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真空科学与技术学报2012年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
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真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 采用直流磁控溅射法在Pt/Ti/SiO基片上分别以三种不同的基板温度和后热处理工艺制备了二氧化锡(SnO2)薄膜.采用X射线衍射仪对三种薄膜的晶格结构进行了分析表征,通过Keithley 4...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 利用直流磁控溅射法,在室温水冷柔性PET衬底上成功制备出了掺钛氧化锌透明导电薄膜(TZO).通过X射线衍射和扫描电镜等表征方法对薄膜结构和特性进行测试分析,研究了靶与衬底之间的距离(靶基距)...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 提出金属曲面二次电子发射的形状因子概念,并从理论上论述了形状因子对曲面二次电子发射系数的影响.从半经验理论出发,推导出低能原电子入射下,金属曲面二次发射系数与入射角的近似关系,并结合曲面形状...
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154. 金属栅回刻平坦化技术刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 随着CMOS集成电路技术节点缩减到45nm及以下,高K金属栅(HK/MG)的后栅集成工艺已逐渐成为先进集成电路制造中的主流技术.其中金属栅(假栅)集成结构的平坦化是实现后栅集成的关键技术之一...
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155. 运用蒙特卡罗方法分析像增强器分辨率刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 介绍了运用蒙特卡罗方法分析三代微光像增强器分辨率的方法.该方法取一组随机数,来模拟像管中光电阴极受激发射的电子.综合考虑微通道板参数、第一近贴距、第二近贴距、阴极电压和荧光屏电压等影响,模拟...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 对电子束轰击炉电子光学系统磁聚焦过程中产生的球差进行了研究.分析了有限放大倍数下磁透镜产生的球差系数.根据两个磁透镜各自的球差系数建立了双聚焦系统球差系数的数学模型.为减小球差对双聚焦系统聚...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 基于有限元数值分析对等离子喷涂不同的基体上的喷涂陶瓷涂层和金属涂层中残余应力进行了分析,结果表明:涂层与基体体系的最大应力分布在接触界面附近,由中心线向外依次递增,在边缘处达到最大值.在体系...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 主要对圆柱形阳极层霍尔推进器进行实验研究,得到推进器的工作特性、离子束分布、束流中电子的含量等结果.并且给出圆柱形阳极层霍尔推进器的最佳工作参数:工作电压在700～ 1000V之间,电流在0...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 通过热力学计算,得出红土镍矿被C还原的化学反应自由能和各还原反应临界温度,表明真空可有效降低化学反应自由能,确定了碳热还原氧化镁制取金属镁的反应温度为1200～ 1350℃,同时存在氧化镁的...
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160. 真空蒸馏分离锡铁合金的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 从理论和实验两方面讨论了锡铁合金分离的可能性和规律性.利用真空感应熔炼炉与立式真空蒸馏炉,实验考查了蒸馏温度、蒸馏时间、炉内压力以及电磁搅拌作用对锡铁合金分离效果的影响.结果表明:在真空感应...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 在1400℃,用Ti,Si,C,Al,NaCl原料,氩气保护下无压烧结合成出纯净的、层状的Ti3SiC2陶瓷.用X射线衍射、扫描电子显微镜,透射电子显微镜对Ti3Sic2陶瓷的物相、表面形貌...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 长波红外宽光谱长波通滤光片是光谱成像技术中重要的光学元件.本文研究了一种宽光谱长波通滤光片优化设计,论述了设计长波红外宽光谱长波通滤光片的设计原则和方法.根据等效折射率理论,以周期性对称膜系...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 回顾了近年来CIGS薄膜太阳能电池无镉缓冲层的研究进展；着重介绍了In2S3,ZnS,Zn1-xMgxO三种可替代CdS缓冲层材料的常用制备方法及相关特性,并且对应给出了每种材料和方法获得的...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 介绍了用磁增强等离子体化学气相沉积技术在连续(Roll-to-Roll)系统中,于PET薄膜表面沉积纳米SiOx阻隔层薄膜的工艺.研究不同的工艺条件下,薄膜的阻隔性能,硬度及其影响的因素.实...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 用原位光学二次谐波方法监测了室温时Na在Si(111)7×7表面沉积过程中的信号变化.室温下Na沉积量小于饱和单层时信号变化比较复杂,随Na沉积量的变化依次出现三个特征峰.覆盖度约0.45 ...
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166. 干式罗茨真空泵吸气级内流动的瞬态模拟刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年9期页码:摘要： 基于动网格方法建立了干式真空泵罗茨型吸气级的三维瞬态数值计算模型.模拟结果与抽速曲线对比,入口压力为1000 Pa时误差为11.5％,100 Pa时误差为34.2％,表明计算流体力学(CFD...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 为了应用于场发射显示器,采用电化学阳极氧化,快速热氧化和磁控溅射等方法制备出了金属/多孔硅/硅基底/金属结构的多孔硅电子发射体,并运用扫描电子显微镜观察了多孔硅的微观形貌,结果发现多孔硅的孔...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 为了降低材料的二次电子发射系数,本文对高导电无氧铜(OFHC,简称无氧铜)进行离子束表面改性处理,并研究其最优工艺条件,重点考查了温度、时间等工艺参数对表面形貌以及二次电子发射系数(δ)的影...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 采用等效电路理论,建立了双耦合口输出腔间隙阻抗频率特性的冷测模拟计算方法.运用该方法,并借助CST-MWS三维电磁场计算软件,计算分析了某S波段单间隙双耦合口输出腔的间隙阻抗频率特性.结果显...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 用电弧离子镀技术在TC4钛合金基体上通过改变偏压制备了4组TiN/CrN薄膜,对薄膜的表面形貌、厚度、相结构、硬度、膜基结合力和摩擦系数等组织、性能进行了测试表征.结果表明,薄膜是由TiN相...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 借助直流脉冲微弧氧化(MAO)电源,采用恒压模式在AZ80镁合金表面制备四种不同厚度MgO陶瓷层,并以此为基,采用离子束复合磁控溅射技术沉积类金刚石碳(DLC)膜,对比研究了四种膜层体系(M...
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172. 无支撑优质金刚石膜研制中的相关问题探讨刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 无支撑优质金刚石膜在微波真空器件和光学器件中的广泛应用,有赖于制备成本的下降和工艺的完善.结合微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜的工艺研究结果,本文就沉积速率、晶面取向以及内应力...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 对CaF2在以白云石和菱镁石为原料的铝热还原过程中的行为进行了研究,通过X射线衍射对还原渣和结晶产物的物相进行了分析,对CaF2在铝热还原过程的反应过程以及加速还原反应的机理进行了探讨.实验...
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174. 氧化铝真空碳热还原炉瞬态温度场模拟计算刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 以昆明理工大学真空冶金国家工程实验室氧化铝真空碳热还原炉为研究对象,依据传热学理论和氧化铝真空碳热还原炉的结构特点,分析了氧化铝真空碳热还原炉的加热和散热过程,并用有限元法建立了真空碳热还原...
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175. 真空蒸馏铟锡合金回收金属铟的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 采用真空电阻炉对铟锡合金进行了实验研究.首先通过实验确定了较好的蒸馏时间和蒸馏温度范围.最后根据化验结果确定了对生产具有指导意义的实验条件,即对金属铟质量分数为90％的铟锡合金进行真空蒸馏时...
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176. 磁控溅射设备中铜靶刻蚀形貌的仿真计算研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 提出了一种铜靶刻蚀形貌模拟方法,基于靶材溅射率与靶材表面磁场水平分量成正比的假设,以美国应用材料公司的小行星PVD磁控溅射装置为算例,实现了复杂运动轨迹铜靶刻蚀形貌的模拟,仿真计算结果与实际...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 基于旋转圆柱靶磁控溅射阴极的工作原理,建立其结构模型,并应用ANSYS有限元方法对旋转靶阴极磁场进行了模拟计算,得到了磁场分量Bx在靶材表面上的二维磁场分布规律.通过调节磁铁的宽和高、磁铁间...
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178. 磁流体密封的磁路设计及磁场有限元分析刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 为了在磁流体密封结构的密封间隙内获得最大的磁能积以及提高磁流体密封的耐压能力,在磁路设计理论和磁流体密封理论的基础上,对一种并联型的磁流体密封结构进行磁路设计,采用有限元法数值计算出磁流体密...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 针对真空度测量精度低的现状,提出一种真空度测量精度改善方法.以热偶规为研究对象,基于BP神经网络设计真空度测量系统.通过设计BP网络结构,采用三种不同的算法对网络权值进行训练,以获得尽可能稳...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2012年10期页码:摘要： 电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)具有对一种或多种基本元素、同位素快速分析的能力,在诸多领域有其广泛应用.本文对ICP-MS接口部分中等离子体气流及离子的运动过程进行了理论分析,基于Chi...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
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| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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