO-like)功能薄膜研究
    作者： 周美丽 葛袁静 陈强
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  412-416
    摘要： 采用射频等离子体,以乙二醇二甲基醚(Ethylene Glycol Dimethyl Ether)为聚合单体,用氩气作为工作气体,合成类聚氧化乙烯(PEO-like)官能聚合物.实验采用连续...
  • 17. 溅射气氛对所制备PST/Si薄膜性能的影响
    作者： 孙平 王茂祥
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  417-420
    摘要： 采用高频磁控溅射法制备了Si基(Pb1-xSrx)TiO3系铁电薄膜(以下简称PST/Si).实验表明,合适的Ar、O2分压比,能保证溅射时挥发出的Pb及时与补充的O离子得以充分化合,确保制...
  • 18. 中频反应磁控溅射制备Al2O3:Ce3+薄膜的蓝色发光特性
    作者： 刘斯明 巴德纯 廖国进 闻立时 阎绍峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  421-424
    摘要： 本文用中频反应磁控溅射技术制备了Al2O3:Ce3+的非晶薄膜.这些薄膜的光致发光峰是在370 nm到405 nm范围内,它们来自于Ce3+的5d1激发态向基态4f1的两个劈裂能级的跃迁.发...
  • 19. 硅基氧化铱薄膜的脉冲激光沉积及其微观结构研究
    作者： 公衍生 张联盟 沈强 王传彬
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年5期
    页码:  425-428
    摘要： 采用脉冲激光沉积技术,在Si(100)基片上制备了高致密的氧化铱(IrO2)薄膜,研究了不同沉积温度对薄膜结构的影响.利用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱、扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(A...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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