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真空科学与技术学报2016年第5期出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 采用射频磁控溅射的方法通过改变氧分压和基体温度在非晶超白玻璃上沉积了一系列Nb掺杂TiO2薄膜,富氧状态下的薄膜为锐钛矿相且绝缘,少氧状态下的薄膜为金红石相但电阻率太大.采用双层膜的结构,首...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 对离子注入制备Al2O3涂层中的氧元素分布进行了分析,研究在不同加速电压、剂量离子注入参数下,氧元素的深度、浓度的变化规律,并根据相关规律对涂层进行了优化.结果表明:在单一加速电压下,氧元素...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 利用原子层沉积(ALD)法分别在Si和石英衬底上制备了TiO2薄膜,并在N2氛围下对TiO2薄膜样品进行退火处理.采用X射线衍射、原子力显微镜和场发扫描电子显微镜对不同退火温度下样品晶体结构...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： HfO2作为最有前景的抗激光薄膜材料之一,最佳的制备方法是利用等离子体辅助电子束蒸发金属Hf并充氧进行反应沉积即PIA-EB-Hf法,而化学计量比失配导致的强吸收和高残余应力造成的力损伤成为...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法,在天然金刚石衬底的(111)晶面上同质外延生长单晶金刚石,研究了沉积温度、CH4浓度以及小角度偏离(111)晶面的衬底对金刚石生长的影响.采用S...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： AlOx薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注.本文利用最新研发的微波等离子增强化学气相沉积(MW-PECVD)系统,在单晶硅基体上用不同微波功率和生长温度制备氧化铝膜...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 采用脉冲激光溅射法制备硼掺杂多晶硅薄膜,研究了不同频率下多晶硅薄膜的晶粒尺寸以及压阻性能.用扫描电子显微镜表征在不同的激光频率沉积的多晶硅薄膜的表面形貌,以及悬臂梁实验测定在不同的激光频率下...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 设计了1.3 GHz 9-cell超导腔加速组元的真空测量系统、恒温器隔热真空获得系统、束流管道真空获得系统并成功运行.通过外推法计算隔热恒温器的放气率并计算设计隔热真空的配泵方案;采用质量...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 真空系统反应时间的准确获取对容器预抽真空、检漏信号读取、换气效率分析等有重要意义.本文分析了氦质谱检漏信号动态变化规律,运用最小二乘法线性回归原理,开展了检漏系统反应时间的获取方法研究,并通...
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10. 汽车零部件常压快速检漏系统的设计刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 泄漏检测是汽车工业生产中许多零部件质量保证的关键技术,为了适应大型自动化生产背景下的高精度快速检测,设计研发了一套常压快速检漏系统.该系统运用T-Guard氦浓度传感器的累积法检漏原理,配合...
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11. 光弹性模型的真空浇注工艺刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 针对传统光弹性模型浇注工艺的过程可控性差、模型质量低以及浇注过程不环保等问题,提出了一种光弹性模型的真空浇注工艺.与传统工艺比较,新工艺主要有以下特征:①工艺在浇注和固化过程中采用了完善的恒...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 随着真空电子器件及所用电子注尺寸的减小,发射度效应成为器件设计过程中需要考虑的重要因素之一.圆孔膜片透镜是组成真空电子器件的一种基本元件,本文通过理论推导获得了考虑电子注发射度效应的圆孔膜片...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 采用不同比例的Ca/Mg/Al合金和纯Ca/Al合金阴极分别制备结构为ITO/MoO3(30nm)/NPB (40hm)/TCTA(10nm)/CBP:R-4B (30nm)/TPBI(10...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 介绍了微波管永磁聚焦系统三维二阶有限元方法的理论和非线性材料的处理技术,同时这些技术已经应用到三维微波管模拟套装的磁场模拟器(MFS).通过MFS和商业软件ANSYS-Maxwell分别对单...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 利用强流脉冲电子束对TiN薄膜进行辐照处理.辐照加速电压25 kV,辐照能量密度5 J/cm2,脉冲次数10,20次.使用扫描电镜观察强流脉冲电子束辐照后薄膜表面与截面形貌,原子力显微镜测试...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 研究了提高X射线衍射强度的方法,将硅漂移探测器(SDD)集成在X射线粉末衍射仪的探测记录系统中,发展出一种新的X射线粉末衍射线的高效探测与记录系统,它包括SDD探测器、单道脉冲分析器和计数电...
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17. 金属材料表面的电子束抛光研究进展刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 电子束技术应用于金属材料表面的抛光,作为一种新型的材料加工工艺,具有抛光效率高、材料去除效果好、抛光表面性能优良等优点.本文在探讨电子束抛光(EBP)技术机理的基础上,介绍了国内外EBP技术...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 采用有限元软件分析了层叠焊接波纹管在循环拉压载荷作用下应力与应变的非线性关系、弹性工作区域的变化、弹性极限的变化等.用数值法、工程近似法、有限元法分别计算波纹管的刚度,得到的结果两两差率不超...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 以多孔氧化铝(AAO)为模板,基于聚氨酯丙烯酸酯(PUA)在紫外曝光前后的表面能变化的特性,利用逆紫外固化纳米压印技术实现纳米蛾眼结构复制成型.分析图形复制过程中界面间的粘附功差异,根据红外...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要： 在光照区航天器表面光电子电流大于环境电流,一般而言航天器光照面带正电,而在轨数据表明其也能充电至很高的负电位.本文建立了单极-双极和单极·四极两种解析模型,给出了光照条件下球形航天器表面差异...
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21. 《真空科学与技术学报》征稿说明刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2016年5期页码:摘要：
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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