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XPS表征类金刚石膜探讨
类金刚石
sp3组分
sp2组分
XPS
内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 功率密度对类金刚石碳膜性质的影响
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 功率密度 类金刚石 碳膜 性质
年,卷(期) 1990,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 8-13
页数 6页 分类号 TN304.18
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研究主题发展历程
节点文献
功率密度
类金刚石
碳膜
性质
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
总下载数(次)
1
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0
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