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真空科学与技术学报2013年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
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19905
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211. 铝掺杂及温度对氧化锌薄膜发光特性的影响刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 使用水热法在石英衬底上制备了掺铝氧化锌(AZO)薄膜,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和低温光致发光谱技术对薄膜的微结构和发光性能进行了表征.结果表明,薄膜由氧化锌纳米锥构成,纳米锥直径大部...
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212. 真空蒸镀锗掺杂多晶硅薄膜的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 为了进一步提高多晶硅薄膜的晶化率,采用真空蒸镀的方法在玻璃衬底上制备了掺杂稀土锗的多晶硅薄膜.用扫描电子显微镜(KYKY-1000B)和显微激光拉曼光谱仪(JY Labram HR 800)...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 分析了热蒸发、溅射和脉冲激光沉积三种镀膜技术镀金属薄膜的性能特点.根据文献报道数据,研究了三种镀膜技术镀金属薄膜的成膜机理、晶格参数、膜力学性能的差别.脉冲激光沉积镀膜易按层与层叠加方式成膜...
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214. 铀上激光辅助化学气相沉积铝薄膜研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 为了防止金属铀的腐蚀,本文采用激光辅助化学气相沉积在铀上制备了铝薄膜.采用扫描电镜、X射线衍射、俄歇电子探针分析了薄膜的形貌、物相以及界面特性,并采用电化学极化曲线对薄膜的抗腐蚀性能分析.结...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 利用多靶磁控溅射系统制备了一系列坡莫合金薄膜样品Ta(4 nm)/ZnO(t)/Ni81Fe19(20 nm)/ZnO(t)/Ta(3 nm),研究了ZnO插层厚度、基片温度对坡莫合金薄膜各...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 采用射频磁控溅射制备不同W含量的CrSiWN薄膜.利用X射线衍射、扫描电镜、能量散射谱、纳米压痕仪和摩擦磨损实验机对薄膜的相结构、形貌、成分和摩擦性能进行分析.结果表明,CrSiWN薄膜为f...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 利用辉光等离子渗金属技术,在0Crl8Ni9Ti不锈钢表面形成渗Zr合金层,探讨了极间距、气压、保温温度、源-阴极电压差、保温时间对渗Zr合金层厚度的影响,进而优化工艺参数,并对合金层的金相...
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218. 铝诱导晶化低温制备多晶硅薄膜的机理研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 根据热力学第二定律的Gibbs自由能描述,理论研究了铝诱导晶化(AIC)制备多晶硅薄膜的铝诱导层交换(ALILE)机理.用数学模型描述了ALILE过程中a-Si原子通过Al2O3缓冲层向铝层...
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219. 真空碳热还原煅白的热力学分析刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 本文对煅白真空碳热还原法制取镁反应过程进行了热力学分析,在系统压力30～100 Pa,还原温度1573K条件下,C与MgO反应生成镁蒸气;温度达到1667 K时,C与CaO反应生成CaC2,...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 传统磁控溅射技术在有机衬底或有机光电材料上沉积透明导电氧化物阴极薄膜时,荷能粒子轰击有机衬底或有机光电材料会造成衬底或材料的温升和结构损伤,最终影响有机光电器件的性能与寿命,因此实现有机器件...
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221. W波段高功率回旋行波管宽带输入窗设计刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 利用场匹配理论和传输级联矩阵建立多层介质窗的分析方法,对回旋行波管输入窗进行解析分析.在理论分析的基础上,通过数值计算得到回旋行波管宽带输入窗的初步结构和尺寸,然后再利用三维高频分析软件HF...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 以Er3+/Yb3+掺杂的ZnO烧结陶瓷为靶材,利用射频磁控溅射技术在石英玻璃上制备了高度c轴取向的纳米Er3+/Yb3+掺杂的ZnO薄膜,利用X射线衍射、棱镜耦合、卢瑟福背散射等技术研究了...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 借助Matlab软件,用蒙特卡洛方法对圆截面直角弯管在分子流态下的传输几率进行了模拟计算.通过数学方法实现对气体分子的虚拟约束和跟踪.本文先通过模拟最简单的圆直管道传输几率,并与Clausi...
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224. 方向规用于空间站检漏的探讨刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 泄漏监测是在轨空间站长期可靠运行必须解决的难题,本文开展了方向规用于空间站检漏的应用基础研究.在地面真空实验系统上,用小孔向真空室引入气体模拟空间站泄漏,通过磁力传动系统改变方向规入口法线与...
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225. 便携式真空漏孔校准装置刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 针对现场检漏对漏率校准的需求,研制出具有体积小、重量轻、成本低等特点的便携式真空漏孔校准装置.采用标准流量系统提供可调的气体流量,通过质谱计作为比较器分别测量标准气体流量和被校准漏孔提供示漏...
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226. 杏鲍菇微波真空薄层干燥数学模型建立与评价刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 探讨了杏鲍菇在不同微波强度、物料厚度和腔体绝对压力条件下的微波真空干燥特性,研究其干燥曲线和水分扩散速度;应用单因素试验数据对12种经验干燥模型进行拟合求解,确定适合的数学模型;采用三元二次...
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227. 减压模拟设备迅速抽真空技术研究及实现刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 为实现迅速抽真空,提出负压储备舱技术.结合流导方程和气体热力学理论,推导出舱体间气流平衡的数学方程式,揭示了气流平衡过程中,舱体间瞬时压差与起始状态压差、舱体容积成正比,与持续时间存在指数关...
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228. 双面非对称干式涡旋真空泵的设计计算刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 涡旋真空泵是一种无油容积式机械干式真空泵,具有结构简单,真空度高,振动噪声低,可靠性高等优点.但涡旋真空泵也有一些缺点,如抽速较低,初始抽气时泵的工作状态不稳定,加工制造困难等.本文提出了一...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 基于Boltzmann方程和天线理论建立了表面波激励等离子天线辐射方向图重构模型.研究了等离子天线的色散关系,仿真分析了等离子体密度对波矢量的影响以及折射率对等离子天线辐射方向图的影响.搭建...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 发射光谱研究是热喷涂等离子体诊断的一种重要的方法.通过使用发射光谱测量的氩原子在763.51和772.42 nm处谱线辐射强度的信息,采用双谱线法计算大气热喷涂等离子体射流的电子温度,研究纯...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 利用磁控溅射、光刻和剥离技术在玻璃基底上成功制备了平栅型氧化锡表面传导电子发射源,并测试其场发射性能.扫描电镜和光学显微镜测试表明,沉积在阴极和栅极之间的氧化锡为不连续薄膜,直径大约在100...
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232. 平板等离子体紫外光源紫外光辐射效率研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 制作了一个平板等离子体紫外光源:以透明导电膜(ITO)玻璃作为前极板;与玻璃牢固结合、厚度为50mm的铝箔作为后极板,直接制备于铝箔上、厚度为20mm的多孔氧化铝作为介质.介绍了平板紫外光源...
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233. 平面磁控溅射靶磁场的模拟优化设计刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 平面磁控溅射靶面水平磁感应强度对靶材刻蚀均匀性及其利用率等有着重要作用.为了提高靶面水平磁感应强度均匀性,在传统磁控溅射平面靶结构基础上,提出了一种采用加装两导磁片的结构,通过ANSYS软件...
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234. 反应磁控溅射技术的发展情况及趋势刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 综述了反应磁控溅射技术的发展情况.分析了模拟反应磁控溅射的“Berg”经典模型;详述了反应磁控溅射过程中迟滞效应和打火现象的产生原理及过程;分析了消除迟滞效应和打火现象的各种方法并提出个人的...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 采用离子束辅助磁控溅射工艺制备CrNx薄膜,研究了不同氮气流量下薄膜微观形貌,组织结构以及力学性能的变化.采用台阶仪测量薄膜的厚度,采用场发射扫描电镜、扫描探针显微镜、X射线衍射仪测试薄膜的...
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236. 孪生磁控溅射制备氮化铬涂层的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 主要研究了孪生磁控溅射技术制备不同含氮量的CrNx涂层,以及N2流量对涂层组织、结构性能、耐腐蚀性能的影响.试验设备采用自行研制的MSP-1000复合离子镀膜机,配置了四对孪生磁控溅射靶和对...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 采用直流/射频磁控溅射法,在不同氮流量比条件下制备了CrN涂层.利用扫描电镜、X射线衍射、显微硬度计和电化学测试系统研究了氮流量比对涂层组织和性能的影响,并对涂层腐蚀机制进行了初步探讨.研究...
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238. 氧化镍薄膜阻变特性研究进展刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 氧化镍薄膜因非挥发性、低功耗、开关重复性好及阻值窗口大等优势而成为广泛研究的阻变材料之一.本文从器件结构、阻变机理及影响因素等方面,综述了氧化镍薄膜阻变特性研究进展.结果表明:氧化镍薄膜阻变...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 以碳纳米管(CNTs)、锡酸钾(K2SnO3)、葡糖糖为原料,通过一步水热法并辅以简单的热处理工艺,制备出CCNTs/SnO2@C及CNTs/SnO2一维壳核结构复合纳米材料,随后对CNTs...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2013年12期页码:摘要： 对吸附了大量As的InAs(001)样品进行升降温热处理,发现在485℃时表面有从(3×1)重构到(2×4)重构的不可逆转变现象.利用扫描隧道显微镜对(3×1)重构表面分析,结果表明大量常温...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
真空科学与技术学报统计分析
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