多孔硅制备工艺的研究

• 作者: 唐洁影 汪开源
• 来源期刊: 半导体杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 多孔硅 阳极氧化 光致发光 工艺 制备
• 年，卷（期）: 1995,（1）
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.12

摘要

多孔硅的发光性能与其制备工艺密切相关，本文着重讨论了阳极氧化技术、表面再处理、硅衬底的电学性质等因素对多孔硅质量的影响，给出了合适的工艺条件。