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激光扩束器物镜微调机构设计
微调机构
螺纹传动
扩束器
自动微调
硅片涂胶及软烘自动设备的研制
PLC
精确传输
滴胶量控制
温度控制
硅片处理预对准系统的研究
硅片预对准
压电马达控制
圆拟合算法
缺口检测
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 硅片电阻的激光微调
来源期刊 混合微电子技术 学科 工学
关键词 硅片 电阻 激光微调 集成电路 工艺
年,卷(期) 1991,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 28-34
页数 7页 分类号 TN405
字数 语种 中文
DOI
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研究主题发展历程
节点文献
硅片
电阻
激光微调
集成电路
工艺
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
混合微电子技术
季刊
安徽省合肥市6068信箱(合肥市绩溪路260号)
出版文献量(篇)
1458
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46
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