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CVD
冷态输送ZrCl4
表面形貌
组织结构
生长机理
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 化学气相沉积(CVD)涂层新技术的应用
来源期刊 武汉冶金 学科 工学
关键词 涂层 化学气相沉积
年,卷(期) 1989,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 63-66
页数 4页 分类号 TG174.442
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节点文献
涂层
化学气相沉积
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期刊影响力
武汉冶金
半年刊
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133
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