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石墨衬底生长高质量金刚石膜的优势
石墨衬底
晶体取向
热导率
断裂强度
磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
金刚石薄膜的研究进展
金刚石薄膜
合成方法
成核机理
影响因素
应用领域
金刚石基底上氮化硼薄膜的场发射特性研究
氮化硼薄膜
场发射特性
磁控溅射
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 强碳化物形成元素衬底上金刚石薄膜的生长特性
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 物理学
关键词 薄膜生长 金刚石薄膜 硫化物 化学气相沉积
年,卷(期) 1994,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 123-128
页数 6页 分类号 O484.1
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1994(0)
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研究主题发展历程
节点文献
薄膜生长
金刚石薄膜
硫化物
化学气相沉积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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1
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