学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
热门 论文降重
免费 免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航

真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
文章浏览
热门刊内文献
年度刊次
目录
  • 1. 响应面法优化西芹热风真空组合干燥工艺
    作者： 党新安 徐英英 曹博涛 白博峰 袁越锦 赵哲
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  313-319
    摘要： 以西芹为原料,通过试验研究了在热风真空组合干燥工艺条件下,中间转换点含水率、热风温度、真空温度和真空度等因素对西芹组合干燥过程的影响;通过响应面法分析了中间转换点含水率、热风温度、真空温度及...
  • 2. 半球形基底镀膜膜厚均匀性理论分析
    作者： 冯煜东 吴伟 熊玉卿 王多书 王济洲
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  320-324
    摘要： 对特殊的非平面基片-半球表面上镀制薄膜的膜厚均匀性进行了理论分析研究.首先,推导了半球面静止时球面各点的膜厚方程以及此时半球面能够镀膜的区域.然后推算了半球表面沿通过球心竖直方向的轴转动后球...
  • 3. 电真空器件烘烤排气过程中残余气体质谱分析
    作者： 冯志良 刘月清 李丽萍 李海涛 赵海鹏 赵金玉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  325-328
    摘要： 采用四极质谱仪,对大功率速调管烘烤排气过程中残余气体进行实时检测,分析烘烤排气过程中管内件及氧化物阴极的出气规律.结果表明:烘烤排气过程中主要出现三个出气高峰,依次出现在烘烤排气温度30,7...
  • 4. 含水率对油水真空分离的影响研究
    作者： 刘阁 张贤明 陈彬
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  329-335
    摘要： 为了获取含水率对油水真空分离动态特性的影响规律,考虑了油水汽三相流、水滴蒸发相变等因素,建立了滤油机的真空分离流场的数学物理模型以及水滴运动蒸发的相变方程;分析了不同含水率对真空分离过程中的...
  • 5. 大曲率球形基底表面膜厚均匀性的实现
    作者： 祖成奎 赵华 邱阳 金扬利
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  336-339
    摘要： 针对大曲率球形表面膜厚均匀性的难题,提出了一种新的解决方法.通过建立计算模型,对该方法进行了理论分析,给出了解决球形外表面膜厚均匀性的途径.设计制造了相关设备,针对Φ250 mm的大曲率球形...
  • 6. 双光栅绕射辐射器件谐振腔模式特性研究
    作者： 吕国强 杨军 邓光晟 阮久福
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  340-345
    摘要： 对双光栅绕射辐射器件谐振结构中的模式分布规律进行了分析,研究了谐振腔的结构参数对腔内电场分布的影响.结果表明,双光栅绕射辐射器件谐振结构中的电场分布受矩形腔宽度的影响显著.特别是在槽高b=λ...
  • 7. 一种带栅极碳纳米管阴极阵列的场发射性能研究
    作者： 孟根其其格 陈雷锋 雷达
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  346-351
    摘要： 研究碳纳米管与衬底之间的电学接触和器件结构尺寸的优化设计是提高碳纳米管冷阴极器件场发射特性的关键之一.本文利用镜像电荷法计算了一种背栅极碳纳米管阴极阵列的表面电场,给出碳纳米管顶端表面电场与...
  • 8. 新型耦合电容式电场传感器对灭弧室电场分布影响的研究
    作者： 李卫国 李彦斌 李赟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  352-357
    摘要： 为了准确判断断路器是否处于正常的工作状态,需要精确观测灭弧室真空度变化情况,耦合电容式作为主要的真空度在线监测方法之一,可以有效地测得灭弧室真空度变化.然而电场传感器的插入不可避免的会影响到...
  • 9. 溅射功率对微纳米Nb膜性能影响机制研究
    作者： 张高会 徐鹏 施远驰 李根
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  358-362
    摘要： 为了改善普通钛合金TC4的表面生物医学性能,采用磁控溅射的方法在TC4表面制备微纳米Nb薄膜,研究不同功率(46,98.5,144,205.8 W)对制备微纳米化Nb膜的沉积速率、晶体结构、...
  • 10. 生长厚度对InGaAs/InAs薄膜表面形貌的影响
    作者： 丁召 刘珂 王一 罗子江 胡明哲 赵振 郭祥 魏文喆 黄梦雅
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  363-366
    摘要： 利用分子束外延技术,通过反射式高能电子衍射仪实时监控In0.86Ga0.14As/InAs薄膜生长状况,在InAs(001)基片上生长5、10、20原子单层(ML)厚度的InGaAs单晶薄膜...
  • 11. Cu掺杂ZnO薄膜光学性能、表面浸润性及其光诱导转变
    作者： 刘昌龙 吕建国 周智涛 王存勇 王峰 龚万兵
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  367-371
    摘要： 采用溶胶-凝胶法制备Cu0.05Zn0.95O和Cu0.10Zn0.90O薄膜,在500,600,700和800℃条件下对薄膜进行退火处理,用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外可见分光光度计、...
  • 12. 基于传输矩阵法的表面等离子激元特性分析
    作者： 张宇宁 曹军
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  372-376
    摘要： 针对目前研究表面等离子体波所用电磁场仿真软件的非简便性与非直观性,提出了适用于Matlab等通用计算环境的传输矩阵法.该方法基于电磁场基本理论出发,从两个紧邻层面上的电场和磁场出发,得到传输...
  • 13. 大口径脉冲潘宁放电装置设计及实验研究
    作者： 李向南 郝胜智
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  377-380
    摘要： 根据强流脉冲电子束源的工作需要,自行研制大口径脉冲潘宁放电装置提供阳极等离子体.采用亥姆霍兹线圈形成平行磁场,通过脉冲电容的充电电压控制磁场强度,最大峰强约0.2T.潘宁阳极电源电压可调约5...
  • 14. NbSe2/CeNbO4纳米复合材料的制备及其铜基复合材料摩擦性能研究
    作者： 刘金银子 唐华 李长生 王芬 胡志立 陈琳 霍生伟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  381-385
    摘要： 将Se粉、Nb粉和CeO2粉末按一定质量比混合,通过在800℃下原位固相反应合成出NbSe2/CeNbO4纳米复合材料.分别以NbSe2/CeNbO4纳米复合材料为固体润滑相,Cu为基体相,...
  • 15. 制备工艺参数对AZ31镁合金表面溅射TiAlN薄膜耐腐蚀性能的影响
    作者： 彭佳 江四川 陈韦 黄佳木
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  386-390
    摘要： 采用射频反应磁控溅射法在AZ31镁合金表面沉积了TiAlN薄膜.用场发射扫描电镜、电化学工作站研究分析了薄膜的表面形貌以及电化学性能,研究了铝靶溅射功率、钛靶溅射功率、氮气流量、沉积时间对T...
  • 16. 硫化时间对铜锌锡硫薄膜特性的影响
    作者： 宋军 庄大明 李博建 谢敏 郭力
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  391-395
    摘要： 用金属预制膜硫化法制备铜锌锡硫薄膜,分别采用了60,90,120和180 min的硫化时间进行硫化,考察了硫化时间对制备的Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜特性的影响.研究得出:在四种硫化时...
  • 17. 高质量Cu2ZnSnS4薄膜的两步法制备及表征
    作者： 周珊珊 姜欣 宋伟杰 沈祥 许炜 谭瑞琴
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  396-402
    摘要： 采用直流磁控溅射方法,以Cu-Zn-Sn合金为靶材,结合后续硫化工艺成功制备出高质量Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜.利用X射线衍射仪、拉曼光谱仪、场发射扫描电子显微镜和能量色散谱对CU-...
  • 18. 基于模糊控制的PECVD沉积薄膜基片温控系统设计
    作者： 朱武 汪根生 游锦山 陈长琦
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  403-407
    摘要： 研究了等离子体增强化学气相沉积镀膜生产线控制系统的特性,提出以西门子可编程控制器为控制核心,利用Matlab/imulink设计模糊控制器并进行系统仿真,完成基于模糊控制算法的基片温控系统设...
  • 19. NBI综合测试台真空监控系统设计
    作者： 刘胜 宋士花 胡纯栋 蒋才超 许永建 谢远来
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  408-412
    摘要： 设计了一套基于可编程逻辑控制器(PLC)的真空监控系统,实现了对中性束注入(NBI)综合测试台系统真空环境的实时监控.该系统通过自动控制抽气回路阀门和泵的启停以实现真空压力维持;通过绘制波形...
  • 20. 原子层沉积技术的发展现状及应用前景
    作者： 何刚 李太申 李文东 邓彬 魏呵呵
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  413-420
    摘要： 随着微电子行业的发展,集成度不断提高、器件尺寸持续减小,使得许多传统微电子材料和科技面临巨大挑战,然而原子层沉积(ALD)技术作为一种优异的镀膜技术,因其沉淀的薄膜纯度高、均匀性及保行性好,...
  • 21. 辅助C束流对6H-SiC(0001)热退火生长石墨烯的影响
    作者： 乔文涛 康朝阳 徐彭寿 樊乐乐 蔡红新 邹崇文
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  421-425
    摘要： 在6H-SiC(0001)衬底上,通过辅助C束流在不同退火温度下生长石墨烯,并通过原位反射式高能电子衍射、拉曼光谱、近边X射线吸收精细结构谱和原子力显微镜等实验技术对生长的薄膜进行结构表征....
  • 22. GaAs(001)-(2×4)重构下的表面形貌
    作者： 丁召 周勋 王继红 罗子江 郭祥
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  426-431
    摘要： 采用反射高能电子衍射仪与扫描隧道显微镜技术对GaAs(001)-(2×4)表面重构下的表面形貌进行深入研究,获得GaAs(001)薄膜处于不同(2×4)表面重构时的表面形貌.研究发现当GaA...
  • 23. 栅网式离子能量分析仪的模拟及实验研究
    作者： 弥谦 杭凌侠 潘永强 王飞飞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  432-437
    摘要： 为了研究离子源所发射出的离子能量分布规律,本文采用离子光学模拟软件Simion7.0对四栅网离子能量分析仪中网格参数进行了相关模拟实验,理论分析表明,栅网透射率对离子能量的测试有一定影响,在...
  • 24. 《真空科学与技术学报》征稿说明
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2014年4期
    页码:  后插1
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
  • 期刊分类
  • 最新期刊
  • 期刊推荐
  • 相关期刊
一般工业技术 交通运输 军事科技 冶金工业 动力工程 化学工业 原子能技术 大学学报 建筑科学 无线电电子学与电信技术 机械与仪表工业 水利工程 环境科学与安全科学 电工技术 石油与天然气工业 矿业工程 自动化技术与计算机技术 航空航天 轻工业与手工业 金属学与金属工艺
北京勘察设计 爆破 巴蜀质量跟踪 包装工程 包装世界 包装与设计 材料保护 材料导报 材料工程 材料开发与应用 材料科学技术(英文版) 材料科学与工程学报 材料科学与工艺 材料研究学报 CT理论与应用研究 磁性材料及器件 影视制作 低温工程 低温与超导 低温与特气 大众标准化 复合材料学报 福建分析测试 福建质量管理 福建质量技术监督
液压与气动 遥感技术与应用 材料科学与工程学报 理化检验-化学分册 振动工程学报 噪声与振动控制 机械工程材料 膜科学与技术 国外电子测量技术 新技术新工艺 振动、测试与诊断 材料科学与工艺 图学学报 中国测试 材料研究学报 制冷学报 应用科技 应用基础与工程科学学报 中国材料进展 声学技术 计量学报 真空科学与技术学报 中国设备工程 人类工效学 液压气动与密封
真空科学与技术学报
按字母查找期刊：

联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com

京ICP备2021016839号 营业执照 版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号