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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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4084
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19905
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  • 1. DNB束功率测量系统设计
    作者： 刘智民 刘胜 朱武 胡纯栋 谢俊
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  49-52
    摘要： 设计了测量诊断中性束(DNB)束功率及束密度剖面的束功率测量方案,采用热电偶测量束线轰击功率测量靶板后靶面的温升信号,经热电偶信号调理器调制放大后,由数据采集卡采集到现场计算机中进行数据处理...
  • 2. 光学薄膜厚度的实时监控算法研究
    作者： 于继荣 帅福利 黄光周 黎永志
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  72-76
    摘要： 从工程的角度分析了传统斜率法判断极值点的固有局限性,然后建立监控信号的数学模型,在此基础上,运用现代数字信号处理技术和数学方法,设计了一种新的光学薄膜厚度实时监控算法.
  • 3. 温度和脉冲频率对三维原子探针测试结果的影响
    作者： 刘庆冬 刘文庆 周邦新
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  53-56
    摘要： 在不同的温度和脉冲频率下,用三维原子探针对Cu-Fe-Ag合金进行测试.结果表明,温度和脉冲频率对原子电离的价态有影响;随着温度的升高,Cu原子以Cu+电离蒸发的比例增加,以Cu2+电离蒸发...
  • 4. 碳纳米管薄膜场发射器件中栅极的调制特性研究
    作者： 崔云康 张晓兵 狄云松 王保平 王维列 苏星 雷威
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  1-4
    摘要： 三极结构的场发射器件的研究备受关注,栅极的调制特性是三极结构的主要研究对象.本文通过计算机模拟分析碳纳米管薄膜层表面的电场分布,结合在二极结构中碳纳米管薄膜发射的实验结果,将两者代入Fowl...
  • 5. 应变率对Ag/Co多层膜硬度的影响及塑性变形不稳定性研究
    作者： 宗瑞磊 文胜平 曾飞 潘峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  22-26
    摘要： 周期结构对多层膜硬度和弹性模量的影响已有比较深入的研究,而对多层膜塑性变形特征和机理的研究还少有报道.本文采用直流磁控溅射制备了周期Λ为10 nm,20 nm,40 nm,60 nm的Ag/...
  • 6. 隧穿型量子效应薄膜材料制备技术
    作者： 卜夏正 商耀辉 张雄文 李亚丽 武一宾 牛晨亮 王建峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  15-17
    摘要： 探讨了隧穿型量子效应薄膜材料制备技术,并应用分子束外延方法制备了典型结构外延材料GaAs基共振隧穿二极管,经过器件验证,得到了较好的结果.重点讨论了关键制备技术,包括束流精细控制和间歇式生长...
  • 7. ZrC/ZrB2纳米多层膜的微观结构与机械性能的研究
    作者： 乔林 张学华 曹猛 李德军 杨瑾 王明霞 邓湘云
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  27-30
    摘要： 选择ZrC和ZrB2为个体层材料,利用射频磁控溅射系统在室温下制备具有纳米尺寸的ZrC/ZrB2多层膜.通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、俄歇电子能谱、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究了调制...
  • 8. 长寿命中子管制作中的关键技术
    作者： 刘林茂 李文生 谷德山
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  77-78,76
    摘要： 简要介绍了中子管的结构和基本原理,并对长寿命中子管制作中的关键技术,气压调解元件、磁钢、加速电极、管壳材料选取及加工方法,排气和充氘氚工艺等,进行了详细的介绍.采用这些关键技术制作出的中子管...
  • 9. 离子束入射角度对Co50Nb50薄膜微结构的影响
    作者： 吕方 曾飞 潘峰 谷宇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  18-21
    摘要： 利用离子束辅助沉积技术,通过改变离子束入射方向与薄膜表面法线的夹角,制备了一系列厚度为50 nm的Co50Nb50薄膜,并研究了离子束入射方向对薄膜表面结构的影响.实验中,离子束入射角分别为...
  • 10. Ti表面磁控溅射Nb膜的研究
    作者： 任家烈 吴爱萍 姚为 邹贵生
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  41-44
    摘要： Ti表面磁控溅射Nb膜作为Ti与其他金属连接的合金层或过渡层有着重要的研究意义和实用价值.本文研究了基体温度、薄膜厚度、真空退火对Nb膜附着性和组织结构的影响,应用扫描电镜观察了膜层表面和界...
  • 11. 173 nm真空紫外光源的研制
    作者： 卜忍安 左丰国 张劲涛 王文江 金晶
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  65-67
    摘要： 非相干紫外或真空紫外光源的应用已成为众多工业部门中一项基础性和关键性的技术.本文着重介绍了介质阻挡放电产生173 nm紫外光的原理,并设计制作了利用此方法获得173 nm真空紫外光的装置.试...
  • 12. 同步辐射活化氧清洗光学元件研究
    作者： 周洪军 张国斌 郑津津 钟鹏飞 霍同林
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  45-48
    摘要： 利用自行研制的真空清洗装置连接到同步辐射光束线上开展了同步辐射光活化氧清洗碳污染光学元件的研究.引入同步辐射光到冲入氧气的清洗真空室,使氧气电离而生成臭氧.臭氧具有很强的氧化性.光学元件表面...
  • 13. 等离子体加工光学元件装置技术研究
    作者： 刘卫国 徐均琪 杭凌侠 梁海峰 胡敏达
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  38-40
    摘要： 介绍了一种新型的超光滑表面加工技术-等离子体抛光.设计和安装了一套等离子体加工试验平台.加工试验平台由真空系统、等离子体源、射频电源系统、气路系统组成.试验平台具有独立变量:气体流量、真空度...
  • 14. FED荧光粉发光性能测试方法研究
    作者： 刘颖 卜忍安 张忠臣 王文江 王毅冰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  68-71
    摘要： FED技术正在不断研究和发展中,目前还没有适合场发射显示器工作条件的商用荧光粉.本文根据FED激励荧光粉发光的原理研制了一种荧光粉发光性能测试管并搭建了能够测试荧光粉性能的测试系统.分别测量...
  • 15. Ar/N2气体比例对TaN/NbN纳米多层膜机械性能的影响
    作者： 刘桐 张学华 曹猛 李德军 杨瑾 王明霞 邓湘云
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  31-33
    摘要： 采用射频磁控溅射系统,以TaN和NbN作为体材料,制备了一系列TaN/NbN纳米多层膜.通过XRD,纳米力学测试系统分析了该体系合成中Ar/N2气体比例对多层膜结构与机械性能的影响.结果表明...
  • 16. ZrN/TiAlN纳米多层膜的制备及其结构与性能的研究
    作者： 刘桐 张学华 曹猛 李德军 杨瑾 邓湘云
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  34-37
    摘要： 利用高真空离子束辅助沉积系统在室温下制备了ZrN,TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用X射线衍射仪、纳米力学测试系统和多功能材料表面性能实验仪表征了薄膜的微结构和机械性能,分...
  • 17. p型GaN上透明电极的研究现状
    作者： 孔春阳 张淑芳 方亮 董建新 高岭
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  5-9
    摘要： GaN基发光器件通常采用金属作为p型GaN的接触电极,但由于金属透光率低,大大降低了器件的发光效率,解决办法之一就是采用透明导电薄膜作为其接触材料.本文在分析p-GaN上难以形成欧姆接触原因...
  • 18. 《真空科学与技术学报》征稿说明
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  插1
    摘要：
  • 19. 173 nm真空紫外光源的测试及分析
    作者： 卜忍安 左丰国 张劲涛 薛少丽 金晶
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  62-64
    摘要： 通过自行设计的测量装置,用专用探测器对173 nm介质阻挡放电产生的紫外光进行辐照度的测试.对着火电压与pd值、紫外光源的辐照度之间的关系进行测量分析,并对试验中所用MgF2晶体的透过率进行...
  • 20. 静电悬浮加速度计真空装置的研制
    作者： 刘保湘 张剑威 王佐磊 薛大同
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  10-14
    摘要： 静电悬浮加速度计是重力测量卫星的关键载荷之一,静电悬浮加速度计长期保持优良的高真空是控制其噪声水平的必要措施.与地面应用不同,静电悬浮加速度计的真空室是上天产品的组成部分.本文采用吸气剂泵与...
  • 21. CI(G)S薄膜太阳电池金属预置层的研究
    作者： 何青 刘芳芳 姜伟龙 孙云 李凤岩 鞠兰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2007年z1期
    页码:  57-61
    摘要： CI(G)S薄膜太阳电池是目前国际光伏界研究开发的热点.本文研究了采用直流磁控顺序溅射制备的Cu-In-(Ga)预制层的材料特性.制备时的工作压强、溅射顺序以及预制层的组分等因素都直接影响着...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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