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磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
类金刚石碳剥离膜的制备及其性能研究
类金刚石碳
剥离膜
磁过滤阴极真空弧
寿命
结构
无氢类金刚石膜的光致发光特性研究
脉冲激光沉积
类金刚石薄膜
拉曼光谱
光致发光
类金刚石膜研究进展
类金刚石膜
成膜机理
结合力
摩擦性能
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 低能离子束沉积类金刚石膜的可见光学性能研究及其应用
来源期刊 四川真空 学科 工学
关键词 沉积 金刚石薄膜 光学性能 离子束
年,卷(期) 1992,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 54-61
页数 8页 分类号 TN304.18
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研究主题发展历程
节点文献
沉积
金刚石薄膜
光学性能
离子束
研究起点
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相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
半年刊
成都市第109信箱207分箱
出版文献量(篇)
395
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