射频磁控溅射PbTiO3薄膜的研制

吴汝佳; 曲翠云

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射频磁控溅射PbTiO3薄膜的研制

作者：

吴汝佳曲翠云

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钛酸铅

磁控溅射

薄膜

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文献信息

篇名	射频磁控溅射PbTiO3薄膜的研制
来源期刊	薄膜科学与技术	学科	工学
关键词	钛酸铅磁控溅射薄膜
年，卷（期）	1992,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	59-64
页数	6页	分类号	TN304.055
字数		语种
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