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摘要:
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 电镀铑形成Rh—GeSi/Si欧姆接触的特性研究
来源期刊 电子工艺简讯 学科 工学
关键词 半导体器件 镀铑 欧姆接触 特性
年,卷(期) 1993,(11) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 4-5
页数 2页 分类号 TN305.93
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研究主题发展历程
节点文献
半导体器件
镀铑
欧姆接触
特性
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
电子工艺简讯
月刊
1004-7832
出版文献量(篇)
807
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1
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0
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