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微波ECR等离子体物理汽相沉积研究和应用
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | 微波ECR等离子体物理汽相沉积研究和应用 | ||
| 来源期刊 | 中国核科技报告 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 微波ECR等离子体 物理汽相沉积 研究和应用 等离子体物理研究所 电离度 沉积速率 模层 Cu膜 等离子体密度 Ti膜 | ||
| 年，卷（期） | zghkjbg_1991,（S3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 9-10 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TL |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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微波ECR等离子体
物理汽相沉积
研究和应用
等离子体物理研究所
电离度
沉积速率
模层
Cu膜
等离子体密度
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期刊影响力
中国核科技报告
主办单位：
出版周期：
半年刊
ISSN：
CN：
开本：
16开
出版地：
北京市海淀区阜成路43号《中国核科技报告》编辑部
邮发代号：
创刊时间：
1985
语种：
chi;eng
出版文献量（篇）
1832
总下载数（次）
7
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