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大气环境下多晶硅薄膜的疲劳性能
微机电系统
多晶硅
薄膜
疲劳
多晶硅薄膜残余应力显微拉曼谱实验分析
拉曼谱
多晶硅
薄膜
残余应力
多晶硅薄膜晶体管kink效应的建模
多晶硅薄膜晶体管
kink效应
面电荷
倍增因子
多晶硅薄膜等离子体增强化学气相沉积低温制备工艺
电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积
多晶硅薄膜
低温生长
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 掺氧多晶硅薄膜中氢的行为初探
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 薄膜 多晶 掺氧多日硅
年,卷(期) 1993,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 23-27
页数 5页 分类号 TN304.120
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DOI
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1993(0)
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研究主题发展历程
节点文献
薄膜
多晶
掺氧多日硅
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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