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真空科学与技术学报2021年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
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19905
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 真空镀膜法是一种适用范围广,显现效果好的手印显现新方法,为进一步将该技术方法与传统方法有机结合,提高现场手印显出率,研究该方法与传统方法的联合应用及相互补足效果.方法:通过实验研究将真空镀膜...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 嫦娥五号探测器的月球样品封装装置采用了一种金属密封技术,嫦娥五号也证明了这种密封技术的正确性,但这种金属密封的参数是通过大量的实验得到的,为此,本文通过对大量实验数据的分析,为这种金属密封结...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 本文设计出下限为5×10-16 Pa·m3/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题.采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 变螺距转子计算得到的理论允许最小间隙,利用SolidWorks软件的布尔运算功能,对转子的每个面单独做切削处理,建立了含有实际间隙的变螺距转子的三维模型.在此基础上,在变螺距转子的进、排气端...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 为了提高在线质谱检测中气体成分质谱分析的准确性,本文对在线连续动态取样系统的构成展开分析,研究发现:可凝性气体在引流段的吸附效应、节流段的质量歧视效应和分子泵对不同成分气体的抽速差异给质谱成...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 载人航天器对密封性能要求极为严苛,密封结构的泄漏特性与温度相关.本文研究了一种典型的硅橡胶密封结构的泄漏方式,通过对低温下橡胶材料的透气性能的测试,结果表明:从50cc下降到5℃时、气体通过...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 为提高在线单颗粒质谱SPAMS对低浓度环境下颗粒物的检测效率,本研究设计了一种基于虚拟撞击原理的空气动力学气溶胶浓缩装置.结合计算流体动力学Fluent仿真软件,对传统临界孔进样结构进行改进...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 为了研究低真空管道磁悬浮列车表面温度随着列车运行速度和管道真空度变化的分布及变化规律,本文采用计算流体力学(CFD)数值计算的方法,研究了常导式(EMS)磁悬浮列车在低真空管道中高速运行条件...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 采用电子回旋共振等离子体增强金属有机物化学汽相沉积技术在石墨衬底上低温沉积制备出高质量GaN薄膜,采用三甲基镓(TMGa)和氮气(N2)作为制备GaN的反应源.采用X射线衍射分析、电子扫描显...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： CuCr合金被广泛应用于电接触材料,过饱和固溶的CuCr合金薄膜,其微观结构及力学性能与Cu和Cr两相组成的假合金不同.本文利用磁控溅射方法制备了非平衡态过饱和固溶的CuCr合金薄膜,利用X...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 为了提高发动机Ti5111合金表面微弧氧化涂层的摩擦性能,利用共生沉积工艺并通过高温作用使W粉扩散到MAO涂层内,通过实验测试的手段观察W粉含量对其组织和摩擦性能的影响.研究结果表明:MAO...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 使用的Al2O3对磨材料测试GC2025高硬合金的摩擦性能,并以TC4与9CrSi进行对比,通过实验测试的手段分析载荷对非自耗真空熔炼GC2025高硬刀具的滑动磨损行为的影响.研究结果表明:...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 以Cr3C2颗粒作为增强体,通过喷射电沉积的方法在刀具上制备得到CoNiCrC涂层.对比了不同电流密度下的Cr3C2颗粒沉积量,并对CoNiCrC涂层微观组织结构、硬度、元素含量、耐磨能力进...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 使用有限元分析方法对介质激光高反镜镀膜前后的元件面型变化及膜层应力分布进行研究,仿真结果表明:残余应力和热应力都呈层状分布,基底应力从下到镀膜面由拉应力变为压应力,应力引起面型变化呈环状分布...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 通过超声分散获得石墨烯分散液,添加到锆盐体系电解液中,采用微弧氧化技术,在AZ31镁合金表面制备微弧氧化膜.采用扫描电镜、能谱仪对MAO涂层微观结构进行分析,采用X射线衍射对MAO涂层物相组...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年5期页码:摘要： 设计了一种基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器,采用动态波长调谐原理.加速度传感单元由二氧化硅支撑梁与中心质量块组成,在质量块底部与衬底层硅基凹槽内,利用薄膜沉积技术制备...
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77. 基于二维半导体的模拟电路最新进展刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年6期页码:摘要： 摩尔定律驱动的器件持续微缩已经开始给硅基晶体管的模拟性能带来潜在问题,其中本征增益作为最重要的模拟指标会随着技术节点的缩小而降低.二维半导体因其平坦的界面、原子级厚度的几何结构,允许极好的栅...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年6期页码:摘要： 对于多晶硅垂直布里奇曼真空定向凝固过程,熔体自由表面张力引起的Marangoni对流对晶体生长质量有着明显的影响.本文通过建立多晶硅真空定向凝固过程的热场-流场-应力场多场耦合数学物理模型,...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年6期页码:摘要： 论述了合肥光源新建的两条光束线软X射线磁性圆二色线(MCD-A)和苏大能源材料线(MCD-B)的真空安全联锁控制系统的相关设计内容.在基于IOC与模块化PLC的基础上,实现了双光束线共用一套...
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80. 曲轴模具的表面处理与耐蚀性能研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年6期页码:摘要： 采用多弧离子镀方法在曲轴模具4Cr5MoVSi1热作模具钢表面制备了Ti/CrN和Ti/TiN/Cr镀层,对比分析了两种镀层的物相组成、显微形貌和抗铝液腐蚀能力.结果 表明,Ti/CrN镀层...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年6期页码:摘要： 以激光熔覆方法在轴承钢上制得FeCoCrNi-xY高熵合金涂层,并对其处于气体环境中的耐高温冲蚀性进行了测试.研究Y对涂层结构和冲蚀磨损的影响.研究结果表明:随着Y增大,蜂窝形组织开始减少直...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年6期页码:摘要： 采用化学浸渍法在装饰用H62铜合金表面制备了不同转化膜,优化了单一稀土盐和复合(Ce+La)盐转化膜的钝化液配方,对比分析了未加稀土盐、单一Ce盐、单一La盐和(Ce+La)盐试样的耐蚀性能...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年6期页码:摘要： 采用超音速火焰喷涂工艺(HVOF)制得不同配比的Co-W-WC吸收层,之后在上述吸收层表面继续通过Sol-Gel方法制得SiO2复合膜,测试了其微观组织及光学性能.研究结果表明:复合膜中形成...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年6期页码:摘要： 退火可以改善材料的微结构,增加其韧性和释放其内应力.采用双靶共溅技术制备了铪掺杂类金刚石薄膜(Hf-DLC)样品,并对样品进行了不同温度的退火处理,研究了薄膜退火前后的形貌、键合结构和硬度和...
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85. 液氦温区微小漏孔流动特性研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年6期页码:摘要： 低温环境下系统器件的密封性能至关重要,对于低温密封研究,了解低温下微小漏孔泄漏的流动特性很有必要.本文构建了具有随机粗糙度壁面的二维微通道,应用仿真软件研究液氦温区漏孔微通道内气流的流动特性...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年6期页码:摘要： 为探究热处理对激光选区熔化(Selective Laser Melting,SLM)成形18Ni300马氏体时效钢力学性能的影响,利用激光选区熔化技术制备18Ni300马氏体时效钢试样,分别...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年6期页码:摘要： 高阻隔高透光率的柔性复合材料在包装和电子封装领域具有很高的应用价值.本文采用等离子增强原子层沉积技术在PET基体上制备了多层结构的增透阻隔膜,研究了等离子增强原子层沉积制备氧化硅和氮化硅的工...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年6期页码:摘要： 采用丝网印刷法在氧化铝陶瓷表面制备了活性Mo-Mn金属化层,研究了Mo含量对烧结后金属化层的微观结构、元素成分以及钎焊后抗拉强度的影响.研究结果表明,Mo-Mn法陶瓷金属化层以Mo为骨架结构...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年6期页码:摘要： 选择乙醇电纺丝工艺制备碳纳米纤维,优化了工艺条件,并制备得到结构均匀的碳纳米纤维.选择EP溶液与水蒸气作为碳纳米纤维的改性介质,分析不同方法对碳纳米纤维进行表面改性的差异性.研究结果表明:通...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2021年6期页码:摘要： 采用真空感应熔炼方法制备了半导体用NiCr溅射靶,并对其开展不同变形量下的热轧,分析了NiCr合金受到热轧作用后发生的组织形态变化与磁性能改变.研究结果表明:NiCr合金中形成了呈现面心立方...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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