光学薄膜厚度的实时监控算法研究

• 作者: 于继荣 帅福利 黄光周 黎永志
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 厚度监控 算法
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 72-76
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2980字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.z1.019

摘要

从工程的角度分析了传统斜率法判断极值点的固有局限性,然后建立监控信号的数学模型,在此基础上,运用现代数字信号处理技术和数学方法,设计了一种新的光学薄膜厚度实时监控算法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黎永志	华南理工大学电子与信息学院	2	2	1.0	1.0
2	黄光周	华南理工大学电子与信息学院	26	189	9.0	13.0
3	帅福利	华南理工大学电子与信息学院	2	2	1.0	1.0
4	于继荣	华南理工大学电子与信息学院	16	84	5.0	8.0