真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 张广秋 张跃飞 杨丽珍 边心超 陈强
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  221-225
    摘要: 等离子体中电子激发温度是等离子体的一个重要物理参数之一,对材料表面改性具有非常重要的意义.本实验以Ar气为工作气体,利用发射光谱法对双层辉光放电等离子体参数进行在线诊断.依据气体放电中的光谱...
  • 作者: 达道安 陈光奇 陈叔平
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  226-228
    摘要: 为预测空间站两舱压力平衡时间,基于热力学状态方程和流体流导概念建立了由专用阀门连通的两空间舱压力平衡的数学表达式,揭示了两舱压力差与初始条件及时间的关系.表明平衡压力差与气舱容积、初始压差成...
  • 作者: A.Bogaerts 吕晓丹 宁建平 秦尤敏 苟富君
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  229-235
    摘要: 采用分子动力学方法模拟了Ar+与表面含有C,F反应层的Si样品的相互作用过程,以了解Ar+与氟化的Si的作用机制.为了和相对应的实验结果做比较,选择了两种样品,表面富F样品和表面富C样品.模...
  • 作者: 庄大明 张弓 杨宇
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  236-239
    摘要: 采用中频交流磁控溅射方法,在玻璃基底上沉积Cu-In预制膜,采用固态硫化法制备获得了CuInS2(CIS)吸收层薄膜.考察了硫化时间对于CIS薄膜结构、形貌以及禁带宽度影响.通过XRD分析了...
  • 作者: 刘纯亮 梁志虎 王志国 范琳瑶
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  240-244
    摘要: 为增强交流等离子体显示器(AC PDP)中低灰度级图像的显示效果,提出了一种子场抖动方法.该方法根据AC PDP采用子场方法显示灰度的特点,利用一种新型阈值矩阵对AC PDP中权重较小的两个...
  • 作者: 于新华 方智 牛新建 蒙林
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  245-248
    摘要: 根据耦合波理论,对8 mm波段TE01-TE11模式变换器的几何结构进行了优化分析,得到了最优几何参量.用仿真软件优化设计了同一波段TE11-HE11模式变换器.数值计算和仿真结果表明这两个...
  • 作者: 丁建 朱秉莹 李学超 李长生 莫超超
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  249-253
    摘要: 采用双靶反应磁控溅射的方法,通过改变基体相对于靶材的位置制备了一系列不同化学成分的W1-xTixN薄膜.用X射线衍射仪,扫描电子显微镜,能量散色谱等检测手段对薄膜的表面状态,化学成分以及结构...
  • 作者: 周建新 徐宏 李伟 栾小建 王志远
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  254-258
    摘要: 为了抑制乙烯裂解炉管内表面结焦,在实验室小试的基础上,对SiO2/S涂层进行了中试制备研究.并分析了不同气体流速对涂层形貌和结构的影响,优化了涂层中试制备工艺.采用扫描电子显微镜和Raman...
  • 作者: 冯月斌 徐宝强 戴永年 杨斌 袁海滨 郁青春
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  259-264
    摘要: 碳热过程的热力学分析表明,系统压力为100 Pa时,生成Al4O4C与Al4C3以及Al4O4C与C结合生成Al4C3的初始温度分别为1690,1711,1472 K;碳热-氯化过程的热力学...
  • 作者: 刘悦 周艳文 赵卓
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  265-269
    摘要: 磁场结构在磁控溅射技术中起着重要的作用.本文利用ANSYS软件模拟计算磁场的磁感应强度及其分布,并分析、比较不同方案中的磁场分布变化规律.计算结果与实测值吻合,并且显示随着与靶面距离的增加磁...
  • 作者: 顾文琪 马向国
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  270-272
    摘要: 本文对自主开发研制的一种可用于纳米聚焦离子束系统的液态金属Ga离子源进行了不同温度下发射特性实验,测定了在三种引出电压下不同温度该离子源的I-T特性曲线,同时测定了在三种发射电流下离子源引出...
  • 作者: 左桂忠 张凌 李建刚 罗南昌 胡建生
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  273-278
    摘要: 为了抑制等离子体杂质和减少粒子再循环,获得高品质的等离子体,HT-7超导托卡马克将进行锂限制器实验.为此需要在实验台上开展一些先行试验,以掌握锂材料操作的关键工艺;在加热和直流辉光放电下,借...
  • 作者: 付志伟 夏志林 李展望 洪晓亮 薛亦渝 赵立新 郭培涛
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  279-282
    摘要: 以硫酸、草酸溶液为电解液,采用二次阳极氧化法制备了初始孔径在20~120 nm、孔间距在40~250 nm、孔深在200 nm~80 μm范围内的具有高度有序纳米孔阵列的多孔阳极氧化铝(po...
  • 作者: 刘大春 徐宝强 李学鹏 杨斌 王林
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  283-287
    摘要: 本研究利用纯度为99.96%粗Ni为原料,进行真空蒸馏实验,在1773~1973K温度下和保温2.5 h及真空度小于10 Pa的实验条件下进行真空蒸馏.以实验结果为依据计算了产物中各种杂质的...
  • 作者: 张文杰 朱圣龙 李汝愿 李瑛 王福会
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  288-292
    摘要: 采用直流磁控反应混合靶共溅射的方法,在玻璃基体上制备出了Fe掺杂的TiO2膜,优化了沉积条件以制备出均匀透明的TiO2膜.通过调整固定在Ti靶上的Fe片面积可以控制膜中Fe的浓度.随着Fe浓...
  • 作者: 张跃飞 李兴存 桑利军 陈强
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  293-296
    摘要: 采用自行设计和加工的微波电子回旋共振装置、进气系统和工艺程序,以三甲基铝为前躯体,氧气为氧化剂,HF处理过的单晶硅片为基片,在无任何外加热条件下进行原子层沉积氧化铝薄膜的实验研究.利用X射线...
  • 作者: 朱冬生 李新芳
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  297-301
    摘要: 建立了测量纳米流体流动与对流换热性能的实验系统,探讨了不同pH值、分散剂浓度和纳米粒子质量分数对Cu-水纳米流体对流换热性能的影响.结果表明:pH值对Cu-水纳米流体对流换热系数的影响较小,...
  • 作者: 姜丽莉 宋淑梅 李延辉 杨田林 辛艳青 韩圣浩
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  302-305
    摘要: 在室温下,采用直流磁控溅射方法制备了不同厚度的氧化锌掺铝薄膜,并对样品进行了快速退火处理,退火温度为600℃,时间为60 s.研究了退火前后薄膜的结构、光电特性的变化情况.退火后,薄膜的最小...
  • 作者: 刘汉法 张化福 类成新 袁长坤
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  306-310
    摘要: 利用直流磁控溅射法在室温玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的铝锆共掺杂氧化锌(ZAZO)透明导电薄膜.讨论了溅射功率对ZAZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响.实验结果表明,溅射功率对...
  • 作者: 巩春志 李景 杨士勤 田修波 田雷
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  311-315
    摘要: 利用偏压/射频耦合等离子体增强化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(简称聚酯,PET)筒内壁制备了类金刚石薄膜(DLC).采用X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、三维表面轮廓仪、紫外/可见光...
  • 作者: 李祥东 汪荣顺 陈树军
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  316-320
    摘要: 采用热重分析方法,以氮气为载气,对真空吸气剂吸氢后的样品进行了热解实验.含100%PdO的吸气剂吸氢后的热解分为PdO脱氢、Pd脱氢和PdO分解三个区域,对应的温度区间分别为202~284℃...
  • 作者: 尹周澜 张平民 熊利芝 陈启元
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  321-324
    摘要: 通过热力学计算和理论分析表明,在真空条件下可有效降低氧化锌矿中氧化物碳热还原反应的临界温度;将蒸馏出的气体进行分段冷凝,可将Pb,As,Cd与Zn分离.实验证实,在多级冷凝真空炉内,可以降低...
  • 作者: 徐均琪 梁海锋 苏俊宏
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  325-328
    摘要: 在激光损伤测量系统中,利用光散射法判别激光薄膜损伤,需要寻求光源和探测器之间的最佳位置.为此,在不同损伤激光脉冲能量、不同测量入射角度(0°,30°,45°,60°)和不同探测器距离(200...
  • 作者: 崔贯英 张钧
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  329-333
    摘要: 采用多弧离子镀技术并使用合金靶Ti-Al-Zr制备(Ti,Al,Zr)N多元超硬梯度膜.利用扫描电镜、X衍射仪对(Ti,Al,Zr)N膜层表面、断面形貌、成分、结构进行观察测定;系统考察了沉...
  • 作者: 周晖 蒋钊 郑军
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  334-339
    摘要: 通过多种表面测试手段对几种单一及双离子注入空间齿轮传动副用30CrMnSi材料的真空摩擦学性能进行了研究,同时对不同注入条件进行了计算机模拟计算.结果表明,Ti++N+双注入后表面真空摩擦磨...
  • 作者:
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  340
    摘要:

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
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真空科学与技术学报统计分析

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