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烟煤与SiO2合成SiC和Si3N4超细粉的研究
烟煤
合成
SiC和Si3N4
超细粉
α-Si3N4与γ-Si3N4、α-Si3N4混合粉体超高压烧结的比较研究
超高压烧结
相变
力学性能
显微结构
β-Si3N4单晶体的制备
长柱状
β-Si3N4单晶
制备
放电等离子烧结Si3N4陶瓷
氮化硅
放电等离子烧结
致密化
析晶
显微结构
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 射频溅射形成SiO2/Si3N4复合介质膜的性质
来源期刊 混合微电子技术 学科 工学
关键词 射频溅射 复合介质
年,卷(期) 1992,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 30-34
页数 5页 分类号 TN304.055
字数 语种 中文
DOI
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
射频溅射
复合介质
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
混合微电子技术
季刊
安徽省合肥市6068信箱(合肥市绩溪路260号)
出版文献量(篇)
1458
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