通过改变费米能级钉扎效应制备6H-SiC欧姆接触的特性研究

• 作者: 丁元力 刘洪军 廖伟 廖勇明 洪根深 邬瑞彬 龚敏
• 来源期刊: 四川大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 6H-SiC 费米能级钉扎 欧姆接触
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 页码范围: 492-494
• 页数: 3页
• 分类号: O472
• 字数: 2467字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2002.03.025

摘要

作者通过氧化、刻蚀和沸水处理的方法,在n型6H-SiC的C面上制备了线性较好的欧姆接触.作者对C面和Si面的欧姆接触的退火特性进行了比较和研究;并对形成欧姆接触的物理机理进行了讨论,研究了这种欧姆接触在大密度电流下的特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚敏	四川大学物理系	109	372	10.0	12.0
2	廖伟	四川大学物理系	5	51	3.0	5.0
3	廖勇明	四川大学物理系	3	13	2.0	3.0
4	邬瑞彬	四川大学物理系	3	20	2.0	3.0
5	洪根深	四川大学物理系	2	12	2.0	2.0
6	刘洪军	四川大学物理系	2	18	2.0	2.0
7	丁元力	四川大学物理系	1	10	1.0	1.0