真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 李晓峰 王志宏 褚祝军 赵学峰
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  808-813
    摘要: 叙述了Rb2Te日盲紫外阴极的制作工艺并制作了RbT日盲紫外阴极.测量了Rb2Te和Cs2Te两种日盲紫外阴极的光谱响应、光谱反射率、光谱吸收率和250nm波长激发条件下的荧光谱.测量结果表...
  • 作者: 周雄图 张永爱 林婷 林木飞 林锑杭 郭太良
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  814-818
    摘要: 利用磁控溅射和阳光刻技术在玻璃基底上成功制备了不同厚度SnO2的表面传导场致发射阴极阵列,并测试其场致发射性能.X射线衍射和X射线光电子谱测试表明,沉积在阴极和栅极之间的薄膜为SnO2薄膜;...
  • 作者: 张长青 杨修东 王树忠 董玉和 赵鼎 阮存军
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  819-823
    摘要: 本文设计了W波段分布作用速调管高压缩比电子枪和均匀场永磁聚焦系统;分析了电子枪区瓷封边对枪区磁场以及电子注直流通过率的影响;分析了不同聚焦磁场下的电子枪区磁场,并进行了测试分析,获得和模拟相...
  • 作者: 徐勇 王丽 王应娜 罗勇
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  824-827
    摘要: 在耦合波理论的基础上,对圆波导轴线弯曲结构的TE01-TM11模式变换器进行了理论分析.同时使用MATLAB编制了迭代法的计算程序,并进行了大量的数值计算和优化,设计出了一种新型的90°弯曲...
  • 作者: 方志 钱晨 靳君 顾信鹏
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  828-835
    摘要: 研究气液两相介质阻挡放电(DBD)的放电特性,对其在环保等工业领域中的应用具有重要意义.本文利用气液两相DBD在大气压下产生低温等离子体,以碱性苯胺溶液作为工作溶液,研究了外加电压幅值、电源...
  • 作者: 刘春 李培印 杜春林 柳晓宁
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  836-841
    摘要: 离子推进器(也称离子发动机、离子推力器)在航天领域有着广泛的应用,本文简要介绍了其工作原理.在真空热试验中,离子推进器点火,会向真空室内喷射出高能粒子,严重影响容器真空度.本文依据真空系统抽...
  • 作者: 吴胜利 李亨 胡文波 魏强
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  842-846
    摘要: 采用反应射频磁控溅射法制备MgO/Au复合薄膜,并对使用Mg靶和Au靶共溅射、分步溅射方式以及在不同的衬底温度和Ar/O2气体流量比下制备的样品进行X射线光电子能谱、X射线衍射和扫描电子显微...
  • 作者: 姚远 张慧 王书运 高垣梅 高铁军
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  847-851
    摘要: 采用NiFeNb材料为坡莫合金薄膜的缓冲层,利用磁控溅射系统制备了一系列(Ni81 Fe19)80.7Nb19.3(x)/NiO(y)/Ni81Fe19(20 nm)/NiO(y)/Nb(3...
  • 作者: 余赟 周克崧 邱万奇
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  852-858
    摘要: 金刚石具有极高的硬度、热导率和良好的抗磨损性能,在钢铁基体表面沉积金刚石膜具有广阔的应用前景.本文对不同成分和组织钢铁基体化学气相沉积金刚石膜的影响因素进行了分析,指出了奥氏体→珠光体或奥氏...
  • 作者: 哈恩华 孙士彬 纪建超 钟艳莉
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  859-863
    摘要: 采用磁控溅射法在涂覆有底涂层的有机玻璃上制备氧化铟锡薄膜,并将光固化纳米复合涂层涂覆薄膜表面,测试了纳米复合涂层的分散性和体积收缩率以及导电膜系的耐高低温性能、硬度和耐磨性等性能.结果表明,...
  • 作者: 伍继君 刘凯 戴永年 杨斌 马文会
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  864-869
    摘要: 运用分子相互作用体积模型并结合Si、Al二元系的无限稀活度系数γSi、γAl,利用牛顿迭代法计算出对势能相互作用参数Bsi,Al和BAl,si,然后再利用Bsi,A1和BAl,si计算Al-...
  • 作者: 刘大春 徐宝强 杨斌 熊恒 董朝望 邓勇 陈秀敏
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  870-875
    摘要: 本文从理论上简单分析了采用真空冶金法处理脆硫铅锑矿分离铅与锑新工艺的可行性,并对该新工艺中影响铅与锑分离效果的温度、时间等因素进行了讨论.试验研究表明采用真空冶金的方法处理脆硫铅锑矿可以实现...
  • 作者: 刘冰 崔宜之 张永欣 徐军 李军 杨贺 申承民
    发表期刊: 2014年8期
    页码:  876-882
    摘要: 以甲烷作为碳源,采用化学气相沉积方法低压下在两种不同厚度的铜箔上生长出石墨烯.利用光学显微镜、拉曼光谱、扫描电子显微镜对石墨烯的结构、形貌和层数进行了表征.结果表明,可以通过调控反应的生长参...
  • 作者: 吕国强 杨军 邓光晟 阮久福
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  883-889
    摘要: 对双光栅绕射辐射器件谐振系统的模式竞争特性进行了分析,研究了工作模式的主要竞争模式及其抑制措施.结果表明,双光栅绕射辐射器件工作模式的主要竞争模式为满足开放边界条件的光栅表面慢波模式,而减小...
  • 作者: 巴德纯 王凤 程春玉 蔺增
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  890-895
    摘要: 用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法在聚碳酸酯(PC)片上沉积类金刚石(DLC)薄膜,用射频磁控溅射方法制备过渡层以提高膜基结合力及控制光路.本文利用激光拉曼光谱检测薄膜的...
  • 作者: 王德苗 王文婷
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  896-899
    摘要: 以负温度系数(NTC)热敏陶瓷为例,采用直流磁控溅射技术在陶瓷表面制备了过渡层+阻挡层+焊接层的复合溅射膜电极,其中Ni-V薄膜作为过渡层兼阻挡层,Ag作为焊接层.并对NTC热敏陶瓷的各项电...
  • 作者: 时亚茹 曹丹 高文忠
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  900-904
    摘要: 基于探索氯化钙除湿溶液液滴在真空闪蒸过程中的再生机理,搭建了液滴真空闪蒸特性研究的实验台.针对真空压力、液滴初始半径、初始温度、初始浓度等因素对氯化钙液滴闪蒸特性的影响,进行了多组实验研究....
  • 作者: 唐华 孙建荣 廖东侯 李长生
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  905-909
    摘要: 采用粉末冶金的方法制备出含纳米NbSe2(1%~9%(质量比))的铜-石墨复合材料.在UMT-2及超低温摩擦磨损试验机上进行材料摩擦实验,通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜分析其物相及磨痕形貌...
  • 作者: 吕伯超 巴德纯 李海峰 杜宇 王贺权
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  910-914
    摘要: 应用射频磁控溅射设备在超白玻璃和石英玻璃等非晶基体上生长Nb掺杂TiO2薄膜.在固定的电源功率、频率、靶基距和溅射时间的条件下,通过改变基体温度、反应气体及其含量,可以得到相对准确的晶相分布...
  • 作者: 刘细妹 张志明 张效华 徐斌 胡跃辉 陈义川 马德福
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  915-920
    摘要: 不同H2气氛中通过RF磁控溅射在石英衬底上制备Li-W共掺杂ZnO(LWZO)薄膜.对样品进行X射线衍射、扫描电镜(SEM)、X射线光电子(XPS)、透过率以及室温光致发光(PL)谱分析.结...
  • 作者: 姜文全 巴德纯 杜广煜 杨帆 查英英
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  921-924
    摘要: 应用多尺度方法研究金属薄膜-基体结构中的缺陷在冲击载荷条件下的变化规律和力学行为.多尺度方法结合了分子动力学和有限元方法,分子动力学方法用于纳米薄膜中的局部缺陷区域,有限元方法用于整个膜-基...
  • 作者: 嘉蓉 张亦弛 汪海鹏 邹友生
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  925-930
    摘要: 通过固相反应烧结在高温下制备出高致密度的纯相CuAlO2陶瓷靶材.采用脉冲激光沉积技术在蓝宝石和石英衬底上制备了CuAlO2薄膜,为进一提高CuAlO2薄膜性能,对样品进行了退火处理.通过X...
  • 作者: 刘涌 宋晨路 杨振辉 苏婷 韩高荣
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  931-937
    摘要: 采用溶胶-凝胶法在石英基板上旋涂制备不同系列的TiO2薄膜样品(掺F浓度、保温时间、薄膜厚度、晶型),并用X射线衍射等分析测试手段对样品的结构等性能进行表征.通过对薄膜样品光降解亚甲蓝溶液的...
  • 作者: 丛炳俊 刘涌 宋晨路 王慷慨 王菊 韩高荣
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  938-942
    摘要: 采用溶胶-凝胶法,由硝酸取代有机络合剂来抑制钛酸四丁酯的水解,在石英基板衬底上采用多次旋涂成功制备了锐钛矿相柱状晶TiO2薄膜,并研究了退火温度对结晶性能的影响.当退火温度在400~550℃...
  • 作者: 刘小萍 刘海彬 张民权 杨灵华 鲍明东
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  943-949
    摘要: 在H13钢离子氮化基体上沉积TiAlN镀层,在其表面形成渗镀复合层,研究渗氮基体不同表面预处理对渗/镀复合层微观形貌及承载能力的影响.用压痕和划痕试验综合检测膜基体系的承载能力,用扫描电镜和...
  • 作者: 王明娥 董闯 马国佳
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  950-955
    摘要: 通过工艺对比,考察了过渡层在降低立方氮化硼薄膜内应力方面的作用,并研究了薄膜的力学性能.结果表明B-C-N三元过渡层的添加有效地降低了薄膜内应力.X射线光电子能谱结果显示在B-C-N三元过渡...
  • 作者: 吴海忠 李金龙 王永欣 王立平 王蕊 胡建民
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  956-960
    摘要: 采用连续式磁控溅射技术在硼硅玻璃表面沉积了TiAlN/SiN复合薄膜.制备的复合薄膜表面光滑致密,内层TiAlN薄膜为柱状晶结构,厚度约为109 nm,外层SiN薄膜为非晶结构,厚度约为67...
  • 作者: 李金龙 王永欣 王立平 薛群基 钟华生
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  961-965
    摘要: 本文采用多弧离子镀技术在Ti6Al4V合金表面沉积TiCN防护薄膜,研究该薄膜在干摩擦,水及海水介质条件下的摩擦学行为.研究结果显示,所制备的TiCN薄膜具有均匀致密的结构,薄膜厚度约为lμ...
  • 作者: 张玲 李晨 熊玉卿 王多书 王济洲 董茂进
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  966-969
    摘要: 氮氧化铪薄膜透射率高,带隙宽,机械性能好,是一种较好的窗口保护薄膜.采用离子束辅助反应蒸发的方法沉积具有高透射率的多光谱氮氧化铪薄膜,通过控制沉积速率改变膜层中N、O化学计量比,研究氮氧化铪...
  • 作者: 孙斌 王淑云 程勇 郭延龙 陆益敏 黄国俊
    发表期刊: 2014年9期
    页码:  970-973
    摘要: 在光学级双面抛光硅衬底上,采用准分子KrF激光,保持激光单脉冲能量700 mJ和激光功率密度8.27× 108W/cm2不变,通过倾斜衬底的方法,在沉积角度(等离子体中粒子的飞行方向与衬底表...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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