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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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19905
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  • 1. C含量对WAlCN复合膜的微结构、力学性能和摩擦磨损性能的影响
    作者： 叶福兴 曾伟 赵洪舰 郭磊
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  125-129
    摘要： 采用磁控溅射物理气相沉积法沉积了不同含C量(0 ～20.7％(原子比))的WAlCN复合膜.利用X射线衍射和Raman表征了WAlCN膜的微结构;用扫描电镜、压痕仪和高温摩擦磨损仪等研究了其...
  • 2. PVD法制备的(Ti,Al)N硬质膜热稳定性研究
    作者： 吴化 尤申申 李欣红 郭明阳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  130-135
    摘要： 采用空心阴极离子束辅助多弧离子镀技术在高速钢表面沉积(Ti,Al)N硬质膜,并将其分别在空气和保护气氛中、不同温度下加热,研究膜层的热稳定性.利用X射线衍射和差热分析方法确定了相组成及其变化...
  • 3. 类金刚石薄膜固-液复合润滑体系真空摩擦学性能研究
    作者： 宋晓航 张如林 张珩 李荣斌 沙春生 王馨 郭立杰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  136-140
    摘要： 为了改善类金刚石(DLC)膜在真空环境下的摩擦磨损性能,以满足其在航天领域的应用需求.本文通过离子注入与沉积技术制备了显微硬度高于20 GPa、膜基附着力大于200 mN的掺钨DLC膜,并探...
  • 4. 退火处理对ZnO薄膜压敏性能的影响
    作者： 季平 花银群 赵杉月 陈瑞芳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  141-145
    摘要： 采用射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上生长ZnO基陶瓷薄膜,分别在650℃,750℃,850℃和900℃下退火,研究了退火温度对ZnO基陶瓷薄膜压敏性能的影响.结果表明,随着退火温度的升...
  • 5. 溅射工艺参数对TiAlSiN涂层硬度及膜基结合力的影响
    作者： 刘红涛 朱鹏志 李刘合 许亿 马全胜 马璇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  146-153
    摘要： 近年来超硬涂层的出现,为高速切削、干式切削的高质量刀具的发展,提供了契机.本文开展了磁控溅射法制备TiAlSiN涂层的工艺研究,在不同工艺下,获得了厚度2.0 ～4.0 μm的TiAlSiN...
  • 6. 双靶直流溅射多层膜的叠加结构对沉积扩散法制备高硅钢硅含量的影响
    作者： 刘曦 夏荣斌 田广科 马海林
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  154-158
    摘要： 以低硅钢片为基底(Fe-3％质量比Si),采用双靶直流共焦溅射不同叠加结构的硅-铁多层膜系(Fe-Si),然后在高真空下热扩散处理2h得到高硅钢.研究了交替沉积、叠加周期性结构多层膜对热处理...
  • 7. 锡砷化合物真空热分解的从头算分子动力学模拟
    作者： 刘大春 卢勇 戴永年 李慧 杨斌 段少飞 王家驹 舒凯 陈秀敏
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  159-167
    摘要： 为研究锡砷化合物真空下热分解的机理,对Sn4As3和SnAs化合物进行真空条件下热分解的热力学计算,得到它们30 Pa的条件下开始发生反应的温度.采用基于密度泛函理论的平面波赝势法计算得到S...
  • 8. SnmAsn(m+n≤6)团簇的密度泛函理论研究
    作者： 刘大春 卢勇 周岳珍 李玮 杨斌 王家驹 郁青春 陈秀敏
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  168-174
    摘要： 采用密度泛函理论中的广义梯度近似对SnmAsn(m+n≤6)团簇的各种可能构型进行了几何参数全优化,得到相应的基态结构;并对基态构型的平均结合能、Mulliken布居和偶极矩进行了系统研究....
  • 9. 真空冶金法处理脆硫铅锑矿铅、锑、铁挥发控制条件的实验研究
    作者： 刘大春 杨斌 熊恒 王威 董朝望 邓勇 闫华龙
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  175-179
    摘要： 简单分析了“烧结-鼓风炉熔炼-吹炼法”处理脆硫铅锑矿存在的问题,并对真空冶金法处理脆硫铅锑精矿铅、锑、铁挥发控制条件进行了实验研究,研究结果表明:在蒸馏温度为1523 K、蒸馏时间为60 m...
  • 10. 大面积等离子体片分层现象的实验研究
    作者： 夏俊明 孙海龙 孙越强 孟祥广 柳聪亮 白伟华 霍文青
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  180-185
    摘要： 为了研究大面积等离子体片的分层特性,利用脉冲磁约束线形空心阴极放电装置,在150 Pa氦气中产生了持续时间为200 μs、面积为60 cm×60 cm的大面积等离子体片.采用快帧法和旋转空心...
  • 11. 超音速电弧加热等离子发动机的数值研究
    作者： 周长省 李映坤 杜镇志 陈雄
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  186-192
    摘要： 为了研究电弧加热等离子发动机的内外流场特性,采用基于磁矢量势的磁流体力学控制方程,在计算流体力学软件Fluent中添加用户自定义函数(UDF)实现添加特殊源项和自定义标量,对自主设计的超音速...
  • 12. 近β钛合金TLM表面双层辉光等离子渗氮及其腐蚀性能研究
    作者： 李风兰 温科
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  193-198
    摘要： 为改善生物医用钛合金的表面性能及植入人体后的耐腐蚀性能,利用双层辉光等离子技术在近β钛合金TLM表面进行渗氮处理.通过金相显微镜、X射线衍射仪、显微硬度仪、电子显微镜及电化学工作站研究渗氮后...
  • 13. 动态气流下真空腔室内的压强分布及压差测量
    作者： 周玉林 杨铁牛
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  199-203
    摘要： 集成电路(IC)装备工艺腔室内流场的均匀性是影响镀膜质量的关键因素.本文通过控制真空腔室人口处N2流量(140,230,320 mL/min(标准状态))和出气口处压强值(36,45,55 ...
  • 14. 有尾排气式真空封装内部放气特性分析
    作者： 乔大勇 夏长峰 曹兰玉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  204-208
    摘要： 以一种有尾排气式真空封装器件为对象,从释放气体组分和放气量两方面对封装体内部放气特性进行了分析,旨在为器件的高真空度设计、提高器件寿命提供依据.首先,通过残余气体分析得到了各封装体内部的气体...
  • 15. 95GHz回旋振荡管高效率准光模式变换器的设计与模拟
    作者： 何红 刘云龙 王斌 陈静 黄亮杰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  209-216
    摘要： 研究并设计了一种针对95 GHz TE6,2模回旋振荡管的高效率准光模式变换器.该模式变换器由一个Denisov型开口辐射器和四级反射镜面构成.首先详细介绍了开口辐射器和反射镜面的设计方法,...
  • 16. 真空冷冻干燥法制备纳米铜粉的实验研究
    作者： 刘官 刘鹏 彭润玲 曾群锋 韩少星
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  217-222
    摘要： 为了提高纳米铜粉的分散性,以五水硫酸铜和次亚磷酸钠为原料,采用三种不同的冻结方式:-55℃直接冷冻、抽真空快速冷冻、液氮急速冷冻,用真空冷冻干燥法制备了纳米铜粉.通过透射电子显微镜、X射线衍...
  • 17. 空间电场探测球形传感器表面涂层光电特性研究
    作者： 李诚 王佐磊 薛大同 雷军刚 马勉军
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  223-228
    摘要： 空间电场探测球形传感器是利用卫星平台在空间耦合等离子体电势的敏感部件.球形传感器通常采用加工性能良好、质轻的铝合金材料,表面涂覆导电涂层.而涂层的光电特性会影响电场的测量精度.本文对涂层光电...
  • 18. 卫星典型分子污染物吸附脱附试验研究
    作者： 姜利祥 孙继鹏 朱云飞 焦子龙 黄建国
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  229-233
    摘要： 在轨运行的卫星容易受到分子污染影响,造成光学、热控等系统敏感表面性能退化,因此必须对分子污染进行控制.分子污染主要来源于材料放气,典型分子污染成分为邻苯二甲酸酯类和硅氧烷类,因此有必要研究其...
  • 19. 皮尔斯电子枪的电子注包络曲线修正新方法
    作者： 李现霞 段坤杰 韦宇祥
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  234-237
    摘要： 根据热初速理论,分析了皮尔斯电子枪的电子注包络曲线,结果表明理论上采用的热电子径向分布σ曲线一直处于增长发散状态,导致理论包络曲线在注腰之后严重发散.本文提出一种新的修正计算方法,在电子注汇...
  • 20. 不同等级海绵钛真空蒸馏过程工艺控制对比研究
    作者： 孔令鑫 张瑶 朱福兴 李亮 李开华 盛卓 苗庆东
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  238-243
    摘要： 对海绵钛真空蒸馏提纯的原理及不同等级海绵钛真空蒸馏过程关键控制参数进行了对比分析研究,考察真空蒸馏过程中杂质组分行为、工艺控制对海绵钛产品质量带来的影响.理论分析结果表明:真空蒸馏过程中蒸馏...
  • 21. 基于标准分析的全球真空泵产业布局及发展进程研究
    作者： 刘佳 叶茂 赵蕾霞 钟永恒
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年2期
    页码:  244-250
    摘要： 基于中国标准服务网(CSSN)和中国知网标准数据总库,采用文献计量方法、文献调研方法、聚类分析等方法,对真空泵领域标准的数量分布、类别分布、产业链分布和产品布局进行研究.发现:真空泵产品逐渐...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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