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真空科学与技术学报2015年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
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19905
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151. 可调式蒸汽喷射器的三维数值模拟及分析刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年7期页码:摘要： 在实际工业中,工作蒸汽压力经常波动,传统喷射器由于其结构固定,在操作工况偏离设计值时,性能往往会严重恶化.本文借助数值模拟工具STAR-CCM+,采用有限体积法、壁面函数修正法和标准κ-ε湍...
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152. 空间隔离原子层沉积系统的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年7期页码:摘要： 原子层沉积(ALD)技术制备的薄膜在纳米尺度精确可控,并且各处薄膜厚度具有良好的均匀性.空间隔离原子层沉积(SALD)相比于时间隔离ALD技术,此工艺更易实现大面积基底沉积和连续沉积.由于S...
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153. 罗茨鼓风机磁性液体密封的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年7期页码:摘要： 在醇制油行业,由于输送的介质有毒,而罗茨鼓风机原有的迷宫密封不能实现零泄漏,作者对鼓风机的密封结构进行了改进,用磁性液体密封替换原有的迷宫密封,设计了极靴、永磁铁等密封零件,运用仿真软件对密...
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154. 光子晶体膜制备工艺对其性能的影响刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年7期页码:摘要： 针对电磁兼容材料高屏效和高透光相互制约的技术难题,本文设计了以ITO/Ag为周期的光子晶体膜.本文着重分析了制备工艺对其屏蔽效能、透光率和导电性能的影响.研究结果表明,随着氧氩比的增加,透光...
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155. 真空热加工制备高孔率泡沫钛的电磁屏蔽性能刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年7期页码:摘要： 利用真空热加工技术制备了具有不同结构的高孔率泡沫钛,研究了它们在无线电波频率范围的电磁屏蔽效能.这些泡沫钛样品的孔隙尺寸在毫米级,孔率都在85％以上.工作结果表明,这些泡沫钛具有明显的电磁屏...
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156. 多模式交变耦合磁场辅助电弧离子镀弧源设计刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 采用有限元模拟对多模式交变耦合磁场进行了优化设计,介绍了多波形电磁线圈控制电源的原理,并对按此原理制作的电源进行了测试,分析讨论了不同波形励磁电流条件下磁场对于弧斑运动的影响,提出了一种多模...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 目前,大量二元系合金的活度计算模型得以广泛应用.本文以正规溶液模型,Miedema模型,MIVM,NRTL方程和Wilson方程作为研究模型,将各个模型所需参数进行统计,结果表明:NRTL方...
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158. 等螺距螺杆真空泵内气体热力过程的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 选择目前已得到大量应用的、采用等螺距螺杆转子的无油螺杆真空泵作为研究对象,针对其内部的气体输运过程开展热力学研究.基于等螺距螺杆真空泵的结构特点和抽气原理,论文将被抽气体在泵内所经历的输运过...
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159. 三轴罗茨真空泵的抽气理论和结构设计刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 新兴行业的不断兴起给真空泵带来了快速发展的机遇,同时也对真空泵的集成化、高效率、节约空间、高技术含量提出了更高的要求.本文提出了一种三轴式的罗茨真空泵,对其抽气过程进行了介绍,并基于啮合原理...
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160. 极紫外真空动态气体锁流场分析与研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 满足极紫外(EUV)真空要求的动态气体锁是极紫外光刻机的重要部件.本文阐述了动态气体锁研究的必要性和国内外研究现状;首次提出动态气体锁效能评价机制,通过理论计算推导出动态气体锁抑制率公式;基...
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161. 严格密封型螺杆真空泵转子型线研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 结合现有干式螺杆真空泵螺杆转子型线的特点,提出了一种严格密封的单头螺杆转子端面新型线,其端面型线依次由齿顶圆、齿顶圆弧过渡曲线、渐开线、齿根圆过渡曲线、齿根圆、长幅外摆线顺序相接组成;采用该...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 采用非平衡磁控溅射技术在Si3N4球及高速钢基体上制备了类金刚石(DLC)膜.采用UMT-Ⅱ型球盘式摩擦磨损试验机分别考察了Si3N4球、镀DLC膜Si3N4球及GCr15球的摩擦学性能,并...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 为了制备出高性能的可挠透明导电薄膜,采用脉冲激光沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底上制备了Ti、F共掺的ZnO(TZO)透明导电薄膜.研究了不同衬底温度、氧分压及F的掺杂量对TFZ...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： n型单晶硅表面本征非晶硅基薄膜(a-Si∶H)的钝化作用是高效率非晶硅/晶体硅异质结太阳电池的关键.本文采用掺氧和热处理的方式改变本征非晶硅基薄膜(a-Si∶ H)样品中SiH和SiH2键构...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 采用自主研发系统,应用反应射频磁控技术,在氧化铝陶瓷样片上制备了方阻稳定性好的TaN薄膜,研究了氮分压(N2/(N2+ Ar))、沉积温度、沉积时间对TaN膜层结构和电性能的影响,通过X射线...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 采用霍尔源放电等离子体对碳纤维/树脂复合材料表面进行活化,通过直流磁控溅射技术在其表面沉积Al涂层.利用红外光谱、X射线衍射和扫描电子显微镜分析基体表面极性和涂层组织结构,自行设计垂直拉伸装...
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167. 铝薄膜结构第一镜氢离子溅射特性研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 采用电子束蒸发镀膜工艺,在不同的基底材料上镀制了Al和Al2O3/Al薄膜,研制了国际热核聚变实验堆光学诊断中用具有较高反射率薄膜第一镜.通过中频脉冲偏压方法产生氢等离子体,对薄膜第一镜在氢...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 采用射频补偿朗缪尔单探针研究了螺旋波放电中功率、气体压强、磁场强度等对等离子体参数的影响.结果表明,随着功率的增大,等离子体密度会出现两次明显的跳跃,分析认为放电模式经历了由容性模式到感性模...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 基于高斯波束的标量理论,分析了球面和工作模式等相位面的吻合程度对开放式谐振腔谐振频率、固有品质因数、模式间隔以及谐振曲线等性能参数的影响.借助Ansys HFSS对理论分析进行了模拟验证,同...
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170. THz两级串联慢波结构研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 提出了一种基于矩形交错双光栅的两级串联慢波结构,该高频结构采用双电子注通道和一个聚焦系统,高频信号分别在两段慢波结构中工作在-1和+1空间谐波状态.对该慢波结构的色散特性进行了模拟计算,分析...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 采用磁控溅射工艺制备了不同沉积温度的V-Al-Si-N涂层,利用X射线衍射、扫描电镜、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机对涂层的结构和性能进行了分析.研究结果表明:室温下制备的涂层生长缺陷较多,残余...
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172. 铜铅银合金真空蒸馏回收银的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 从铜阳极泥及有色金属电解工序中产生的大量Pb-Ag-Cu合金中富集银具有重要意义.本文采用真空蒸馏的方法对Pb-Ag-Cu合金中富集银和去除铅的可行性进行分析,同时考察蒸馏温度和蒸馏时间对实...
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173. 无人机机载低温液氢储罐结构设计与强度分析刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 完成机载低温液氢储罐的基本结构设计,通过设计使用新型绝热支撑结构,解决了传统支撑结构热流量过大的问题,通过薄膜容器理论和有限元数值模拟方法对储罐进行强度计算与校核,使用赫兹接触理论与ANYS...
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174. 脉冲激光沉积制备石墨烯薄膜的工艺研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 二维结构的石墨烯拥有的优异性能,使之成为近年来化学,物理,材料科学等领域的研究热点.本文以热解石墨为碳源,采用脉冲激光沉积方法,在单晶Cu (111)基片上沉积石墨烯薄膜,并对比了高真空气氛...
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175. 玫瑰花瓣压花材料真空干燥特性及动力学模型刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年8期页码:摘要： 采用真空干燥获得玫瑰花瓣压花材料,研究真空度、温度等条件对玫瑰花瓣干燥特性、压花艺术美观性的影响,采用差热-热重(TG-DTG)分析、扫描电镜对玫瑰花瓣热变化过程、表面微观形态进行表征,建立...
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176. 短间隙短路放电的场增强因子研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 运用扫描电镜对IEC安全火花试验装置电极系统的微观表面形貌进行了扫面测试,测试结果表明镉盘电极表面存在高度和半径均为微米量级的微凸起,而钨丝电极表面无明显微凸起;以镉盘为阴极,建立了电极系统...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 为了研究较厚的多孔硅层结构及氧化分布对电子发射特性的影响,采用恒流和脉冲腐蚀制备了单层和多层结构的多孔硅,并对这两种结构的多孔硅分别进行定场强和变场强电化学氧化.根据扫描电子显微镜和X射线能...
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178. 多注集成带状注微波管电子光学传输特性研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 带状注在高频率、高功率、大电流密度等方面具有很好的前景,且其平面形的结构对于多注集成来说极具优势.为此该文选取了相对便于多注集成的均匀磁场、Wiggler磁场和周期会切(PCM)磁场,使用微...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 采用射频磁控溅射方法,在P型硅基片上制备了非晶掺氮氧化铟锌沟道层及其薄膜晶体管(a-IZO∶ N-TFTs)器件,探讨了氮气对a-IZO∶ N-TTs性能和电学稳定性的影响.研究发现,当沉积...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年9期页码:摘要： 随着频率的升高,慢波真空电子器件中慢波结构的尺寸迅速缩小.为给太赫兹波段器件的设计和加工提供指导,研究了慢波结构加工精度对0.34 THz过模表面波振荡器的性能影响.采用小信号理论和自行研制...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
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| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
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