真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 任忠鸣 任树洋 任维丽
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  430-433
    摘要: 在不同磁场下,用真空蒸发法制备了不同方向放置的Zn薄膜.对样品进行X射线衍射分析表明,在大于3 T的磁场环境下,垂直于磁场放置的基片上制备的Zn薄膜最强衍射峰为(002),而平行于磁场方向放...
  • 作者: 刘峰 吴建华 李相波 王琪
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  434-437
    摘要: 本文运用冷弧空气等离子体射流技术处理316L不锈钢表面,分别采用俄歇能谱、阳极极化和FeCl3加速腐蚀实验等研究316L不锈钢表面所形成钝化膜的成分、结构和抗点蚀性能.研究表明:316L不锈...
  • 作者: 张明 张燕 顾彪
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  438-444
    摘要: 使用大气压氮气介质阻挡放电(DBD)等离子体对丙纶熔喷无纺布进行表面处理,通过水接触角测量、傅里叶变换红外反射光谱、扫描电镜和X射线光电子能谱等测试方法研究了等离子体处理前后丙纶熔喷无纺布表...
  • 作者: 刘胜芳 吴爱民 姜辛 李帅 杨智慧 秦福文 董武军 陈伟绩
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  445-449
    摘要: 采用电子回旋共振-等离子体辅助增强金属有机物化学气相沉积两步生长法在玻璃衬底上低温沉积CaN薄膜.利用原位反射高能电子衍射、X射线衍射、室温透射光谱和原子力显微镜,研究了不同TMGa流量条件...
  • 作者: 严辉 宋雪梅 张雪红 李耳 王波 裴明德
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  450-454
    摘要: 通过化学反应和低气压氧化两步法,在不用低表面能有机物修饰的情况下,在铜表面成功制备了一层超疏水薄膜,其表面的接触角可达到151°,滚动角小于10°.用扫描电镜、接触角测量仪、X射线衍射仪、能...
  • 作者: 王晓冬 董敬亮
    发表期刊: 2010年4期
    页码:  455-458
    摘要: 为了深入了解水蒸气喷射泵内流场结构,采用文献[1]给出的物理模型,在保持其他条件不变情况下,采用计算流体力学模拟得到不同背压下喷射泵内部压力分布图和混合室内迹线图,模拟结果与实验数据有较好的...
  • 作者: 张平 杜军 蔡志海 赵军军
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  459-463
    摘要: 为降低活塞环与缸套摩擦副的磨损及延长活塞环的使用寿命,本文采用多弧离子镀在活塞环表面制备了CrN及CrTiAlN复合膜,比较研究了Cr电镀层与CrN,CrTiAlN复合膜的纳米硬度及高温摩擦...
  • 作者: 夏云霞 张鹏程 王庆富 蓝林钢 郎定木 陈林
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  464-469
    摘要: 采用磁控溅射离子镀技术在贫铀表面以不同偏压制备了铌镀层,利用X射线衍射仪和扫描电镜对镀层的组织结构进行了表征,采用纳米压痕仪与摩擦磨损仪对镀层的力学性能进行了分析.结果表明:铌镀层平整致密,...
  • 作者: 施洋 杭凌侠 潘永强
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  470-473
    摘要: 太阳能模拟器作为研究航天科技卫星空间环境模拟和太阳能电池的检测与标定的必要模拟设备,越来越受到人们的关注,其中,模拟器滤光片(AM1.5)是太阳能模拟器的关键元件.本文依据标准大气光谱和标准...
  • 作者: 丰杰 李建国 梅军 胡东平
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  474-478
    摘要: 采用热丝化学气相沉积方法研究了CH4/H2体系不同沉积气压以及不同加热结构对金刚石薄膜组成及形貌的影响,并对其摩擦磨损性能进行了检测.结果表明:通过降低反应气体的压力和选择适当的碳源浓度的方...
  • 作者: 崔旭梅 陈孝娥 黄载春
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  479-483
    摘要: TiO2用于治理环境污染是当前的热点问题之一.本文采用溶胶-凝胶法制备了稀土元素Sm掺杂的TiO2光催化薄膜,并对薄膜进行了X射线衍射和扫描电子显微镜表征,将制得的TiO2薄膜用于降解农药废...
  • 作者: 崔传伟 张鹰 朱俊 魏贤华
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  484-487
    摘要: 通过原位的反射高能电子衍射,监测并测量了MgO/SrTiO3(001)岛状生长初期过程中的面内、面外晶格常数的演变.薄膜的面内晶格在一开始生长时就发生弛豫,且大多数应变在2 nm厚度左右被释...
  • 作者: 廖秀尉 朱俊 罗文博
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  488-491
    摘要: 采用脉冲激光沉积法在(0001)取向的GaN以及AlGaN/GaN调制掺杂结构上制备了(111)取向的BiFeO3(BFO)薄膜.首先在导电氧化物SrRuO3和TiO2缓冲层包覆的GaN上制...
  • 作者: 朱俊 李理 罗文博
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  492-495
    摘要: 采用脉冲激光沉积技术在(0001)取向的GaN基片上以TiO2为缓冲层外延生长了PZT(111)单晶薄膜.X射线衍射分析表明PZT(111)衍射峰的摇摆曲线半高宽为0.4°,说明薄膜结晶性能...
  • 作者: 廖秀尉 朱俊 罗文博 郝兰众
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  496-499
    摘要: 采用LiNbO3单晶靶材,以激光脉冲沉积方法在六方GaN(0001)基片上沉积制备c轴取向的LiNbO3薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)研究...
  • 作者: 朱俊 李扬权 罗文博
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  500-504
    摘要: 用脉冲激光沉积设备,分别在SrTiO3(001)(STO)和MgO(001)基片上外延生长了单层Ni0.8Zn0.2Fe2O4(NZF)薄膜.经X射线衍射分析,在STO和MgO基片上制备的N...
  • 作者: 吕世功 巩水利 彭丽平 李剑锋 李国卿 武洪臣 王兆松 王春
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  505-509
    摘要: 对含50%AlN 颗粒的铝基复合材料进行预处理后,在其表面依次采用浸锌化学镀镍工艺制备Ni-P过渡层,采用脉冲偏压磁过滤多弧离子镀工艺沉积硬质Ti/TiN调制周期膜,采用脉冲等离子体化学气相...
  • 作者: 任妮 武生虎 肖更竭 赵栋才 马占吉
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  510-513
    摘要: 为了减小复材天线反射器在高频段的反射损耗,利用电弧离子镀膜技术在其表面镀Al膜.用万能拉伸测试仪、表面轮廓仪、SEM、XPS、XRD、Z-82 数字式四探针测试仪对其性能进行评价.发现薄膜致...
  • 作者: 伍建华 张晓锋 望咏林 温培刚 颜悦
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  514-519
    摘要: 本文利用孪生靶50 kHz中频磁控反应溅射的方法,在多孔阳极层离子束源产生的低温离子束辅助条件下制备了光学性能良好的氧化钛薄膜.利用原子力显微镜、分光光度计、椭圆偏振光谱仪研究了离子束功率以...
  • 作者: 廖云建 李剑锋 李国卿 李晓虹 王兆松
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  520-523
    摘要: 研究了Ti60合金及表面阴极多弧离子镀沉积涂层(Ni-Co-Cr-Al-Y-Si)的600~750 ℃的高温氧化行为.采用X射线衍射、扫描电子显微镜等方法,对Ti60合金及涂层表面形貌、结构...
  • 作者: 张建超 杜康 汪曣 赵学玒 高艳艳 黄超
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  524-528
    摘要: 基于自制的气相色谱-飞行时间质谱联用(GC-TOF MS)分析系统,研发了所需的传输接口及电子轰击(EI)源.随后,对自制EI源及离子传输系统进行了离子光学调谐的模拟试验,以保证GC-TOF...
  • 作者: 张东平 梁广兴 范平 蔡兴民 郑壮豪
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  529-534
    摘要: 以ZnO(掺杂2%Al2O3)陶瓷靶作为靶材,采用离子束溅射技术在BK7玻璃基底上制备AZO透明导电薄膜.研究不同工艺参数对ZnO∶Al(AZO)薄膜结构与光电性能的影响.结果表明,不同等离...
  • 作者: 屠彦 李巧芬 杨兰兰 王保平
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  535-540
    摘要: 采用基于密度泛函理论的原子轨道展开方法的第一性原理计算了Mg1-xSixO体系的电子结构、用SIESTA软件包计算了Mg1-xSixO体系的晶胞结构,体系基态总能,确定了MgO的最优晶格常数...
  • 作者: 汪荣顺 陈树军
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  541-544
    摘要: 为了从样品的微观结构方面解释各种吸气剂吸附量的大小,利用ASAP2010型物理吸附仪,在77 K下对其进行高纯N2吸附和脱附,再结合BET二常数公式法、MP法和BJH法,分析它们的微观结构和...
  • 作者: 刘洪喜 汤宝寅 蒋业华
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  545-550
    摘要: 用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合改性技术在AISI52100轴承钢基体表面合成了高硬耐磨的TiN薄膜.膜层的相组成及其表面形貌分别用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)...
  • 作者: 全亚民 崔惠兵 张燕生 朱敏 罗积润 郭炜 黄云平 黄羽
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  551-556
    摘要: 讨论了三间隙耦合腔输出结构中各模式的谐振频率特性,分析了耦合系数对模式重叠过程的影响.以X波段为例,模拟计算了输出结构的群时延特性,研究了输出结构工作的稳定性.结果表明,在带内波动约1.7 ...
  • 作者: 宋云涛 王传礼 王忠伟 陆坤 陈晨
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  557-560
    摘要: 真空隔断是真空盒体与低温分配管路之间的连接接口.本文主要介绍了真空隔断的结构设计,并应用有限元分析软件ANSYS Workbench建立了真空隔断的三维实体模型,对其进行了热和结构的耦合分析...
  • 作者: 巩建鸣 蒋文春
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  561-566
    摘要: 对304不锈钢板翅结构进行真空钎焊试验,对单轴拉伸进行试验研究与有限元分析,讨论钎料厚度对不锈钢板翅抗拉强度的影响.研究结果表明,钎料厚度对304不锈钢板翅结构强度影响较大.当钎料厚度小于1...
  • 作者: 朱兴华 李乐中 杨军 杨定宇 杨维清 魏昭荣
    发表期刊: 2010年5期
    页码:  567-570
    摘要: 采用电子束蒸发法制备了PbI2多晶薄膜,研究制备条件对薄膜光电性质的影响.结果表明,不同条件下制备的样品呈现不同的择优取向生长特征,但均属于六方相多晶结构.随着衬底温度的升高,PbI2薄膜的...
  • 作者: 单莉英 孙琦 白传易 顾昌鑫
    发表期刊: 2010年6期
    页码:  571-576
    摘要: 传统的四极离子阱质量分析器中离子的运动可用二阶线性微分方程--Mathieu方程的解来描述.根据Mathieu稳定图所反映的离子运动特性,可实现离子的质谱分析.但Mathieu方程对平板电极...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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