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大规模集成电路测试程序质量控制方法研究
集成电路
集成电路测试程序
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影响要素
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SiC单片集成电路工艺技术
碳化硅集成电路
异质外延
界面态
超深亚微米集成电路可靠性技术
超深亚微米集成电路
可靠性
高k栅介质
金属栅
Cu/低k互连
军用大规模集成电路关键外协工序控制
后端设计
芯片制造
芯片封装
关键工序控制
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 5μm集成电路工艺质量控制技术
来源期刊 天津科技消息 学科 工学
关键词 5μm集成电路 质量控制 工艺
年,卷(期) 1989,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 4-6
页数 3页 分类号 TN430.5
字数 语种 中文
DOI
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1989(0)
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研究主题发展历程
节点文献
5μm集成电路
质量控制
工艺
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
天津科技消息
双月刊
天津市河西区吴家窑大街22号
出版文献量(篇)
77
总下载数(次)
0
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