Mo／Si多层膜的XUV特性比较

Windt,DL; 徐长林

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Mo／Si多层膜的XUV特性比较

Mo／Si多层膜的XUV特性比较

作者：

Windt,DL 徐长林

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Mo／Si

多层膜

光学元件

反射计

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文献信息

篇名	Mo／Si多层膜的XUV特性比较
来源期刊	光机情报	学科	工学
关键词	Mo／Si 多层膜光学元件反射计
年，卷（期）	1992,（4）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	59-64
页数	6页	分类号	TH740.4
字数		语种	中文
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