真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 李成榕 高春嘉 高纪新 齐波
    发表期刊: 2015年10期
    页码:  1245-1253
    摘要: 真空器件中绝缘子的沿面闪络电压远低于绝缘子自身以及同等长度真空间隙的闪络电压,影响沿面闪络电压的重要因素是绝缘子表面电荷的积聚,其严重制约着真空器件的性能.为了提高真空中纳秒脉冲作用下的沿面...
  • 作者: 刘纯亮 宋忠孝 张小宁 李玲 薛涛
    发表期刊: 2015年10期
    页码:  1254-1258
    摘要: 在室温下,利用直流磁控反应溅射法分别在硅片和石英玻璃上制备IGZO薄膜.通过控制溅射时氧分压的不同,研究其制备IGZO薄膜的微结构、表面形貌及其元素结合能及电学与光学特性.结果表明,在不同的...
  • 作者: 武计强 胡静 魏坤霞
    发表期刊: 2015年10期
    页码:  1259-1263
    摘要: 采用不同空气流量对42CrMo钢进行离子氮氧共渗,并和常规离子渗氮进行对比.利用金相、显微硬度计、X射线衍射仪、电化学性能分析测试仪对复合渗层的显微组织、厚度、物相、表面硬度及耐蚀性进行了测...
  • 作者: 李烨 陈俊芳 马俊辉
    发表期刊: 2015年10期
    页码:  1264-1269
    摘要: 利用真空蒸镀技术共蒸发Cu,Zn,Sn金属丝在玻璃衬底上制备前驱体Cu-Z-Sn(CZT),并采用高温硫化金属前驱体的方法制备Cu2ZnSnS4 (CZTS)薄膜.本文采用X射线衍射和扫描电...
  • 作者: 刘大春 卢勇 周岳珍 李玮 董艳奇 陈秀敏
    发表期刊: 2015年10期
    页码:  1270-1275
    摘要: 为研究硫在高温、真空下的结构、稳定性与蒸发性质,对气态硫中S1~8进行了高温、真空条件下反应的热力学计算,得到其在1273 ~ 2073 K,10 Pa的条件下可能发生反应的吉布斯自由能变....
  • 作者: 王国栋 王庆生 闫清泉 陈长琦
    发表期刊: 2015年10期
    页码:  1276-1281
    摘要: 分析了影响旋转阴极换热的因素,提出一种阴极冷却系统的设计方案.基于流体力学、传热学理论,根据整理自实验结果的相似准则和经验公式,应用所设计的旋转阴极换热数学模型进行了水冷系统性能参数计算,并...
  • 作者: 刘忠伟 国政 杨丽珍 桑利军 王正铎 葛新昱 陈强
    发表期刊: 2015年10期
    页码:  1282-1290
    摘要: 随着微电子领域的快速发展,用于集成电路中器件互连的铜薄膜要求具有无缺陷并且高纯度等特征.本文介绍了利用化学气相沉积技术与原子层沉积技术沉积铜薄膜工艺的研究;特别是,综述了铜-卤素、β-二酮、...
  • 作者: 崔寓淏 张东庆 王国栋 王庆生 陈宗武 陈长琦
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1291-1294
    摘要: 以等螺距螺杆真空泵为研究对象,对工作状态下泵腔内各点间隙变化进行研究.建立了工作状态下主动、从动转子和泵腔温度场有限元模型,通过分析得到转子-泵腔系统的温度场和热变形分布情况,并绘制了工作状...
  • 作者: 张东庆 李卓慧 王国栋 王庆生 陈宗武 陈长琦
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1295-1299
    摘要: 以单头等螺距内凹转子双螺杆真空泵为研究对象,对螺杆真空泵工作时转子与泵腔、转子与转子之间气体的流动状态进行研究,将周向返流简化为两平面平板之间库埃特流动与泊肃叶流动,径向和齿侧返流简化为薄壁...
  • 作者: 冯驹先 干蜀毅 徐飞 汪祚远 潘成程 谭昱全
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1300-1304
    摘要: 以常见单头等螺距凹齿双螺杆真空泵的齿间容积变化为基础,对工作过程中气体状态的变化进行了总结,对螺杆真空泵的排气口的设计给出了一种方法.建立了一种基于热力学原理的数学模型,对其中的压缩过程进行...
  • 作者: 汪荣顺 王健 陆佳 魏蔚
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1305-1309
    摘要: 氢气是造成高真空多层绝热储罐夹层真空度下降的主要原因,为此本文搭建了吸氢试验台,研究了廉价微热型吸氢剂CuO+C,在夹层氢气压力较高时,不同吸附温度下的吸氢特性;比较了吸附温度在100℃时,...
  • 作者: 张东庆 王国栋 王庆生 祝敏 陈宗武 陈长琦
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1310-1314
    摘要: 以螺杆真空泵为研究对象,采用表面织构技术改善排气端处机械密封的润滑及摩擦性能,建立了矩形端面微孔机械密封的流体动力学分析模型,编写相应的程序,模拟分析了不同表面织构参数对密封性能参数的影响,...
  • 作者: 李少鹏 葛锐 边琳 韩瑞雄
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1315-1319
    摘要: 真空低温绝热支撑(POST)是超导加速器低温恒温器(Cryomodule)的关键部件之一,直接影响到整个CrⅣnodule的静态漏热、结构的稳定性、加速器准直测量的精确性等多种性能指标.利用...
  • 作者: 冯乃祥 彭建平 狄跃忠 王耀武 赵坤
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1320-1324
    摘要: 通过热力学计算得出,Na2 TiF6被Al还原的化学反应自由能,并通过电位差计法测量真空铝热还原氟钛酸钠和氟化钠的混合物过程的反应临界温度.结果表明该过程在600℃即可发生.真空还原产物经X...
  • 作者: 刘大春 卢勇 周岳珍 李玮 章新 陈秀敏
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1325-1332
    摘要: 鉴于传统的实验数据优化方法求解溶液热力学模型参数较为困难且效果较差,本文应用人工鱼群算法(AFSA)估算溶液热力学模型参数.采用Java软件编制AFSA下的正规溶液模型、分子相互作用体积模型...
  • 作者: 尤志刚 李波 杨占寿 段东平
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1333-1337
    摘要: 对碳化钙还原氧化镁和氧化锶的反应热力学的理论计算.确定在一定温度和压力,碳化钙还原氧化镁和氧化锶混合物制备Mg-Sr中间合金在热力学上可行的.以热力学计算为指导,碳化钙真空还原氧化镁和氧化锶...
  • 作者: 杨斌 熊恒 王威 董朝望 邓勇 闫华龙 陈秀敏
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1338-1342
    摘要: 在系统压力较低的条件下,以分析纯硫化锑为原料,利用自制真空失重设备,采用恒温失重法研究了硫化锑挥发动力学.理论分析表明,硫化锑较易挥发,其过程符合液态挥发模型,真空挥发的控制步骤为液面蒸发;...
  • 作者: 刘政君 段文宇 董华军 郭方准 郭英杰
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1343-1346
    摘要: 作为中高压电力系统的重要保护装置,真空断路器的开断性能与其电弧形态密切相关.本文利用高速摄像机对灭弧室内电弧起弧至熄灭全过程进行数字采集,针对触头开断时电弧形态的变化特点,结合纹理特征提取的...
  • 作者: 张海鱼 罗积润 赵鼎
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1347-1351
    摘要: 设计了Ka波段速调管高压缩比电子枪,首先进行静电电子枪的计算,并对阴极发射特性和电子枪耐压特性做了相关分析,然后采用π形永磁聚焦结构,通过EGUN与MAGIC软件对电子注在均匀聚焦磁场中的传...
  • 作者: 朱林 杨决宽 赵扬
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1352-1355
    摘要: 基于悬空微器件法的一维纳米结构热物性测量技术在纳尺度传热研究中得到了广泛的应用.为了研究辐射换热给这类实验测试带来的误差,本文在20~360K温度范围内测试了低温恒温器中遮热罩的个数对悬空微...
  • 作者: 伊福廷 刘濮鲲 孙建海 陈振海 马天军
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1356-1361
    摘要: 真空电子器件的频率越来越高,作为核心部件的折叠波导慢波结构由于具有独特的优点,在真空器件中必将得到广泛的应用.由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性,频率越高,互作用结构的尺度越小,加工误差的要...
  • 作者: 张正龙 葛萌
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1362-1367
    摘要: 利用建立的准光腔谐振系统对辉光放电空气等离子体中电子密度参数进行了诊断分析.通过测试加载等离子体前后准光腔谐振系统的谐振参数,计算得到被测等离子体的等效复介电常数及电子密度.实验结果表明:采...
  • 作者: 吴辰宸 顾左
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1368-1373
    摘要: 揭示束流随放电参数的变化规律是推力连续可调离子推力器研制工作的重要内容与理论基础.本文基于低温等离子体基本原理,结合Kaufman型离子推力器构型特点,面向束流调节技术,在充分考虑等离子体放...
  • 作者: 刘春园 刘晓明 邹积岩
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1374-1379
    摘要: 从微观角度出发,数值模拟直流真空电弧燃弧初期电弧的发展进程,研究纵向磁场对电弧等离子体参数输运特性的影响.建立电弧等离子体流体-化学混合模型,仿真研究纵向磁场作用下的电弧运动特性.数值模拟电...
  • 作者: 徐可为 朱晓东 李雁淮 邱龙时 鲁莎
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1380-1384
    摘要: 滚动接触疲劳法表征结合强度的剪切应力幅是一个对界面因素敏感,而对非界面因素不敏感的力学参量,能真实反映膜基结合状态,是较为合理的动态结合强度评价方法.但由于应力计算的模型采用弹性力学方法,对...
  • 作者: 刘淑华 唐恩凌 夏瑾 张庆明 张立佼 王猛 相升海 贺丽萍 韩雅菲
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1385-1389
    摘要: 为了获得高速碰撞供电太阳能电池阵产生等离子体诱发放电的临界碰撞速度,利用建立的对太阳能电池阵供电的外电路系统、放电电流和放电电压数据采集系统,结合二级轻气炮加载系统进行了弹丸入射角度均为60...
  • 作者: 刘纯亮 张小宁 薛涛
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1390-1395
    摘要: 针对基于无孔Al2O3绝缘层的金属-绝缘层-金属(MIM)电子源存在显著负阻效应和无法在气氛下稳定发射电子的特点,提出并制备了一种Al底电极-多孔Al2O3绝缘层-Ti/Au复合顶电极结构的...
  • 作者: 张景川 杨晓宁 武越 王晶 裴一飞 郄殿福 钱北行
    发表期刊: 2015年11期
    页码:  1396-1401
    摘要: 针对光纤传感技术在空间环境模拟设备内部高真空热环境下应用难题,提出了一种高气密性多芯光纤穿舱连接器.设计了基于硅胶密封技术的光纤直通穿舱连接器结构,并进行了漏率检测实验与插入损耗实验验证.实...
  • 作者: 任逸群 吴明忠 巩春志 李慕勤 田修波 魏荣华
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1403-1407
    摘要: 为解决常规直流脉冲等离子体增强化学气相沉积工艺制备类金刚石膜沉积速率低问题,美国西南研究院开发了“笼网等离子体浸没离子沉积技术”.采用这种技术,本次实验研究了乙炔气压、流量、脉冲电压及氩气分...
  • 作者: 刘政君 董华军 郭方准 郭英杰
    发表期刊: 2015年12期
    页码:  1408-1413
    摘要: 真空断路器逐渐向高压等级发展,工作时电弧等离子体几何形态直接影响其开断能力.本文利用高速摄像机对电弧几何形态进行数字采集,运用图像去噪声、选取合适阈值方法,对采集数据进行形态学操作,得到内部...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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